用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体及其制备方法技术

本发明专利技术属于探测器技术领域，具体涉及一种用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体及其制备方法。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管（HEMT）为基本结构，通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率，得到室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置，最终实现对太赫兹波的探测。

Substrate precursors for terahertz wave detection devices and their preparation methods

The invention belongs to the technical field of detectors, in particular to a substrate precursor used for terahertz wave detection devices and a preparation method thereof. The Al-Ga-N/Ga-N high electron mobility field effect transistor (HEMT) is used as the basic structure to fabricate Al-Ga-N/Ga-N layers by substrate design and epitaxy. Then the active area mesa, gate dielectrics, ohmic contact windows and electrodes are fabricated. The two-dimensional electron gas in the field effect transistor has high electron concentration and mobility, and the THz wave can be achieved at room temperature. The spectrum detection device with high speed, high sensitivity and high signal-to-noise ratio detects terahertz wave finally.

【技术实现步骤摘要】
用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体及其制备方法本专利技术属于专利技术名称为用于太赫兹波探测的器件及其制备方法、申请日为2017年6月26日、申请号为201710495199.3专利技术申请的分案申请，为产品及制备技术部分。
本专利技术属于探测器
，具体涉及一种用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体及其制备方法。
技术介绍
由于太赫兹波的频率很高，所以其空间分辨率也很高；又由于它的脉冲很短（皮秒量级）所以具有很高的时间分辨率。太赫兹成像技术和太赫兹波谱技术由此构成了太赫兹应用的两个主要关键技术。同时，由于太赫兹能量很小，不会对物质产生破坏作用，所以与X射线相比更具有优势。另外，由于生物大分子的振动和转动频率的共振频率均在太赫兹波段，因此太赫兹在粮食选种，优良菌种的选择等农业和食品加工行业有着良好的应用前景。许多生物大分子的振动，转动能级恰好位于THz波段，那么利用对生化反应THz吸收光谱的研究可以得到反应中的生物分子运动信息。大多数极性分子，如水分子，氨气等对太赫兹辐射有强烈的吸收，可以通过分析它们的特征谱研究物质成分或进行产品质量控制，因此太赫兹光谱技术在分析和研究大分子方面有广阔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体的制备方法，包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、钼酸铵、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氨水；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入硝酸锶、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入萘甲酰乙酸乙酯、邻苯二甲酸二丁酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～40...

【技术特征摘要】
1.一种用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体的制备方法，包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、钼酸铵、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氨水；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入硝酸锶、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入萘甲酰乙酸乙酯、邻苯二甲酸二丁酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入N-乙烯基咔唑与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入偶氮二异丁腈，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；（4）将纳米粉加...

【专利技术属性】
技术研发人员：班建民，孙云飞，陶重犇，刘传洋，
申请(专利权)人：苏州科技大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32