一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有第一电极层，所述第一电极层的上方设置有有机材料，所述有机材料的上表面设置有按序排列的第二电极、金属膜、第三电极层，第二电极与金属膜相连，金属膜与第三电极层相互间隔，所述金属膜为多个平行的金属条相互间隔形成缝隙制成；该基于肖特基势垒的线偏振光检测器，解决了现有光热探测器无法进行线偏振光探测的问题；通过在肖特基势垒的金属膜上设置梯形的缝隙或者孔洞从而使得入射的线偏振光能够产生很好的吸收特性，从而改变金属膜与有机材料所形成的肖特基结的肖特基势垒，通过检测肖特基势垒的变化，来反应线偏振光的特性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器
本专利技术涉及光电探测器
，具体涉及一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器。
技术介绍
光电探测器的物理效应通常分为光子效应和光热效应，对应的探测器分别称为光子型探测器和光热型探测器。各种光子型探测器的共同特征是采用半导体能带材料，光子能量对探测材料中光电子的产生起直接作用，故光子型探测器存在截止响应频率或波长，且光谱响应限于某一波段，因此不同的材料体系决定了探测器具有不同的响应波长范围，一般难以用于宽谱或多谱段探测。对于光热型探测器，在吸收光辐射能量后，并不直接引起内部电子状态的改变，而是把吸收的光能变为晶格的热运动能量，引起探测元件温度上升，从而引起探测元件的电学性质或其他物理性质发生变化，故光热效应与光子能量的大小没有直接关系，光热型探测器原则上对频率没有选择性。由于红外波段特别是中长波红外以上波段的光热效应相比紫外和可见光更明显，故光热探测器通常用于中长波光学辐射的探测，典型的光热型探测器包括微测辐射热计、热释电探测器和热偶探测器等种类。由于温度升高是热积累的作用，基于光热效应的热探测器一般响应速度较慢，在毫秒量级。然而,现有的光热探测器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器,包括衬底层（1）, 所述衬底层（1）的上方设置有第一电极层（2），所述第一电极层（2）的上方设置有有机材料（3），其特征在于:所述有机材料（3）的上表面设置有按序排列的第二电极（6）、金属膜（4）、第三电极层（5），第二电极（6）与金属膜（4）相连，金属膜（4）与第三电极层（5）相互间隔，所述金属膜（4）为多个平行的金属条（7）相互间隔形成缝隙（8）制成。

【技术特征摘要】
1.一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器,包括衬底层（1）,所述衬底层（1）的上方设置有第一电极层（2），所述第一电极层（2）的上方设置有有机材料（3），其特征在于:所述有机材料（3）的上表面设置有按序排列的第二电极（6）、金属膜（4）、第三电极层（5），第二电极（6）与金属膜（4）相连，金属膜（4）与第三电极层（5）相互间隔，所述金属膜（4）为多个平行的金属条（7）相互间隔形成缝隙（8）制成。2.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器,其特征在于:所述金属膜（4）上还可以是设置周期排列的长方形孔洞（9）。3.如权利要求1所述的一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器,其特征在于:所述金属膜（4）上还可以是设置非方形周期排列的正方形孔洞（10）。4.如权利要求2或3所述的一种基于肖特基势垒的线偏振光检测器,其特征在于:所述长方形孔洞（9）或正方形孔洞（10）的间隔距离不超过100nm。5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：中山科立特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44