一种新型管式PECD石墨舟卡点制造技术

本发明专利技术公开了一种新型管式PECD石墨舟卡点，包括卡点底座、卡点轴以及卡点帽，所述卡点底座两侧对称固定有卡点轴，所述卡点轴远离卡点底座一端固定连接有卡点帽，所述卡点底座与卡点轴之间设置有卡点槽，所述卡点槽开设于卡点轴上；所述卡点帽设置为三角形，所述卡点槽开设为O型，且卡点槽分别开设于三角形的三个顶点处。本发明专利技术的O型卡点槽比起U型卡点槽，硅片能与石墨舟片贴合的更加紧密，极大减小硅片与卡点底座之间的空隙，从而减少特气流绕镀到硅片背面，为此可降低正膜边缘卡点绕镀印，改善正膜膜色，提高正膜的片内颜色的均匀性，进一步满足市场对高标准外观膜色的要求，值得推广。

【技术实现步骤摘要】
一种新型管式PECD石墨舟卡点
本专利技术涉及单晶硅电池片表面减反射膜的制造
，具体为一种新型管式PECD石墨舟卡点。
技术介绍
在光伏太阳能行业，单晶太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，SE，刻蚀，退火，镀膜(背钝化、背膜、正膜)，激光，丝网印刷和烧结九道工序。其中镀膜工序，背面首先沉积一定厚度的氧化铝，然后在硅片上镀氮化硅膜，目的为增强硅片背表面钝化作用，提高了电池的少子寿命及增强了背面的反射率，以提高UOC/ISC，从而提升光电转换效率。目前在单晶硅电池片背表面制作的减反射膜，普片采用具有良好的减反射和表面钝化作用的氮化硅膜，在太阳能电池生产工艺中，普遍采用PECVD(等离子体增强型化学气相沉积)的方式进行镀氮化硅膜。管式PECVD对硅片镀膜，硅片通过手动或者机械手形式插入石墨舟内，然后石墨舟放于炉管中镀膜。但是现有的PECVD背镀膜因绕镀造成硅片正表面出现色差问题，色差问题不仅影响电池片合格率，返工造成大量物料浪费，还会降低电池片效率。目前市场主要两种卡点槽：V型与U型，V型卡点槽的形状如说明书附图1所示，U型卡点槽的形状如说明书附图2所示，且现有的V型卡点槽和U型卡点槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型管式PECD石墨舟卡点，包括卡点底座(1)、卡点轴(2)以及卡点帽(3)，所述卡点底座(1)两侧对称固定有卡点轴(2)，所述卡点轴(2)远离卡点底座(1)一端固定连接有卡点帽(3)，所述卡点底座(1)与卡点轴(2)之间设置有卡点槽(4)，所述卡点槽(4)开设于卡点轴(2)上，其特征在于：所述卡点帽(3)设置为三角形，所述卡点槽(4)开设为O型，且卡点槽(4)分别开设于三角形的三个顶点处。

【技术特征摘要】
1.一种新型管式PECD石墨舟卡点，包括卡点底座(1)、卡点轴(2)以及卡点帽(3)，所述卡点底座(1)两侧对称固定有卡点轴(2)，所述卡点轴(2)远离卡点底座(1)一端固定连接有卡点帽(3)，所述卡点底座(1)与卡点轴(2)之间设置有卡点槽(4)，所述卡点槽(4)开设于卡点轴(2)上，其特征在于：所述卡点帽(3)设置为三角形，所述卡点槽(4)开设为O型，且卡点槽(4)分别开设于三角形的三个顶点处。2.根据权利要求1所述的一种新型管式PECD石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱浩，万柳斌，李强强，黄秀富，洪磊，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34