【技术实现步骤摘要】
一种大型抛光机盘面平面度检测装置及其工作方法
本专利技术涉及测量装备领域，特别是涉及一种大型抛光机盘面平面度检测装置及其工作方法，适合在位测量抛光机的大尺寸抛光盘的平面度。
技术介绍
在环形抛光技术中，加工元件表面与抛光盘直接接触，靠外力或工件自重附着在抛光盘表面随抛光盘的旋转运动完成抛光，因此抛光盘的表面形貌将对工件的最终加工质量产生直接影响。大型抛光机的抛光盘直径普遍在1m以上，质量可达1t，难以装卸及搬运，很难满足常见的干涉仪、三坐标测量仪等检测仪器的平面度测量要求。目前最常见的办法仍是人工打表测量，耗费人工且检测结果可靠性不高。中国专利CN103954237A公开了一种平面抛光盘表面形状误差的检测装置，采用高稳定性导轨和高精度位移传感器，可实现抛光盘表面形状的高精度测量。但该专利采用龙门式结构，在大型抛光盘直径为1.5m的条件下、直线导轨的长度至少为1.8m，在此长度条件下测头的运动精度难以保证，且造价高昂。
技术实现思路
为解决现有技术存在的上述问题，本专利技术要设计一种检测装置总体尺寸较小、运动精度高、造价低廉的大型抛光机抛光盘的平面度检测装置及其工作方法...
【技术保护点】
1.一种大型抛光机抛光盘的平面度检测装置，其特征在于：包括基座(1)、气体静压轴承单元、摆臂(6)、距离传感器(7)、抛光盘(8)、液压转台(9)和工控机，所述的气体静压轴承单元包括气体静压轴承座(2)、气体静压轴承(3)、主轴角度传感器(4)和气体静压主轴(5)，所述的抛光盘(8)安装在液压转台(9)上，所述的气体静压轴承单元和液压转台(9)并列固定在基座(1)上，所述的摆臂(6)通过摆臂(6)右端的定位孔和气体静压主轴(5)相连接，所述的距离传感器(7)通过摆臂(6)左端的定位孔和摆臂(6)相连接；所述的气体静压轴承(3)固定在气体静压轴承座(2)上，所述的气体静压主轴...
【技术特征摘要】
1.一种大型抛光机抛光盘的平面度检测装置，其特征在于：包括基座(1)、气体静压轴承单元、摆臂(6)、距离传感器(7)、抛光盘(8)、液压转台(9)和工控机，所述的气体静压轴承单元包括气体静压轴承座(2)、气体静压轴承(3)、主轴角度传感器(4)和气体静压主轴(5)，所述的抛光盘(8)安装在液压转台(9)上，所述的气体静压轴承单元和液压转台(9)并列固定在基座(1)上，所述的摆臂(6)通过摆臂(6)右端的定位孔和气体静压主轴(5)相连接，所述的距离传感器(7)通过摆臂(6)左端的定位孔和摆臂(6)相连接；所述的气体静压轴承(3)固定在气体静压轴承座(2)上，所述的气体静压主轴(5)为阶梯轴，两端定位部分轴径较大，中间定位部分轴径较小，上端定位部分的下表面与气体静压轴承(3)上表面接触，下端定位部分的上表面与气体静压轴承(3)下表面接触，中间定位部分的圆柱状侧面与气体静压轴承(3)内孔接触并配合；所述的气体静压轴承(3)设有六个气体通道，六个气体通道在水平方向上以气体静压轴承(3)内孔为中心沿周向均匀分布；每个气体通道均为十字形通道，十字形通道的径向通道与气体静压轴承(3)的内外表面连通，十字形通道的轴向通道与气体静压轴承(3)的上下表面连通；所述的气体静压轴承单元工作时，六个气体通道同时供气，保证气体静压主轴(5)的平稳旋转；所述的主轴角度传感器(4)为圆环状结构，底面固定在气体静压轴承(3)的上表面，内侧面与气体静压主轴(5)的上端定位部分的外圆表面间隙配合，通过气体静压轴承(3)和气体静压主轴(5)的相对角度变化测量气体静压主轴(5)的旋转角度；所述的工控机通过数据线分别与直驱电机、伺服电机、距离传感器(7)和主轴角度传感器(4)连接；所述的工控机中安装检测控制系统，所述的检测控制系统在LabVIEW环境下基于研华API通用函数框架二次开发，包括抛光盘旋转单元、气体静压主轴旋转单元和数据采集及计算单元，所述的抛光盘旋转单元控制直驱电机带动液压转台(9)，从而实现抛光盘(8)的稳定旋转，并将旋转角度传输至数据采集及计算单元中；所述的气体静压主轴旋转单元控制伺服电机带动气体静压主轴(5)旋转，从而实现摆臂(6)在规定范围内的定轴旋转运动，旋转角度传输至数据采集及计算单元中；所述的数据采集及计算单元采集并储存抛光盘(8)旋转角度数据、气体静压主轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱祥龙，康仁科，董志刚，马进，高尚，郭江，金洙吉，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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