电离规的保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种电离规的保护装置，涉及电离规技术领域。电离规的保护装置包括：连接管路，连接管路包括第一连接端和第二连接端，第一连接端用于与被测真空度的设备连接，第二连接端用于与电离规连接。电磁阀门，电磁阀门设置于连接管路的靠近第二连接端的部分且能够控制连接管路的通断。传感器，传感器设置于连接管路的靠近第一连接端的部分。放大电路，传感器与电磁阀门通过放大电路电联接。电离规的保护装置用于热阴极电离真空计时，能在真空度波动时，切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接，从而有效地保护热阴极电离规，提高热阴极电离规的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
电离规的保护装置
本技术涉及电离规
，具体而言，涉及一种电离规的保护装置。
技术介绍
在低压强气体中，气体分子被电离生成的离子数与气体压强成正比。电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与待测气体电离后产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器，其最高的真空度测量灵敏度可达1E-9pa，如经过改良的Bayard-Alpert热阴极电离规。热阴极电离规是通过热阴极发射电子的方式电离气体的，通常为三极管结构，管内有阴极、栅极和收集极。收集极电位相对于阴极电负电位；栅极相对于阴极电正电位。当电离规管通电加热后，阴极发射电子，在电子到达栅极的过程中，与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电离现象。当发射电流一定时，正离子数目与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后，经测量电路放大，可由批示电表读出所要测量的真空度。真空度测量灵敏度越高的电离规，制造结构越复杂，制造要求也越高，价格也越贵。为使电离规管的阴极发射电子，阴极需要加热到较高的温度。通常阴极采用耐高温的钨材料加工而成。即使这样，电离真空计在使用中仍然存在问题：在电离真空计的使用过程中，如果出现大量漏气或其它原因使真空度突然本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电离规的保护装置，其特征在于，包括：连接管路，所述连接管路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接，所述第二连接端用于与电离规连接；电磁阀门，所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断；热电阻传感器，所述热电阻传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分；第一放大电路，所述热电阻传感器与所述电磁阀门通过所述第一放大电路电联接；所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态，电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度；所述热电阻传感器温度降低时，所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第...

【技术特征摘要】
1.一种电离规的保护装置，其特征在于，包括：连接管路，所述连接管路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接，所述第二连接端用于与电离规连接；电磁阀门，所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断；热电阻传感器，所述热电阻传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分；第一放大电路，所述热电阻传感器与所述电磁阀门通过所述第一放大电路电联接；所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态，电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度；所述热电阻传感器温度降低时，所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第二状态，阻止气体分子从所述第一连接端扩散到所述第二连接端。2.根据权利要求1所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述连接管路具有螺旋管段或波浪管段，所述螺旋管段或所述波浪管段位于所述电磁阀门与所述热电阻传感器之间。3.根据权利要求2所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述螺旋管段或所述波浪管段的通径为3-50mm，螺旋管道的螺旋数量为1-5个，或者波浪管道的波浪数量为1-5个。4.根据权利要求1或2所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述连接管路的内径为8mm。5.根据权利要求1所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述热电阻传感器包括第一热电丝，所述第一放大电路用于将输入电流放大为输出电压且为所述热电阻传感器提供恒定Vi输入电压，Vi输入电压使所述第一热电丝发热。6.根据权利要求5所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述第一放大电路还为所述电磁阀门提供输出电压Vo。7.根据权利要求1所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：马远，廖朝俊，秦钟华，廖均，
申请(专利权)人：江苏振华新云电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32