电离规的保护装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电离规的保护装置，涉及电离规技术领域。电离规的保护装置包括：连接管路，连接管路包括第一连接端和第二连接端，第一连接端用于与被测真空度的设备连接，第二连接端用于与电离规连接。电磁阀门，电磁阀门设置于连接管路的靠近第二连接端的部分且能够控制连接管路的通断。传感器，传感器设置于连接管路的靠近第一连接端的部分。放大电路，传感器与电磁阀门通过放大电路电联接。电离规的保护装置用于热阴极电离真空计时，能在真空度波动时，切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接，从而有效地保护热阴极电离规，提高热阴极电离规的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
电离规的保护装置
本专利技术涉及电离规
，具体而言，涉及一种电离规的保护装置。
技术介绍
在低压强气体中，气体分子被电离生成的离子数与气体压强成正比。电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与待测气体电离后产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器，其最高的真空度测量灵敏度可达1E-9pa，如经过改良的Bayard-Alpert热阴极电离规。热阴极电离规是通过热阴极发射电子的方式电离气体的，通常为三极管结构，管内有阴极、栅极和收集极。收集极电位相对于阴极电负电位；栅极相对于阴极电正电位。当电离规管通电加热后，阴极发射电子，在电子到达栅极的过程中，与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电离现象。当发射电流一定时，正离子数目与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后，经测量电路放大，可由批示电表读出所要测量的真空度。真空度测量灵敏度越高的电离规，制造结构越复杂，制造要求也越高，价格也越贵。为使电离规管的阴极发射电子，阴极需要加热到较高的温度。通常阴极采用耐高温的钨材料加工而成。即使这样，电离真空计在使用中仍然存在问题：在电离真空计的使用过程中，如果出现大量漏气或其它原因使真空度突然下降(p>0.1Pa)时，电离规管的阴极灯丝将迅速氧化而烧毁。这种情况在被测气体是空气或带氧化性气体时，会更加明显。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电离规的保护装置，可有效防止电离规管的阴极灯丝因氧化而烧毁。本专利技术的实施例是这样实现的：本专利技术的实施例提供了一种电离规的保护装置，包括：连接管路，所述连接管路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接，所述第二连接端用于与电离规连接；电磁阀门，所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断；热电阻传感器，所述热电阻传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分；第一放大电路，所述热电阻传感器与所述电磁阀门通过所述第一放大电路电联接；所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态，电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度；所述热电阻传感器温度降低时，所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第二状态，阻止气体分子从所述第一连接端扩散到所述第二连接端。另外，根据本专利技术的实施例提供的电离规的保护装置，还可以具有如下附加的技术特征：在本专利技术的可选实施例中，所述连接管路具有螺旋管段或波浪管段，所述螺旋管段或所述波浪管段位于所述电磁阀门与所述热电阻传感器之间。在本专利技术的可选实施例中，所述螺旋管段或所述波浪管段的通径为3-50mm，螺旋管道的螺旋数量为1-5个，或者波浪管道的波浪数量为1-5个。在本专利技术的可选实施例中，所述连接管路的内径为8mm。在本专利技术的可选实施例中，所述热电阻传感器包括第一热电丝，所述第一放大电路用于将输入电流放大为输出电压且为所述热电阻传感器提供恒定Vi输入电压，Vi输入电压使所述第一热电丝发热。在本专利技术的可选实施例中，所述第一放大电路还为所述电磁阀门提供输出电压Vo。在本专利技术的可选实施例中，所述电磁阀门包括阀芯、电磁线圈和被压缩的弹簧，所述阀芯具有开孔；所述第一状态下，所述电磁线圈产生的电磁力吸引所述阀芯，使所述阀芯克服所述弹簧的弹力且所述开孔位于所述连接管路内，所述第一连接端和所述第二连接端通过所述开孔连通；所述第二状态下，所述电磁线圈产生的电磁力减弱或者不产生电磁力时，所述阀芯在所述弹簧的回复力的作用下被推动到所述开孔离开所述连接管路的位置，所述第一连接端和所述第二连接端之间的连通被所述阀芯的非开孔部分隔断。在本专利技术的可选实施例中，所述阀芯为磁性阀芯。本专利技术的实施例提供了一种电离规的保护装置，包括：连接管路，所述连接管路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接，所述第二连接端用于与电离规连接；电磁阀门，所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断；热电偶传感器，所述热电偶传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分；第二放大电路，所述热电偶传感器与所述电磁阀门通过所述第二放大电路电联接；所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态，电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度；所述热电阻传感器温度降低时，所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第二状态，阻止气体分子从所述第一连接端扩散到所述第二连接端。在本专利技术的可选实施例中，所述热电偶传感器包括第二热电丝、加热电源和热电偶，所述加热电源与所述第二热电丝电连接且用于加热所述第二热电丝，所述热电偶与所述第二热电丝电连接且能输出电压Vi，Vi通过所述第二放大电路放大成供所述电磁阀门使用的输出电压Vo。本专利技术的有益效果是：电离规的保护装置用于热阴极电离真空计，能在真空度波动时，切断设备真空腔体与热阴极电离规的连接，从而有效地保护热阴极电离规，提高热阴极电离规的使用寿命，减小因真空度波动导致的电离规损坏，提高了经济性和真空测量系统的稳定性。在真空度恢复正常后，仍可通过内在电路自动恢复真空测量系统的正常使用。本专利技术结构简单，可在原有的热阴极电离真空计上加装改造。改造成本低，见效快。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术的实施例1提供的电离规的保护装置的示意图；图2为本专利技术的实施例2提供的电离规的保护装置的示意图。图标：1-连接管路；2-电磁阀门；3-热电阻传感器；4-第一连接端；5-第二连接端；6-电离规；7-第一放大电路；8-第一热电丝；9-电磁线圈；10-阀芯；11-弹簧；12-螺旋管段；13-热电偶传感器；14-第二放大电路；15-第二热电丝；16-加热电源；17-热电偶。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电离规的保护装置，其特征在于，包括：连接管路，所述连接管路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接，所述第二连接端用于与电离规连接；电磁阀门，所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断；热电阻传感器，所述热电阻传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分；第一放大电路，所述热电阻传感器与所述电磁阀门通过所述第一放大电路电联接；所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态，电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度；所述热电阻传感器温度降低时，所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第二状态，阻止气体分子从所述第一连接端扩散到所述第二连接端。

【技术特征摘要】
1.一种电离规的保护装置，其特征在于，包括：连接管路，所述连接管路包括第一连接端和第二连接端，所述第一连接端用于与被测真空度的设备连接，所述第二连接端用于与电离规连接；电磁阀门，所述电磁阀门设置于所述连接管路的靠近所述第二连接端的部分且能够控制所述连接管路的通断；热电阻传感器，所述热电阻传感器设置于所述连接管路的靠近所述第一连接端的部分；第一放大电路，所述热电阻传感器与所述电磁阀门通过所述第一放大电路电联接；所述电离规的保护装置包括所述电磁阀门开启的第一状态，电离规能够透过所述连接管路测量被测设备的真空度；所述热电阻传感器温度降低时，所述电离规的保护装置从所述第一状态进入到所述电磁阀门关闭的第二状态，阻止气体分子从所述第一连接端扩散到所述第二连接端。2.根据权利要求1所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述连接管路具有螺旋管段或波浪管段，所述螺旋管段或所述波浪管段位于所述电磁阀门与所述热电阻传感器之间。3.根据权利要求2所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述螺旋管段或所述波浪管段的通径为3-50mm，螺旋管道的螺旋数量为1-5个，或者波浪管道的波浪数量为1-5个。4.根据权利要求1或2所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述连接管路的内径为8mm。5.根据权利要求1所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述热电阻传感器包括第一热电丝，所述第一放大电路用于将输入电流放大为输出电压且为所述热电阻传感器提供恒定Vi输入电压，Vi输入电压使所述第一热电丝发热。6.根据权利要求5所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述第一放大电路还为所述电磁阀门提供输出电压Vo。7.根据权利要求1所述的电离规的保护装置，其特征在于，所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：马远，廖朝俊，秦钟华，廖均，
申请(专利权)人：江苏振华新云电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32