抛光摩擦力的测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种全口径抛光过程中元件所受抛光摩擦力的测量装置。抛光摩擦力的测量装置，包括多个应力测试部件，所述应力测试部件包括U形夹板，在所述U形夹板上设置有应力传感器，在所述应力传感器上设置有信号传输线和承载接触块，所述信号传输线与信号接收器连接，所述信号接收器将数据发送给电脑。本实用新型专利技术能够检测不同形状的元件在不同抛光阶段所受的抛光摩擦力，根据测得的抛光摩擦力即可了解抛光盘的表面粗糙度和材料去除特性，从而指导抛光工艺的控制。

【技术实现步骤摘要】
抛光摩擦力的测量装置
本技术属于光学加工领域，尤其涉及一种全口径抛光过程中元件所受抛光摩擦力的测量装置。
技术介绍
全口径抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一。全口径抛光机床通常采用大尺寸、高热稳定性的天然花岗岩制成抛光盘基盘，基盘表面浇制环形的沥青胶层作为抛光盘。沥青抛光盘的环带表面依次放有修正盘和工件盘，其中修正盘用于修正和控制抛光盘的形状误差，而工件盘则用于把持元件。加工时，抛光盘、修正盘和工件盘均以一定的转速绕逆时针方向匀速旋转，放在工件盘内的光学元件在沥青抛光盘及其承载的抛光颗粒作用下产生材料去除从而形成光学表面。放在工件盘内的光学元件可在垂直方向上自由浮动，并且受到垂直方向上的一对平衡作用力，即其自身重力和抛光盘的正压力；而在水平方向上，光学元件的抛光表面受到抛光盘的摩擦力，同时光学元件的侧面受到工件盘施加的正压力从而匹配抛光盘的摩擦力。抛光盘作用于光学元件抛光表面的摩擦力是抛光过程中的重要参量，其对元件的材料去除速度和加工精度具有重要影响。由于抛光过程中随着抛光盘和元件的旋转，抛光盘作用于元件表面的摩擦力的大小和方向不断变化，使其检测非常困难。
技术实现思路
本技术所要解本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.抛光摩擦力的测量装置，其特征在于：包括多个应力测试部件(1)，所述应力测试部件(1)包括U形夹板(5)，在所述U形夹板(5)上设置有应力传感器(10)，在所述应力传感器(10)上设置有信号传输线(11)和承载接触块(12)，所述信号传输线(11)与信号接收器(13)连接。

【技术特征摘要】
1.抛光摩擦力的测量装置，其特征在于：包括多个应力测试部件(1)，所述应力测试部件(1)包括U形夹板(5)，在所述U形夹板(5)上设置有应力传感器(10)，在所述应力传感器(10)上设置有信号传输线(11)和承载接触块(12)，所述信号传输线(11)与信号接收器(13)连接。2.如权利要求1所述的抛光摩擦力的测量装置，其特征在于：所述应力测试部件(1)还包括紧固螺钉(7)、活动压板(9)和把持弹簧(8)，在所述U形夹板(5)的上端侧设置有贯穿螺孔(6)，在所述U形夹板(5)的上端侧的内侧与下端侧的内侧之间设置有活动压板(9)，且所述活动压板(9)通过多个把持弹簧(8)与U形夹板(5)的上端侧的内侧连接，所述紧固螺钉(7)穿过所述贯穿螺孔(6)与活动压板(9)接触，所述活动压板(9)与U形夹板(5)的下端侧的内侧的距离通过紧固螺钉(7)调节。3.如权利要求1或2所述的抛光摩擦力的...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖德锋，谢瑞清，赵世杰，周炼，钟波，陈贤华，王健，许乔，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川,51