一种复合激光焊接透明脆性材料的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于激光加工技术领域，并具体公开了一种复合激光焊接透明脆性材料的装置，包括超快激光束发生模块和连续激光束发生模块，超快激光束发生模块用于实现初始焊接，包括位于同一光路中的依次设置的超快激光器、第一扩束准直镜、第一反射镜和超快激光扫描单元；连续激光束发生模块用于实现最终焊接，包括位于同一光路中的依次设置的连续激光器、第二扩束准直镜、第二反射镜和连续激光扫描单元。本实用新型专利技术可实现具有较大接触间隙的两块透明脆性材料的牢固焊接，具有焊接牢固可靠，适用范围广等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种复合激光焊接透明脆性材料的装置
本技术属于激光加工
，更具体地，涉及一种复合激光焊接透明脆性材料的装置。
技术介绍
透明脆性材料如玻璃、硅、蓝宝石等因其稳定的化学性质以及优良的物理性质包括透光性、绝缘性、耐腐蚀性和高硬度等，在日常生活和科研生产方面都起到不可或缺的作用。在许多应用场合都会用到多个组装和密封连接在一起的透明脆性材料部件，例如光学中透镜的组装，要求多个透镜连接在一起后还能承受孔径中通过的特定光功率密度；光电子学中对特定光谱相应的半导体传感器的封装，需要对相应波长的信号光透明的绝缘外壳，还要求封装后能将传感器与环境中的水分或其他腐蚀性物质稳定隔离；微机电系统(MEMS)中大量用到使用刻蚀、光刻等半导体制造工艺制造的微型传感器、动作器和微能源部件，要求集成尺度精密和封装密封性好、性能稳定且不影响各微型器件的协同工作；在生物医药方面，无论是微型探测器件还是驻留式功能器件都需要植入人体工作，这些器件不仅要求封装外壳具有生物相容性和无毒性，而且对封装稳定性和耐久性的要求更严苛。随着高新科技产业的发展，透明脆性材料组件因其所具有的优良光学性能、耐腐蚀性能和力学性能将会得到越本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合激光焊接透明脆性材料的装置，其特征在于，包括超快激光束发生模块和连续激光束发生模块，其中：所述超快激光束发生模块包括位于同一光路中的依次设置的超快激光器(1)、第一扩束准直镜(3)、第一反射镜(5)和超快激光扫描单元(8)，由超快激光器(1)发射的激光束经第一扩束准直镜(3)扩束准直后再经第一反射镜(5)反射至超快激光扫描单元(8)中，然后经超快激光扫描单元(8)聚焦至位于超快激光扫描单元(8)下方的待焊接的两块透明脆性材料接触处进行初步焊接形成初始焊缝；所述连续激光束发生模块包括位于同一光路中的依次设置的连续激光器(21)、第二扩束准直镜(23)、第二反射镜(25)和连续激光扫描...

【技术特征摘要】
1.一种复合激光焊接透明脆性材料的装置，其特征在于，包括超快激光束发生模块和连续激光束发生模块，其中：所述超快激光束发生模块包括位于同一光路中的依次设置的超快激光器(1)、第一扩束准直镜(3)、第一反射镜(5)和超快激光扫描单元(8)，由超快激光器(1)发射的激光束经第一扩束准直镜(3)扩束准直后再经第一反射镜(5)反射至超快激光扫描单元(8)中，然后经超快激光扫描单元(8)聚焦至位于超快激光扫描单元(8)下方的待焊接的两块透明脆性材料接触处进行初步焊接形成初始焊缝；所述连续激光束发生模块包括位于同一光路中的依次设置的连续激光器(21)、第二扩束准直镜(23)、第二反射镜(25)和连续激光扫描单元(28)，由连续激光器(21)发射的激光束经第二扩束准直镜(23)扩束准直后再经第二反射镜(25)反射至连续激光扫描单元(28)中，然后经连续激光扫描单元(28)聚焦至位于连续激光扫描单元(28)下方的已初步焊接的两块透明脆性材料的初始焊缝处进行最终焊接。2.如权利要求1所述的复合激光焊接透明脆性材料的装置，其特征在于，所述超快激光扫描单元(8)包括沿光路...

【专利技术属性】
技术研发人员：段军，白克强，陈航，曾晓雁，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：新型
国别省市：湖北,42