The invention relates to a device for process monitoring in laser processing, especially in laser welding and laser deep welding. The device has an optical distance measuring device, which has a measuring light source for generating a measuring beam (14), the measuring beam focusing on the surface of the workpiece for forming a measuring spot, and a prism deflection unit (24), the prism deflection unit (24), and the prism deflection unit (24). The mirror deflection unit has at least one prism (22), which is rotatably supported around an axis (28) extending transversely to the measuring beam (14), and the prism deflects the measuring beam (14) transversely to position the measuring light point on the surface of the workpiece.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光加工时工艺监控的具有光学距离测量装置和棱镜偏转单元的装置及具有其的激光加工头
本专利技术涉及一种用于在激光加工时、尤其在激光焊接和激光深焊接时借助光学距离测量进行工艺监控的装置。在此，所述距离测量可以尤其通过光学相干断层成像实现。
技术介绍
对于用于工艺监控的距离测量，测量射束通常同轴地与加工射束叠加。为了能够实施不同的测量任务，例如：找到小孔开口、测量焊入深度(即小孔深度)、在上板上的基准测量、在前运行中进行形貌测量(例如为了找到缝和跟踪缝)、在后运行中进行形貌测量(例如测量缝上焊瘤用于错误识别和保证质量)和诸如此类，必要的是，能够将所述光学测量射束在工件上的入射点(即测量点)准确地定位。为此，测量射束必须能够精准地横向偏移，所述测量射束被引导穿过激光加工头、尤其穿过激光焊接头或激光焊接扫描器。在此，上述任务中要求最高的是测量焊入深度、即测量在焊接时在工作激光束和工件之间的交互作用区域中形成的蒸汽毛细管(所谓的小孔)的深度。与工艺参数(例如工作激光束的焦点直径、激光功率、进给速度等)有关，小孔具有典型的几百微米的开口直径并且在特殊情况中也可以明显更小。为了从...
【技术保护点】
1.一种用于在激光加工时、尤其在激光焊接和激光深焊接时进行工艺监控的装置，其具有：‑光学距离测量装置，所述光学距离测量装置具有用于产生测量光束(14)的测量光源，所述测量光束聚焦到工件表面上用于形成测量光点，和‑棱镜偏转单元(24)，所述棱镜偏转单元具有至少一个棱镜(22)，所述棱镜围绕横向于所述测量光束(14)延伸的轴线(28)可转动地支承，从而所述测量光束(14)通过所述棱镜(22)相对于光学轴线的倾斜角有针对性地横向移动用于将所述测量光点在所述工件表面上定位。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.30 DE 102016109909.01.一种用于在激光加工时、尤其在激光焊接和激光深焊接时进行工艺监控的装置，其具有：-光学距离测量装置，所述光学距离测量装置具有用于产生测量光束(14)的测量光源，所述测量光束聚焦到工件表面上用于形成测量光点，和-棱镜偏转单元(24)，所述棱镜偏转单元具有至少一个棱镜(22)，所述棱镜围绕横向于所述测量光束(14)延伸的轴线(28)可转动地支承，从而所述测量光束(14)通过所述棱镜(22)相对于光学轴线的倾斜角有针对性地横向移动用于将所述测量光点在所述工件表面上定位。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述棱镜偏转单元(24)具有两个棱镜(22、23)，所述两个棱镜布置为相互成90°角度，并且所述两个棱镜围绕横向于所述测量光束(14)延伸的轴线可转动地支承。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，这个棱镜或这些棱镜(22、23)能够分别被调节驱动装置(22’、23’)转动，其中，所述调节驱动装置(22’、23’)能够被相互独立地操控。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，设置振镜马达作为调节驱动装置(22’...
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