The invention discloses pure water equipment, which includes raw water tank, raw water pump group, multi-media filter, activated carbon filter, raw water heat exchanger, security filter, primary pump group, primary reverse osmosis system, intermediate water tank, secondary pump group, secondary reverse osmosis system, freshwater tank, freshwater pump, UV sterilizer, EDI precision filter and EDI ultra-pure water unit according to the water treatment flow path. Nitrogen-sealed pure water tank, pure water pump, TOC unit, resin polishing mixer, terminal filter, including flushing system, cleaning system and dosing system. The invention improves the washing and cleaning system of the traditional pure water equipment, realizes the deep cleaning of the filters under the shutdown state, and prolongs the service life of the filters. The cleaning system adopts an orderly circulation structure, which increases the utilization rate of water resources and satisfies the better cleaning effect. The whole structure is concise and easy to implement. Pure water of equipment terminal meets the requirement of electronic grade pure water, which greatly reduces the maintenance cost.
【技术实现步骤摘要】
纯水设备
本专利技术涉及水处理,尤其涉及纯水设备,属于电子级大型超纯水处理设备的
技术介绍
纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲,纯水又名高纯水,是指化学纯度极高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,但其对水质纯度要求相当高,所以一般应用最普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水,要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中,水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10),但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多,至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订,而且高纯水分析领域的许多突破和发展,新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展创造了条件。在高纯水的生产过程中,水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除;水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌,目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中,水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压,导致低击穿,产生缺陷,还影响材料的少子寿命,因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。大型的纯水设备一般按流径包括原水箱、加药装置、多介质过滤器、加药装置、活性碳过滤器、全自动软化器、保安过滤器、一级反渗透系统、中间水箱、二级反渗透系统、纯水箱、TOC分解器、脱气膜、精密过滤器、EDI装置、纯水箱、抛光混床、膜过滤器 ...
【技术保护点】
1.纯水设备,其特征在于:按照水处理流径依次包括原水箱、原水泵组、多介质过滤器、活性碳过滤器、原水换热器、保安过滤器、一级泵组、一级反渗透系统、中间水箱、二级泵组、二级反渗透系统、淡水箱、淡水泵、UV杀菌器、EDI进水精密过滤器、EDI超纯水单元、氮封纯水箱、纯水泵、TOC单元、树脂抛光混床、终端过滤器,所述纯水设备还包括:冲洗系统,用于给所述多介质过滤器、活性碳过滤器进行正反向冲洗;清洗系统,用于给一级反渗透系统、二级反渗透系统、及EDI超纯水单元进行正向冲洗,加药系统,用于给纯水设备添加药剂。
【技术特征摘要】
1.纯水设备,其特征在于:按照水处理流径依次包括原水箱、原水泵组、多介质过滤器、活性碳过滤器、原水换热器、保安过滤器、一级泵组、一级反渗透系统、中间水箱、二级泵组、二级反渗透系统、淡水箱、淡水泵、UV杀菌器、EDI进水精密过滤器、EDI超纯水单元、氮封纯水箱、纯水泵、TOC单元、树脂抛光混床、终端过滤器,所述纯水设备还包括:冲洗系统,用于给所述多介质过滤器、活性碳过滤器进行正反向冲洗;清洗系统,用于给一级反渗透系统、二级反渗透系统、及EDI超纯水单元进行正向冲洗,加药系统,用于给纯水设备添加药剂。2.根据权利要求1所述纯水设备,其特征在于:所述冲洗系统包括冲洗路径及冲洗水泵,冲洗路径的一个支路分别与所述多介质过滤器的进水管路及出水管路相干涉,另一个支路分别与所述活性碳过滤器的进水管路及出水管路相干涉,所述多介质过滤器的顶部及所述活性碳过滤器的顶部分别设有排水路。3.根据权利要求2所述纯水设备,其特征在于:所述纯水设备设有对所述多介质过滤器及所述活性碳过滤器进行供压控制及补给的供压单元,所述供压单元的供压管路分别与所述多介质过滤器的进水管路、活性碳过滤器的进水管路相干涉。4.根据权利要求3所述纯水设备,其特征在于:所述供压单元的供压管路与所述冲洗系统的冲洗路径各支路相干涉。5.根据权利要求1所述纯水设备,其特征在于:所述清洗系统包括清洗水罐,所述清洗水罐的出水管路上设有清洗保安过滤器,所述清洗保安过滤器的出水端为冲洗输出端。6.根据权利要求5所述纯水设备,其特征在于:所述一级反渗透系统的进水端、所述二...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦雅婷,
申请(专利权)人:苏州睿佳净化设备有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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