一种用于铸管退火炉的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳，所述防护壳内部安装有固定架，且防护壳顶端连接有出气管，所述固定架内侧固定有第一风机，且第一风机右侧连接有冷凝箱，所述冷凝箱下端固定有第二连接管，且冷凝箱右侧安装有连接件，所述出气管内部固定有第二风机，且出气管下端连接有连接管，所述连接管外部固定有进气管，且进气管外部设置有退火炉体，所述第二连接管下端连接有水泵，且水泵左侧固定有第一连接管。该用于铸管退火炉的冷却装置设有导气结构，可以有效的将退火炉内部的高温气体导出，提高冷却的效果，而且该装置可以有效的对进入到退火炉内部的空气进行降温，使空气的温度处于比较低的状态，提高该装置的冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于铸管退火炉的冷却装置
本技术涉及铸管退火炉
，具体为一种用于铸管退火炉的冷却装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。一般用于退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于铸管退火炉的冷却装置，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳，所述防护壳内部安装有固定架，且防护壳顶端连接有出气管，所述固定架内侧固定有第一风机，且第一风机右侧连接有冷凝箱，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳（1），其特征在于：所述防护壳（1）内部安装有固定架（2），且防护壳（1）顶端连接有出气管（5），所述固定架（2）内侧固定有第一风机（3），且第一风机（3）右侧连接有冷凝箱（4），所述冷凝箱（4）下端固定有第二连接管（12），且冷凝箱（4）右侧安装有连接件（13），所述出气管（5）内部固定有第二风机（6），且出气管（5）下端连接有连接管（7），所述连接管（7）外部固定有进气管（8），且进气管（8）外部设置有退火炉体（9），所述第二连接管（12）下端连接有水泵（11），且水泵（11）左侧固定有第一连接管（10），所述连接件（13）右侧安装有导气管（14...

【技术特征摘要】
1.一种用于铸管退火炉的冷却装置，包括防护壳（1），其特征在于：所述防护壳（1）内部安装有固定架（2），且防护壳（1）顶端连接有出气管（5），所述固定架（2）内侧固定有第一风机（3），且第一风机（3）右侧连接有冷凝箱（4），所述冷凝箱（4）下端固定有第二连接管（12），且冷凝箱（4）右侧安装有连接件（13），所述出气管（5）内部固定有第二风机（6），且出气管（5）下端连接有连接管（7），所述连接管（7）外部固定有进气管（8），且进气管（8）外部设置有退火炉体（9），所述第二连接管（12）下端连接有水泵（11），且水泵（11）左侧固定有第一连接管（10），所述连接件（13）右侧安装有导气管（14）。2.根据权利要求1所述的一种用于铸管退火炉的冷却装置，其特征在于：所述冷凝箱（4）包括冷凝箱主体（401）、出液管（402）、导气道（4...

【专利技术属性】
技术研发人员：李红杰，李中灿，李战伟，许进福，毕中岳，
申请(专利权)人：禹州市新光铸造有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41