【技术实现步骤摘要】
一种制备含TiO2介质层电子铝箔的前处理工艺
本专利技术涉及一种制备含TiO2介质层电子铝箔的前处理工艺。
技术介绍
化成箔是铝电解电容器的核心材料,其制造工艺主要包括光箔扩面腐蚀和腐蚀箔化成两个工序。化成箔决定了最终产品的绝大部分性能。随着电子整机的组装密度和集成化程度不断提高,作为集成元件的铝电解电容器也必须进一步向高比容、小型化方向发展。扩面腐蚀技术通过提高腐蚀箔比表面积来提高化成箔比容,但是该技术目前已经日益逼近其物理极限,为进一步提供比容必须在化成箔的氧化铝介质层中引入高介电常数的介质层如Ti,V,Ta等阀金属氧化物。在此之前,为在介质层中引入Ti元素一般是将腐蚀箔或经过一级或多级化成处理的腐蚀箔浸渍于硫酸钛、硫酸混合溶液中或钛酸正丁酯、乙醇、丙酮混合溶液中一定时间后,置于400~550℃马弗炉中热处理10~30min。其存在的主要问题有,如将腐蚀箔直接浸渍于上述硫酸钛、硫酸混合溶液中,由于较低的pH值,经过扩面腐蚀的腐蚀箔表面积又极大,在溶液中侵蚀严重,厚度减薄不利于比容的提升。经过一级或多级化成的腐蚀箔由于氧化铝介质层的存在腐蚀情况减轻但同时也引起腐 ...
【技术保护点】
1.一种制备含TiO2介质层电子铝箔的前处理工艺,其特征在于: 步骤如下:A、将腐蚀箔在沸水中预处理8~12min后,在400~500℃马弗炉中热处理30~120s后取出;B、然后浸渍于pH值1.2~2.0的含硫酸钛、醋酸、硫酸的混合溶液中,其中Ti离子浓度为0.1~0.5mol/L,溶液温度为50℃~70℃,浸渍时间为2~5min;C、取出后经纯水清洗并预热至300~400℃后置于2.45GHZ工业微波炉中加热2~3min;D、按照常规生产工艺化成至所需电压Vf(240V≦Vf≦690V),将经前处理的腐蚀箔浸渍在不同浓度的壬二酸钠、壬二酸溶液中并施加直流电依次化化成至0 ...
【技术特征摘要】
1.一种制备含TiO2介质层电子铝箔的前处理工艺,其特征在于:步骤如下:A、将腐蚀箔在沸水中预处理8~12min后,在400~500℃马弗炉中热处理30~120s后取出;B、然后浸渍于pH值1.2~2.0的含硫酸钛、醋酸、硫酸的混合溶液中,其中Ti离子浓度为0.1~0.5mol/L,溶液温度为50℃~70℃,浸渍时间为2~5min;C、取出后经纯水清洗并预热至300~400℃后置于2.45GHZ工业微波炉中加热2~3min;D、按照常规生产工艺化成至所需电压Vf(240V≦Vf≦690V),将经前处理的腐蚀箔...
【专利技术属性】
技术研发人员:王建中,冒慧敏,高志华,
申请(专利权)人:南通海星电子股份有限公司,南通海一电子有限公司,四川中雅科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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