The utility model provides a device for separating and purifying industrial gases. The device of the utility model obtains primary oxygen through a membrane separation device, obtains intermediate oxygen through an intermediate oxygen branch pipe, and obtains high purity oxygen through an oxygen purification device, which can not only obtain high purity oxygen, but also provide ordinary oxygen without mixing high purity oxygen with air to avoid energy waves. Fei. Moreover, oxygen and nitrogen can be separated by membrane separation device at first, which can reduce the treatment capacity of the subsequent adsorption tower directly into the air for treatment, and can improve the purity of oxygen or nitrogen gas obtained by the first-stage adsorption tower (carbon molecular sieve adsorption tower or zeolite molecular sieve adsorption tower).
【技术实现步骤摘要】
分离提纯工业气体装置
本技术涉及氧气提取及纯化,尤其涉及一种分离提纯工业气体装置,尤其是氧气的提纯。
技术介绍
随着社会发展,经济越来越进步,工业逐渐从粗加工转化为精密制造,对高纯气体的需求也原来越大,高纯氧气在电子、对晶硅等行业的应用越来越广泛,高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。现有技术中有越来越多的厂家生产高纯氧气,但是对于普通氧气的需求依然很大,为了解决对普通气体的需求,有些厂家会使用高纯氧气与空气进行掺和的方式,这样就造成了的资源的浪费。
技术实现思路
为解决上述问题,本技术提供一种分离提纯工业气体装置,不但能够提供高纯氧气,还能够不通过高纯氧气与空气掺和的方式提供普通氧气。本技术的技术方案为:一种分离提纯工业气体装置,包括原料空气管、压缩机、除油装置、冷却器、干燥装置、除二氧化碳装置、膜分离装置、碳分子筛吸附塔、沸石分子筛吸附塔,原料空气管中的空气进入压缩机进行压缩,然后进入除油装置进行除油,然后进入冷却器进行冷却,冷却后进入干燥装置进行干燥,然后进入除二氧化碳装置除二氧化碳,然后进入膜分离装置进行分离,分别得到初级氧气、初级氮气,膜分离装置的初级氧气出口通过初级氧气总管连接沸石分子筛吸附塔下端口,沸石分子筛吸附塔上端口通过中级氧气支管连接中级氧气总管,中级氧气总管连接氧气纯化装置,沸石分子筛吸附塔下端口通过氮气解吸支管连接氮气总管;膜分离装置的初级氮气出口连接碳分子筛吸附塔下端口,碳分子筛吸附塔上端口通过中级氮气支管连接有氮气总管,碳分子筛吸附塔下端口通过氧气解吸气支管连接有中级 ...
【技术保护点】
1.一种分离提纯工业气体装置,其特征在于:包括原料空气管、压缩机、除油装置、冷却器、干燥装置、除二氧化碳装置、膜分离装置、碳分子筛吸附塔、沸石分子筛吸附塔,原料空气管中的空气进入压缩机进行压缩,然后进入除油装置进行除油,然后进入冷却器进行冷却,冷却后进入干燥装置进行干燥,然后进入除二氧化碳装置除二氧化碳,然后进入膜分离装置进行分离,分别得到初级氧气、初级氮气,膜分离装置的初级氧气出口通过初级氧气总管连接沸石分子筛吸附塔下端口,沸石分子筛吸附塔上端口通过中级氧气支管连接中级氧气总管,中级氧气总管连接氧气纯化装置,沸石分子筛吸附塔下端口通过氮气解吸支管连接氮气总管;膜分离装置的初级氮气出口连接碳分子筛吸附塔下端口,碳分子筛吸附塔上端口通过中级氮气支管连接有氮气总管,碳分子筛吸附塔下端口通过氧气解吸气支管连接有中级氧气总管;初级氧气总管还连接有初级氧气支管,初级氧气支管上设有阀门Ⅰ,中级氧气总管上还连接有中级氧气支管,中级氧气支管上设有阀门Ⅱ;碳分子筛吸附塔为两个,沸石分子筛吸附塔为两个,氮气解吸支管上设有真空泵,氧气解吸气支管设有真空泵。
【技术特征摘要】
1.一种分离提纯工业气体装置,其特征在于:包括原料空气管、压缩机、除油装置、冷却器、干燥装置、除二氧化碳装置、膜分离装置、碳分子筛吸附塔、沸石分子筛吸附塔,原料空气管中的空气进入压缩机进行压缩,然后进入除油装置进行除油,然后进入冷却器进行冷却,冷却后进入干燥装置进行干燥,然后进入除二氧化碳装置除二氧化碳,然后进入膜分离装置进行分离,分别得到初级氧气、初级氮气,膜分离装置的初级氧气出口通过初级氧气总管连接沸石分子筛吸附塔下端口,沸石分子筛吸附塔上端口通过中级氧气支管连接中级氧气总管,中级氧气总管连接氧气纯化装置,沸石分子筛吸附塔下端口通过氮气解吸支管连接氮气总管;膜分离装置的初级氮气出口连接碳分子筛吸附塔下端口,碳分子筛吸附塔上端口通过中级氮气支管连接有氮气总管,碳分子筛吸附塔下端口通过氧气解吸气支管连接有中级氧气总管;初级氧气总管还连接有初级氧气支管,初级氧气支管上设有阀门Ⅰ,中级氧气总管上还连接有中级氧气支管,中级氧气支管上设有阀门Ⅱ;碳分子筛吸附塔为两个,沸石分子筛吸附塔为两个,氮气解吸支管上设有真空泵,氧气解吸气支管设有真空泵。2.根据权利要求1所述的分离提纯工业气体装置,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:许红波,
申请(专利权)人:河南科益气体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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