【技术实现步骤摘要】
一种可变带宽声表面波宽带滤波器
本技术涉及一种声表面波滤波器，尤其涉及一种基于形状记忆合金材料的可变带宽声表面波宽带滤波器，属于微声电子器件
技术介绍
声表面波滤波器由制作在压电基片上的输入叉指换能器将电信号转换成声信号，声信号沿基片表面传播，再由输出叉指换能器将声信号转换成电信号，在两次转换中实现对电信号的滤波功能。现行技术中实现大带宽声表面波滤波器的有效方法是采用扇形叉指换能器结构。常规叉指换能器由周期性排列在压电基片表面且垂直于声表面波传播方向的等宽矩形金属指阵列构成，叉指换能器的外形呈矩形，而扇形叉指换能器则由倾斜或折线状的非矩形金属指阵列构成，叉指换能器的外形呈扇形，其扇形锥度决定声表面波滤波器通带相对带宽的大小。常规上，声表面波叉指换能器中的金属指阵列结构是通过对淀积在压电基片表面的金属膜进行光刻、刻蚀获得的，组成叉指换能器的若干金属指以确定的重复周期粘附在压电基片表面。具有这一特征的叉指换能器在应用于声表面波宽带滤波器时，可以实现稳定的通带宽度和中心频率。虽然可以通过对叉指换能器的叉指阵列结构进行加权或者通过改变扇形叉指换能器的扇形锥度来设...
【技术保护点】
1.一种可变带宽声表面波宽带滤波器，其特征是：包括压电基片（1）、输入叉指换能器（2‑1）、输出叉指换能器（2‑2），所述输入叉指换能器（2‑1）包括扇形输入叉指阵列及其扇形输入叉指阵列两端的输入汇流电极（21）和第一接地汇流电极（23‑1），所述输出叉指换能器（2‑2）包括扇形输出叉指阵列及其扇形输出叉指阵列两端的输出汇流电极（22）和第二接地汇流电极（23‑2）；所述扇形输入叉指阵列和扇形输出叉指阵列均包含若干浮置复合指（24），所述若干浮置复合指（24）相对于其所在对应扇形输入叉指阵列、扇形输出叉指阵列的纵向中心线按周期对称排列，扇形输入叉指阵列、扇形输出叉指阵列上端...
【技术特征摘要】
1.一种可变带宽声表面波宽带滤波器，其特征是：包括压电基片（1）、输入叉指换能器（2-1）、输出叉指换能器（2-2），所述输入叉指换能器（2-1）包括扇形输入叉指阵列及其扇形输入叉指阵列两端的输入汇流电极（21）和第一接地汇流电极（23-1），所述输出叉指换能器（2-2）包括扇形输出叉指阵列及其扇形输出叉指阵列两端的输出汇流电极（22）和第二接地汇流电极（23-2）；所述扇形输入叉指阵列和扇形输出叉指阵列均包含若干浮置复合指（24），所述若干浮置复合指（24）相对于其所在对应扇形输入叉指阵列、扇形输出叉指阵列的纵向中心线按周期对称排列，扇形输入叉指阵列、扇形输出叉指阵列上端浮置复合指（24）的排列周期最大，扇形输入叉指阵列、扇形输出叉指阵列下端浮置复合指（24）的排列周期最小，且至上而下连续递减；所述浮置复合指（24）为上宽下窄的梯形指条，包含依次相连的金属指（241）、介质延长指（242）和金属连接指（243），所述金属指（241）、金属连接指（243）的内端均附有连接凸块（244），所述介质延长指（242）的两端附有连接凹槽（245），所述金属指（241）内端的连接凸块（244）与介质延长指（242）一端的连接凹槽（245）相嵌，介质延长指（242）另一端的连接凹槽（245）与金属连接指（243）内端的连接凸块（244）相嵌；所述各个浮置复合指（24）浮置在压电基片（1）表面，其下表面与压电基片（1）表面紧密贴合；所述扇形输入叉指阵列中的若干浮置复合指（24）分为两组，其中一组浮置复合指（24）的金属指（241）外端汇接于输入汇流电极（21），其金属连接指（243）外端汇接于第一接地汇流电极（23-1），另一组浮置复合指（24）的金属指（241）外端汇接于第一接地汇流电极（23-1），其金属连接指（243）外端汇接于输入汇流电极（21），两组浮置复合指中的各个浮置复合指（24）相互交替排列，两组浮置复合指中的金属指（241）相互交...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵成，陈磊，张凯，郭鹏飞，王健，
申请(专利权)人：扬州大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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