一种单晶炉石墨加热装置制造方法及图纸

技术编号:20043387 阅读:88 留言:0更新日期:2019-01-09 03:38
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉石墨加热装置,包括多块相互拼接的条板组件及连接板,各条板组件长度方向相互平行并接,构成中空的圆筒状结构,用于容纳装有原料硅块的容器,连接板用于将相邻条板组件的端部安装定位;由条板组件构成的圆筒状结构上每间隔预设角度还设置有电极板结构。通过相互拼接条板组件代替原先一体式的加热器结构,通过连接板将相邻的条板组件安装固定,定型成圆筒状的结构,以实现炉内加热,多个相互连接组装的单元块构成加热器的整体的设计,在装置局部发生故障时仅需更换对应的条板组件即可完成装置更新故障排除,相应的在产品加工时仅选用合格的条板组件即可,避免由于局部的缺陷报废整个加热器,优化装置的维修性。

A Graphite Heating Device for Single Crystal Furnace

The utility model discloses a graphite heating device for a single crystal furnace, which comprises a plurality of jointed strip assemblies and connecting plates, each of which is parallel in length and direction, forming a hollow cylindrical structure for holding containers containing raw silicon blocks, and connecting plates for installing and positioning the ends of adjacent strip assemblies; and a cylindrical structure consisting of strip assemblies with each interval. The preset angle is also provided with an electrode plate structure. The original integrated heater structure is replaced by spliced strip components. The adjacent strip components are fixed by connecting plates and shaped into a cylindrical structure so as to realize heating in the furnace. The integral design of heater is made up of several interconnected assembling units. When the device fails locally, only the corresponding strip components need to be replaced to complete the device renewal failure row. In addition, only qualified strip assemblies can be selected in the corresponding product processing, so as to avoid abandoning the whole heater due to local defects and optimize the maintainability of the device.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉石墨加热装置
本技术涉及光伏单晶硅制造
,更具体地说,涉及一种单晶炉石墨加热装置。
技术介绍
单晶硅制造是使用单晶炉,在高温下熔化原料硅块,采用直拉法拉制单晶硅棒。加热器是单晶炉中提供高温的重要部件,通常使用石墨加热器,其具有导电性、耐高温、抗热震性好、易加工等特点,成为被广泛使用的单晶炉加热器,并且其为主要耗材之一,直接影响单晶硅的制造成本。传统的加热器基本为炉体整体结构,石墨加热器由于在高温下长期使用,加热器脚会被硅蒸汽侵蚀,导致与电极接触不良及造成打火,如不进行维修或更换,最终会导致开裂或折断至整个加热器无法使用。而多采用加热器设计其主体和设置在主体下的可拆卸加热器脚,可通过更换加热器脚来实现快速修复,但无法避免硅蒸汽侵蚀加热器主体造成主体损坏,导致整个加热器无法使用。并且,进一步的由于现有的单晶炉用石墨加热器主体为一体成型,在生产过程中发生的产品缺陷,将导致整个加热器存在严重的缺陷无法使用,另外在长期使用过程中,若出现局部损坏,也将导致整个加热器无法使用,需要整体更换,造成较高的设备维护成本。综上所述,如何有效地解决传统石墨加热器其结构容易出现的局部损坏会导致本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉石墨加热装置,其特征在于,包括多块相互拼接的条板组件及连接板,各所述条板组件长度方向相互平行并接,构成中空的圆筒状结构,用于容纳装有原料硅块的容器,所述连接板用于将相邻所述条板组件的端部安装定位;由所述条板组件构成的圆筒状结构上每间隔预设角度还设置有电极板结构。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉石墨加热装置,其特征在于,包括多块相互拼接的条板组件及连接板,各所述条板组件长度方向相互平行并接,构成中空的圆筒状结构,用于容纳装有原料硅块的容器,所述连接板用于将相邻所述条板组件的端部安装定位;由所述条板组件构成的圆筒状结构上每间隔预设角度还设置有电极板结构。2.根据权利要求1所述的单晶炉石墨加热装置,其特征在于,所述电极板结构一端设置有弯折脚,所述弯折脚伸出由所述条板组件所构成圆筒状结构的端部。3.根据权利要求2所述的单晶炉石墨加热装置,其特征在于,所述电极板结构背离所述弯折脚的一端设置有平行长度方向的开槽,所述开槽将电极板结构分为宽度均与所述条板组件宽度一致的两支。4.根据权利要求3所述的单...

【专利技术属性】
技术研发人员:苏光都杨小刚徐文静李航
申请(专利权)人:江西中昱新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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