一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置及方法，属于高功率激光技术领域，该装置包括脉冲激光器、第一光电管、取样镜、石英棱镜、单层化学膜和第二光电管，所述石英棱镜为等边三棱镜，所述单层化学膜涂覆在石英棱镜的一个面上，所述脉冲激光器发出的光束经取样镜后，一部分入射到第一光电管上，剩余部分从石英棱镜的一个侧面射入，从涂有单层化学膜的一面射出，出射光线入射到第二光电管上，本发明专利技术的装置结构简单紧凑、成本低，能够有效测定高功率激光系统中单层化学膜折射率变化值，折射率变化值的检测精度达到0.0001。

A Device and Method for Accurately Measuring the Refractive Index Change of Single-Layer Chemical Films

The invention relates to a device and a method for accurately measuring the refractive index change value of a single layer chemical film, belonging to the technical field of high power laser. The device comprises a pulse laser, a first phototube, a sampling lens, a quartz prism, a single layer chemical film and a second phototube. The quartz prism is an equilateral triangle prism. The single layer chemical film is coated on one surface of the quartz prism, and the pulse is generated by the device. After the laser beam passes through the sampling mirror, one part of the beam is incident on the first phototube, the remaining part is injected from one side of the quartz prism, from one side coated with a single layer of chemical film, and the output light is incident on the second phototube. The device of the present invention has simple and compact structure and low cost, and can effectively measure the refractive index change value of a single layer of chemical film in a high power laser system. The detection accuracy of the change of emissivity is 0.0001.

【技术实现步骤摘要】
一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置及方法
本专利技术属于高功率激光
，具体地说涉及一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置及方法。
技术介绍
高功率固体激光系统较高通量的紫外光学元件的减反膜(或取样膜)一般采用单层化学膜。与介质膜相比，化学膜属于“疏松”膜，容易吸附气氛环境中的有机颗粒，导致化学膜折射率发生变化，进而对其减反效果产生影响。由于高功率固体激光装置对于减反效果和取样率的要求较为苛刻，因此需要通过精确测定气氛环境中化学膜的折射率的变化情况。在现有的化学膜折射率检测方法中，尚没有能够精确测定折射率变化值至0.0001精度的装置及方法。
技术实现思路
针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，本专利技术提供一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置和方法，该装置结构简单紧凑、成本低，能够有效测定高功率激光系统中单层化学膜折射率变化值，折射率变化值的检测精度达到0.0001。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置，包括脉冲激光器、第一光电管、取样镜、石英棱镜、单层化学膜和第二光电管，所述石英棱镜为等边三棱镜，所述单层化学膜涂覆在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置，其特征在于，包括脉冲激光器、第一光电管、取样镜、石英棱镜、单层化学膜和第二光电管，所述石英棱镜为等边三棱镜，所述单层化学膜涂覆在石英棱镜的一个面上，所述脉冲激光器发出的光束经取样镜后，一部分入射到第一光电管上，剩余部分从石英棱镜的一个侧面射入，从涂有单层化学膜的一面射出，出射光线入射到第二光电管上。

【技术特征摘要】
1.一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置，其特征在于，包括脉冲激光器、第一光电管、取样镜、石英棱镜、单层化学膜和第二光电管，所述石英棱镜为等边三棱镜，所述单层化学膜涂覆在石英棱镜的一个面上，所述脉冲激光器发出的光束经取样镜后，一部分入射到第一光电管上，剩余部分从石英棱镜的一个侧面射入，从涂有单层化学膜的一面射出，出射光线入射到第二光电管上。2.根据权利要求1所述的一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置，其特征在于，所述第一光电管和第二光电管均连接有示波器。3.根据权利要求2所述的一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置，其特征在于，所述第一光电管、第二光电管和示波器的测量精度高于0.00002。4.根据权利要求3所述的一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置，其特征在于，所述脉冲激光器的输出功率与第一光电管和第二光电管的测量范围匹配。5.根据权利要求3所述的一种精确测定单层化学膜折射率变化值的装置，其特征在于，所述脉冲激光器的输出波长为1053nm。6.根据权利要求1-5任一所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王方，郑天然，李强，高波，严鸿维，晏良宏，胡东霞，周丽丹，朱启华，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川,51