一种静电致动辅助进给的微细电解加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种静电致动辅助进给的微细电解加工装置，包括静电致动辅助进给系统，所述静电致动辅助进给系统包括加工工件的平面电极、加工电源、驱动所述平面电极的静电场电极和辅助电源，所述加工电源的两端分别与所述平面电极、工件连接，所述辅助电源的两端分别与所述平面电极、静电场电极连接，所述静电场电极的外表面设有使所述辅助电源不参与电解加工的绝缘膜，所述辅助电源仅产生静电场来驱动所述平面电极变形。本发明专利技术的有益效果是：通过辅助电源产生静电场来驱动平面电极变形，从而实现了静电致动辅助进给，利用平面电极片在静电力的致动下实现微进给，很好的解决了微细电解加工电压限制而使静电致动变形量过小的问题。

A Micro-electrochemical Machining Device with Electrostatic Actuator Assisted Feed

The invention provides a micro electrochemical processing device with electrostatic actuation assistant feed, including an electrostatic actuation assistant feed system, which comprises a plane electrode for processing workpiece, a processing power supply, an electrostatic field electrode for driving the plane electrode and an auxiliary power supply. The two ends of the processing power supply are respectively connected with the plane electrode and the workpiece, and the assistant power supply is connected with the plane electrode and the workpiece. The two ends of the power supply are respectively connected with the planar electrode and the electrostatic field electrode. The outer surface of the electrostatic field electrode is provided with an insulating film which prevents the auxiliary power supply from participating in electrochemical processing. The auxiliary power supply only generates an electrostatic field to drive the planar electrode to deform. The beneficial effect of the invention is that the electrostatic field is generated by the auxiliary power supply to drive the deformation of the planar electrode, thereby realizing the assistant feed of electrostatic actuation, and realizing the micro feed of the planar electrode sheet under the actuation of electrostatic force, which solves the problem of too small deformation of the electrostatic actuation due to the voltage limitation of the micro-electrochemical machining.

【技术实现步骤摘要】
一种静电致动辅助进给的微细电解加工装置
本专利技术涉及电解加工装置，尤其涉及一种静电致动辅助进给的微细电解加工装置。
技术介绍
微细电解加工是基于氧化还原(电荷转移)的加工形式，一般而言金属离子的尺寸约为0.1nm，相对于火花放电不仅精度更高、平整度好，而且加工过程没有电极损耗。基于此微细电解加工在微、纳米加工方面具有很大的发展潜力。在微细电解加工中，主要的难题是精度和效率的控制。为了获得微米级的精度，加工间隙通常要控制在几微米范围内。微细电解加工模型属于双层电容模型，加工间隙决定着等效电容、等效电阻的大小，决定着加工范围和加工精度。因此在加工中既要满足小间隙要求，又要确保间隙稳定。然而就国内制造业发展现状来说，伺服驱动装置主要为伺服电机或直线电机，其精度大约为几微米，不能满足微细电解的精度要求；近几年随着技术的进步，配合高精密光栅尺的直线电机的出现，提高了机床精度，精度可以达到0.01微米。但是加工装置的精度越高其价格也就越昂贵，而且因其不开源，在控制算法设计上也比较困难。所以需要一种可以降低加工成本，设计简便的加工装置，以便实现工业推广。马晓宇等采用间歇回退加工方法提高电解加工精本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电致动辅助进给的微细电解加工装置，其特征在于：包括静电致动辅助进给系统，所述静电致动辅助进给系统包括加工工件的平面电极、加工电源、驱动所述平面电极的静电场电极和辅助电源，所述加工电源的两端分别与所述平面电极、工件连接，所述辅助电源的两端分别与所述平面电极、静电场电极连接，所述静电场电极的外表面设有使所述辅助电源不参与电解加工的绝缘膜，所述辅助电源仅产生静电场来驱动所述平面电极变形。

【技术特征摘要】
1.一种静电致动辅助进给的微细电解加工装置，其特征在于：包括静电致动辅助进给系统，所述静电致动辅助进给系统包括加工工件的平面电极、加工电源、驱动所述平面电极的静电场电极和辅助电源，所述加工电源的两端分别与所述平面电极、工件连接，所述辅助电源的两端分别与所述平面电极、静电场电极连接，所述静电场电极的外表面设有使所述辅助电源不参与电解加工的绝缘膜，所述辅助电源仅产生静电场来驱动所述平面电极变形。2.根据权利要求1所述的静电致动辅助进给的微细电解加工装置，其特征在于：所述加工电源的负极与所述平面电极连接，所述加工电源的正极与所述工件连接，所述辅助电源的负极与所述平面电极连接，所述辅助电源的的正极与所述静电场电极连接，所述辅助电源的电压可调。3.根据权利要求2所述的静电致动辅助进给的微细电解加工装置，其特征在于：所述辅助电源的电压从0至600V连续可调。4.根据权利要求2所述的静电致动辅助进给的微细电解加工装置，其特征在于：所述辅助电源的脉冲宽度大于或等于所述加工电源的脉冲宽度。5.根据权利要求2所述的静电致动辅助进给的微细电解加工装置，其特征在于：所述加工电源的负极与所述平面电极之间串联有第一限流电阻，所述辅助电源的负极与所述平面电极之间串联有第二限流电阻。6.根据权利要求2所述的静电致动辅助进给的微细电解加工装置，其特征在于：所述静电致动辅助进给系统还包括第一晶体管、第二晶体管、第一二极管、第二二极管，所述加工电源的正极与所述第一晶体管的漏极连接，所述第一晶体管的源极与所述第一二极管的阳极...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄瑞宁，朱晓坤，熊小刚，楼云江，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳，
类型：发明
国别省市：广东,44