大功率器件静电放电电流波形检测系统及测试方法技术方案

本发明专利技术提出大功率器件ESD静电防护中的CDM模型的电流检测系统结构及测试方法，以完成对CDM模型的ESD电流波形的抓取，便于为以CDM模型为基础的ESD静电防护提供数据支持。该系统结构包括：用于支持的测试机台，机台底座上承载测试器件DUT，机台支架,用于固定系统的检测模块。检测模块包括pogo（弹簧单高跷）探针、测试板等结构。测试机台使用铝合金材质制成，具有螺旋调节升降的功能，同时带有固定装置，可以固定设备的测试板，测试板为双层FR‑4板。Pogo探针为手机天线专用探针，可以满足18GHz及以下条件下的信号测试。同轴电缆特性阻抗为50Ω.所使用的校准模块为FR‑4材料，电容值为4pF。

【技术实现步骤摘要】
大功率器件静电放电电流波形检测系统及测试方法
本专利技术涉及集成电路领域，尤其涉及CDM模型静电放电电流波形的检测系统及测试方法。
技术介绍
由于工艺水平的不断提高，互补金属氧化物半导体（CMOS，ComplementaryMetal-Oxide-Semiconductor)器件的尺寸一直处于缩小的趋势，目前已经达到深亚微米甚至更小。这种发展趋势在提升了器件性能和工作速度的同时，也带来了一个致命的弱点，即输入阻抗很大，很容易被静电放电（ESD，Electro-StaticDischarge）击穿。在实际使用过程中，处处都存在着电容效应。我们知道，静电电荷可以存储在几乎所有的物体中，这使得静电放电现象出现于各个地方。目前，对于集成电路而言，ESD防护测试根据器件带电途径不同一般可分为HBM（HumanBodyModel）、MM(Machine)、CDM（ChargedDeviceModel）等几种，根据其带电途径的不同，相关的测试设备和测试方法也会有一定程度的差别。在这三种模型中，HBM模型和MM模型，由于被提出的时间较早，因此很多人已经熟知，并且电子工程师们也已经有针对性地采取了各种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于CDM模型的ESD电流波形检测系统，其特征在于，包括：可以调节升降的测试机台，机台上半部分为可以调节松紧的用于固定悬挂装置的支架，所述支架可以固定法兰盘；所述测试板含有容纳螺丝通过的通孔，螺丝通过该通孔以及法兰盘的通孔将测试板与法兰盘连为一体；测试板侧面含有插头，用于连接一端含有配套插座的同轴电缆；测试板底部垂直焊接有pogo（ 弹簧单高跷）探针（即探针垂直于测试板平面），用于接触带电器件，获取所需波形；测试机台底座上水平放置校准模块。

【技术特征摘要】
1.基于CDM模型的ESD电流波形检测系统，其特征在于，包括：可以调节升降的测试机台，机台上半部分为可以调节松紧的用于固定悬挂装置的支架，所述支架可以固定法兰盘；所述测试板含有容纳螺丝通过的通孔，螺丝通过该通孔以及法兰盘的通孔将测试板与法兰盘连为一体；测试板侧面含有插头，用于连接一端含有配套插座的同轴电缆；测试板底部垂直焊接有pogo（弹簧单高跷）探针（即探针垂直于测试板平面），用于接触带电器件，获取所需波形；测试机台底座上水平放置校准模块。2.如权利要求1所述的结构，其特征在于，所述固定悬挂装置的支架，用于固定的部分为环形，内径略大于用于连接测试板的圆柱法兰盘直径。3.如权利要求1所述的结构，其特征在于，所述测试板，含有两个可以通过螺丝的通孔，用于将测试板与法兰盘结合在一起，固定在测试机台上，所述通孔距离测试板中心距离相等，所述测试板在与法兰盘相连的对侧焊接有pogo探针。4.如权利要求1所述的结构，其特征在于，测试板所焊接的pogo探针，其所能工作的频率范围至少为1GHz。5.如权利要求1所述的结构，其特征在于，测试板所焊接的pogo探针，通过1Ω电阻与测试板焊接相连，所用1Ω电阻为环形辐射电阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆宇，
申请(专利权)人：上海卓弘微系统科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31