IGBT器件电流波形测试板制造技术

本发明专利技术提出用于IGBT器件电流波形检测的测试板结构，以有效捕捉与国际上通用测试规范中典型波形一致的放电电流波形。该结构包括：用于直接接触放电器件的pogo(弹簧单高跷)探针，用于滤除高频干扰的滤波器，用于减小电流峰值方便测试的衰减器，用于转换电流信号的测试电阻以及用于连接所有部分的接地板。所述滤波器和衰减器位于所述接地板上，接地板接金属插座，用以连接示波器。所述接地板含有固定作用的结构，用于与测试系统的其他部分连接。

【技术实现步骤摘要】
IGBT器件电流波形测试板
本专利技术涉及集成电路领域，尤其涉及关于IGBT器件测试中的电流波形检测的测试板结构。
技术介绍
随着技术发展，IGBT器件越来越趋于复杂化，一个小的损伤就有可能导致整个器件的报废。在器件可能遇到的多种静电损伤中，CDM模型尤其值得注意，不仅因为其放电速度快，常常使得保护电路来不及导通，无法起到保护作用，还因为目前针对CDM模型ESD电流波形的检测尚没有一个很健全的测试结构。目前，在各种常见的ESD放电模型中，HBM(HumanBodyModel)和MM(MachineModel）都具有自己对应的较为成熟的检测机制，但是CDM模型检测相比于上述两种模型，仍处于较为落后的阶段，还没有较为成熟的检测机制。且对于实际情况而言，CDM模型的失效情况极为普遍，因此对CDM模型所做的ESD防护是极为必要的。由此，CDM模型的检测尤为重要。目前虽然已经有了国际通用的测试规范，并且国外的某些公司已经生产出相关的检测设备，可以进行完整的检测，但国内在该领域还属于空白阶段，所采用的设备都是从国外进口的。并且，无论哪个公司生产的设备，都是按照类似的流程来进行的，无较大差别。随着本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于静电放电电流波形检测的测试板结构，其特征在于，包括：可以用作电容器的材料制成的测试板，所述测试板承载了包含测试探针6、滤波器2、衰减器3、固定装置1、同轴电缆连接插座4、测试电阻7、接地孔8；所述滤波器2一端直接与测试探针6相连，另一端与衰减器3的一端连接；衰减器3另一端与并联后的测试电阻7相接；测试电阻7中的电阻为并联关系，一端同时与衰减器3相连，另一端分别通过接地孔8接地；并联的测试电阻7与衰减器3相连端同时引出到测试板边缘，焊接一个同轴电缆连接插座4；所述测试板5的尺寸根据所用的测试设备大小不同可以适当调整；制作所述测试板5的材料必须均匀性一致，且表面没有明显磨损。

【技术特征摘要】
1.用于静电放电电流波形检测的测试板结构，其特征在于，包括：可以用作电容器的材料制成的测试板，所述测试板承载了包含测试探针6、滤波器2、衰减器3、固定装置1、同轴电缆连接插座4、测试电阻7、接地孔8；所述滤波器2一端直接与测试探针6相连，另一端与衰减器3的一端连接；衰减器3另一端与并联后的测试电阻7相接；测试电阻7中的电阻为并联关系，一端同时与衰减器3相连，另一端分别通过接地孔8接地；并联的测试电阻7与衰减器3相连端同时引出到测试板边缘，焊接一个同轴电缆连接插座4；所述测试板5的尺寸根据所用的测试设备大小不同可以适当调整；制作所述测试板5的材料必须均匀性一致，且表面没有明显磨损。2.如权利要求1所述的结构，其特征在于，所述滤波器2利用微带线构成，，根据需要的中心频率值调整微带线的尺寸以获得合适的滤波器。3.如权利要求1所述的结...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈立，
申请(专利权)人：上海卓弘微系统科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31