The invention discloses a production method of ammonia water. Specifically, the following steps are included: (1) the industrial liquid ammonia is flowed into the liquid ammonia gasifier through the pressure reducing valve to regulate the flow rate, and the liquid ammonia is gasified. The flow rate of liquid ammonia gasification is stable, and the ammonia gas is prepared for reserve; (2) the ammonia gas obtained by the step (1) is removed from the ammonia gas and moisture by the oil-water separator; (3) the ammonia gas obtained by the step (2) is absorbed by ultra-pure water to obtain ammonia water; (4) (3) Ammonia water obtained in step (3) is filtered by microporous membrane, and ultrapure ammonia water is obtained by collecting filtrate. The invention avoids the distillation process in the traditional method, has the advantages of simple operation, low energy consumption and stable product quality.
【技术实现步骤摘要】
一种氨水的生产方法
本专利技术涉及一种氨水的生产方法，特别是一种纯度高的氨水的生产方法。
技术介绍
随着半导体行业技术的迅猛发展，对超净高纯(Ultra-cleanandHigh-purityReagent)的纯度的要求和标准也在不断提高，作为半导体行业中重要的电子级化学试剂之一，超纯氨水在半导体和化合物半导体器件制造中得以广泛的应用，其生产制备也得到越来越多的关注。由于氨水中存在着金属离子和固体颗粒等杂质，对于产品的制造和产率来讲影响是非常大的，甚至对于线宽较小的集成电路，几个金属离子或灰尘颗粒就足以报废整个电路。因此，通常要求超纯氨水的纯度达到国际半导体设备和材料组织制定的化学材料部分SEMIC17.1-0298标准(Grade4，G4标准)。超纯氨水生产中的关键在于解决去除金属离子杂质和颗粒杂质的问题。目前，关于高纯氨水的生产方法报道较少，而且现有技术主要通过精馏的方法生产超纯氨水。该方法步骤繁琐，频繁使用高温、高压等生产条件，对安全生产极为不利，产品纯度也达不到一定要求，转换率低，还产生了大量的工业级氨水，造成生产成本提高，同时产生的废液对环境也造成污染。...
【技术保护点】
1.一种氨水的生产方法，其特征在于：具体包括以下步骤：（1）将工业级液氨通过减压阀调节流量进入液氨气化器， 进行液氨气化，液氨气化流速稳定，制备得到氨气，备用；（2）将步骤（1）得到的氨气通过油水分离器除去氨气中又分和水分；（3）将步骤（2）得到的氨气用超纯水吸收得到氨水；（4）用微孔膜将步骤（3）中所得氨水进行过滤，收集滤液得到超纯氨水。
【技术特征摘要】
1.一种氨水的生产方法，其特征在于：具体包括以下步骤：（1）将工业级液氨通过减压阀调节流量进入液氨气化器，进行液氨气化，液氨气化流速稳定，制备得到氨气，备用；（2）将步骤（1）得到的氨气通过油水分离器除去氨气中又分和水分；（3）将步骤（2）得到的氨气用超纯水吸收得到氨水；（4）用微孔膜将步骤（3）中所得氨水进行过滤，收集滤液得到超纯氨水。2.如权利要求1所述的氨水的生产方法，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘平贵，
申请(专利权)人：贵州福泉乾丰氨业有限公司，
类型：发明
国别省市：贵州,52
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