The invention relates to a cleaning system, which comprises a cleaning device and a robot. The robot includes at least one mechanical arm, a cleaning device includes at least one transfer mechanism and a cleaning mechanism. The transfer mechanism connects the cleaning mechanism with the mechanical arm, and enables the cleaning mechanism of the cleaning device to clean the platform by controlling the mechanical arm. The cleaning system can support the cleaning mechanism of the cleaning device. Continuous and efficient cleaning and the advantages of diversified cleaning methods.
【技术实现步骤摘要】
清洁系统
本专利技术涉及清洁设备
,尤其涉及一种清洁系统。
技术介绍
液晶显示行业较多工序需使用到平台结构,即Stage结构,以为玻璃基板提供精准的水平放置条件,例如涂布机(Coater)需在平台上对玻璃基板进行均一涂布,预烘烤(Pre-bake,HP)设备需在平台上进行均匀加热。平台作为精准的平台结构,较易受掉落的杂质或其他异物的影响,例如,光阻涂布过程中平台上杂质形成的高度会影响玻璃基板表面涂布的光阻厚度,常见显示面板上出现为蝶状Mura(明暗不均的现象),故在维护保养中平台是需要重点清洁的部件。现行平台结构需经常维护清洁,保证其洁净度避免出现产品不良。业内也主要采用人工擦拭清洁的方式,一方面清洁设备结构复杂,人工擦拭直接接触的同时能起到检查作用,能保证擦拭效果;另一方面考虑清洁设备成本未开发自动清洁功能。然而,人工擦拭清洁的方式存在以下两个方面的缺陷:(1)人工擦拭清洁较难避免人为带入的杂质掉落平台上,造成二次污染;(2)人力擦拭较为繁琐,人员需先进行全身清洁后才可进入设备,擦拭范围较小,擦拭效率低。因此,有必要提出一种技术方案以解决由于无法对平台进行 ...
【技术保护点】
1.一种清洁系统,其特征在于,所述清洁系统包括清洁装置和机器人,所述机器人包括至少一机械手臂,所述清洁装置包括:至少一转接机构,所述转接机构包括:一锁紧套,所述锁紧套具有与所述机械手臂连接的一开口端,所述机械手臂插入所述锁紧套的开口端以与所述转接机构连接,一连接杆,所述连接杆具有第一端部和第二端部,所述第一端部与所述锁紧套连接,以及,一卡槽,所述卡槽与所述连接杆的第二端部连接;一清洁机构,所述清洁机构与所述卡槽连接。
【技术特征摘要】
1.一种清洁系统,其特征在于,所述清洁系统包括清洁装置和机器人,所述机器人包括至少一机械手臂,所述清洁装置包括:至少一转接机构,所述转接机构包括:一锁紧套,所述锁紧套具有与所述机械手臂连接的一开口端,所述机械手臂插入所述锁紧套的开口端以与所述转接机构连接,一连接杆,所述连接杆具有第一端部和第二端部,所述第一端部与所述锁紧套连接,以及,一卡槽,所述卡槽与所述连接杆的第二端部连接;一清洁机构,所述清洁机构与所述卡槽连接。2.根据权利要求1所述的清洁系统,其特征在于,所述连接杆上设置有弹性部,所述弹性部位于所述第一端部和所述第二端部之间。3.根据权利要求2所述的清洁系统,其特征在于,所述弹性部为弹簧或橡胶部件。4.根据权利要求1所述的清洁系统,其特征在于,所述锁紧套靠近所述开口端的内壁上设置有环绕所述内壁的柔性内衬,所述柔性内衬位于所述锁紧套和所述机械手臂之间。5.根据权利要求1所述的清洁系统,其特征在于,所述锁紧套具...
【专利技术属性】
技术研发人员:施杰,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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