一种刷洗装置及清洗设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种刷洗装置，包括机体以及横向设置且贯穿机体内外的驱动轴；驱动轴上设置有毛刷，机体上设置有用于对驱动轴与机体的连接处进行密封的密封机构；其中，密封机构包括套设在驱动轴上的密封件，密封件一端与机体侧壁贴合密封连接；驱动轴上套设有由硬性材料制成的第一密封圈、以及由软性材料制成的第二密封圈，第一密封圈和第二密封圈均与密封件内壁触接。通过硬性的第一密封圈与软性的第二密封圈结合，共同作用在驱动轴上，起到双重防护密封作用，同时利用软性的第二密封圈增强与密封件内侧以及驱动轴外侧的连接紧密性，阻挡高温高压蒸汽及药液沿驱动轴前进，从而防止机体内的药液和蒸汽泄露。

A Brushing Device and Cleaning Equipment

The invention provides a brushing device, which comprises a body and a driving shaft arranged horizontally and running through the inside and outside of the body; a brush is arranged on the driving shaft, and a sealing mechanism for sealing the connection between the driving shaft and the body is arranged on the body; the sealing mechanism comprises a sealing element sleeved on the driving shaft, and one end of the sealing element is connected with the side wall of the body. A first seal ring made of hard material and a second seal ring made of soft material are provided. The first seal ring and the second seal ring are both contacted with the inner wall of the seal. Through the combination of the hard first seal ring and the soft second seal ring, it acts as a double protective seal on the drive shaft. At the same time, the soft second seal ring is used to enhance the connection tightness with the inner side of the seal and the outer side of the drive shaft, to prevent the high temperature and high pressure steam and liquid medicine from moving along the drive shaft, so as to prevent the leakage of liquid medicine and steam in the body.

【技术实现步骤摘要】
一种刷洗装置及清洗设备
本专利技术涉及基板清洗领域，尤其涉及一种刷洗装置及清洗设备。
技术介绍
在液晶面板的制备过程中，需要使用清洗设备对基板进行清洗。现有的清洗设备中，一般会带有刷洗装置，以用于基板正背面的清洗，其原理是利用毛刷的转动，绒毛尖端与基板表面接触，从而扰动、刷洗掉基板表面异物。清洗设备内因多用到各类化学药液，而且处于高温高压等复杂清洗环境，因此，密封避免漏液是清洗设备最基本的能力要求。但在刷洗装置中，为了保持毛刷的驱动部干燥，驱动轴会延伸到腔室外，现有的刷洗装置中，驱动轴与腔室机体的连接处一般采用轴承和带双沟槽的硬性密封件进行密封。而采用硬性结构设计对驱动轴和腔室机体的连接处进行密封，对高温高压的药液蒸汽密封性差，容易导致药液蒸汽泄露。
技术实现思路
本专利技术提供一种刷洗装置，以解决现有的密封机构密封性较差，导致药液蒸汽容易泄露的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：一种刷洗装置，包括：机体；横向设置且贯穿机体内外的驱动轴；设置在驱动轴上的毛刷；设置在机体上以用于对驱动轴与机体的连接处进行密封的密封机构；其中，所述密封机构包括套设在驱动轴上的密封件，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刷洗装置，其特征在于，所述刷洗装置包括：机体；横向设置且贯穿机体内外的驱动轴；设置在驱动轴上的毛刷；设置在机体上以用于对驱动轴与机体的连接处进行密封的密封机构；其中，所述密封机构包括套设在驱动轴上的密封件，所述密封件一端与机体的侧壁贴合密封并连接；所述驱动轴上套设有由硬性材料制成的第一密封圈以及由软性材料制成的第二密封圈，所述第一密封圈和第二密封圈均与密封件的内壁触接。

【技术特征摘要】
1.一种刷洗装置，其特征在于，所述刷洗装置包括：机体；横向设置且贯穿机体内外的驱动轴；设置在驱动轴上的毛刷；设置在机体上以用于对驱动轴与机体的连接处进行密封的密封机构；其中，所述密封机构包括套设在驱动轴上的密封件，所述密封件一端与机体的侧壁贴合密封并连接；所述驱动轴上套设有由硬性材料制成的第一密封圈以及由软性材料制成的第二密封圈，所述第一密封圈和第二密封圈均与密封件的内壁触接。2.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于，所述第一密封圈上设置有连接部，所述第二密封圈上设置有套接在连接部上的套接部，所述套接部的外侧与密封件的内壁触接。3.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于，所述密封件包括基座和密封外环，所述驱动轴依次穿过基座和密封外环，所述基座固定在机体上；所述密封外环与基座之间设置有密封膜，所述密封膜一端与基座固定连接，另一端与密封外环固定连接。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：施杰，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42