固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。不仅实现固态MO源的纯化冷却接收，还实现接收重量的计量，采用凝华接收，可以控制接收固体颗粒均匀状，满足MOCVD外延生长对于固体MO源的要求；可直接分装，防止操作过程中可能存在的二次污染，较好解决MO源的纯度和颗粒度问题；采用计重模块，解决接收量的计量问题。

Solid Purification Cooling Receiving and Weighting Device for Solid MO Source

The utility model relates to a solid purified cooling receiving and weighing device of solid MO source. Glove box is installed on the glove box table panel. The jacket of glove box is circularly connected with the refrigerator through pipeline. The receiving tank is placed in glove box. The receiving tank is connected with the discharge pipe through bellows. A top box plate is arranged on the top of the glove box, and a weighing module is suspended on the top box board, and the weighing module is connected with the receiving tank. The receiving tank is suspended in the glove box by hoisting, and the weighing module communicates with the PLC data acquisition, analysis and recording unit. It not only realizes the purified cooling reception of solid MO source, but also realizes the measurement of receiving weight. By using condensation reception, the uniformity of receiving solid particles can be controlled to meet the requirement of solid MO source for MOCVD epitaxy growth. It can be directly packaged to prevent secondary pollution during operation and solve the problem of purity and granularity of MO source. The problem of measurement.

【技术实现步骤摘要】
固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置
本技术涉及一种固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，属于化工

技术介绍
目前，现代生长化合物半导体材料的方法有金属有机化学气相沉积(MOCVD)、分子束外延(MBE)、化学束外延(CBE))和液相外延(LPE)等多种技术，特别MOCVD技术，是目前能够进行规模化生产化合物半导体薄膜材料最佳的方法。MOCVD外延过程中所使用最关键的基础材料是纯度大于99.9999％(>6N)的高纯金属有机化合物(简称MO源)，MO源也是CBE外延技术的支撑材料。高纯MO源是MOCVD技术的关键原材料，但是固态MO源是最难提纯的产品，采用传统的固体提纯方法如重结晶、升华、区域熔融等方法，很难将固态MO源纯度提纯到6N以上。例如采用重结晶需要添加新的溶剂，除了添加溶剂需要提纯以外，还需要进行重结晶后的过滤，蒸出溶剂的过程，操作十分繁琐，质量也不稳定；由于这类固体大多熔点较高，升华大多采用减压升华，条件较苛刻，并且在系统恢复常压的过程极易引入新的杂质；由于固态MO源对空气和水都很敏感，提纯必须在隔绝空气的前提下进行，区域熔融的设备显然无法满足要求，所以一般固体提纯方法都不适用于固态MO源的提纯及工业化生产。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现：固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，特点是：在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，所述计重模块上吊挂一圆形钢板，圆形钢板上设有吊绳，吊绳与接收罐上的吊钩相连接。进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，所述圆形钢板上沿周向均匀设有多根吊绳，相对应地，接收罐上沿周向均匀设有多只吊钩，吊绳与对应的吊钩相连接。进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，手套箱的夹套外层设有保温层夹套。进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，所述接收罐连接氮气缓冲保护管路。进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，手套箱的夹套中冷却介质为煤油。本技术与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：本技术不仅实现固态MO源的纯化冷却接收，还实现接收重量的计量，采用凝华接收，可以控制接收固体颗粒均匀状，满足MOCVD外延生长对于固体MO源的要求；可以直接分装，防止其它操作过程中可能存在的二次污染，较好解决了MO源的纯度和颗粒度问题；采用计重模块，解决接收量的计量问题。附图说明图1：本技术的结构示意图。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现详细说明具体实施方案。如图1所示，固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，在手套箱台面板8上安装手套箱9，手套箱9的夹套通过管路与冷冻机11循环连接，夹套中冷却介质为煤油，手套箱9的夹套外层设有保温层夹套10，接收罐7置于手套箱9中，接收罐7通过波纹管4连接出料管，接收罐连接氮气缓冲保护管路，手套箱9的上方设有顶面厢板1，顶面厢板1悬挂一计重模块2，计重模块2上吊挂一圆形钢板3，圆形钢板3上沿周向均匀设有多根吊绳5，相对应地，接收罐7上沿周向均匀设有多只吊钩6，吊绳5与对应的吊钩6相连接，使接收罐7悬浮于手套箱9中，计重模块2与PLC数据采集分析记录单元12通讯连接。具体应用时，各馏分罐放置于低温氮气浴中，安装在顶面厢板1上的计重模块2进行吊装计重，计重模块2将数据传输至PLC数据采集分析记录单元12，PLC数据采集分析记录单元12对重量数据实时记录与分析。可以实现固态MO源的纯化冷却接收，并有效实现对接收重量的计量。固态MO源粗产品装入纯化装置中，在纯化装置中通过加热使固态MO源转化为气态，经分离后，控制气态MO源温度在60～180℃，继而将气态MO源进入体系冷却，得到固体MO源。各馏分接收的冷却温度控制在-30～30℃。固体MO源接收罐只接收一批物料。综上所述，本技术不仅实现固态MO源的纯化冷却接收，还实现接收重量的计量，采用凝华接收，可以控制接收固体颗粒均匀状，满足MOCVD外延生长对于固体MO源的要求；可以直接分装，防止其它操作过程中可能存在的二次污染，较好解决了MO源的纯度和颗粒度问题；采用计重模块，解决接收量的计量问题。需要说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施方式，并非用以限定本技术的权利范围；同时以上的描述，对于相关
的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本技术所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请专利范围中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其特征在于：在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。

【技术特征摘要】
1.固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其特征在于：在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。2.根据权利要求1所述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其特征在于：所述计重模块上吊挂一圆形钢板，圆形钢板上设有吊绳，吊绳与接收罐上的吊钩相连接。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆平，张溧，徐彬，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32