实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及光学常数测量方法技术

本发明专利技术提供了一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及光学常数测量方法，其装置包括飞秒激光器、光学分束片BS、阵列光电导天线、离轴抛物面镜、太赫兹起偏器、反射模块、电光晶体、机械延迟线、光学起偏器、四分之一波片、探测装置，其中探测装置由光学分束片NPB、二分之一波片、沃拉斯顿棱镜、探测端组成。实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪将太赫兹时域椭偏仪和实时的偏振敏感探测结合起来，单次测量就可以同时获得太赫兹脉冲电场的P偏振和S偏振分量。利用实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪测量样品光学常数，提高了实验效率和数据的精度。

Real-time polarization-sensitive terahertz time-domain ellipsometer and measurement of optical constants

The invention provides a real-time polarization-sensitive terahertz time-domain ellipsometer and a method for measuring optical constants. The device comprises a femtosecond laser, an optical beam splitter BS, an array photoconductive antenna, an off-axis parabolic mirror, a terahertz polarizer, a reflection module, an electrooptic crystal, a mechanical delay line, an optical polarizer, a quarter-wave plate and a detection device, in which the detection device is optical. The beam splitter NPB, half wave plate, Wallacton prism and detection end are composed. Real-time polarization-sensitive terahertz time-domain ellipsometer combines terahertz time-domain ellipsometer with real-time polarization-sensitive detection. The P-polarization and S-polarization components of terahertz pulse electric field can be obtained simultaneously by single measurement. The real-time polarization sensitive terahertz time domain ellipsometer is used to measure the optical constants of the samples, which improves the experimental efficiency and data accuracy.

【技术实现步骤摘要】
实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及光学常数测量方法
本专利技术涉及太赫兹
，特别是涉及一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及使用其测量光学常数的方法。可以应用于工业上快速获取物质的光学常数。
技术介绍
太赫兹(THz)是频率在0.1THz～10THz的电磁波。物质中原子分子的振动和转动能级一般都落在这一波段，因此在对材料的表征及机理研究中有着非常重要的地位。然而，这一波段辐射源和探测器的限制使其光谱仪器设备的开发依然不成熟。基于飞秒激光的太赫兹时域光谱技术可以同时测量幅度项和相位项，从而不需要Kramers-Kronig关系或者物理模型就可以获得物质的光学常数。在太赫兹波段“光学厚(Opticallydense)”的物质，一般采用太赫兹时域反射光谱法。但是，这一光谱技术中不可避免的相位误差导致无法直接通过实验的方法获得物质的光学常数。太赫兹时域椭偏光谱法是一种有望解决“光学厚”样品的测量的技术。作为一种相干的探测手段，其只需要获得S偏振和P偏振的时域脉冲就可以完成测量。目前，数据测量的精度(precision)和系统的准度(accuracy)限制了太赫兹时域椭偏仪的发展。系统的准度的问题是由于现有太赫兹波段光学元器件的质量不够和光学系统的光束传输方向未完全校准等原因导致的。要解决这一问题，实验员需要从后期的系统校准和前期光学系统设计这两方面着手。数据测量的精度问题是由于传统太赫兹时域光谱系统的探测器的偏振选择性导致的。要得到S偏振和P偏振信息，一般要人为的旋转太赫兹起偏器。因此，要确定一个样片光学常数就需要分别测量S偏振和P偏振分量。这样不仅降低了实验效率，而且会引入光谱设备自身的不稳定性。
技术实现思路
基于此，本专利技术的目的是在太赫兹时域椭偏仪中实现单次测量太赫兹电场的P偏振和S偏振分量来确定样品的光学常数，提高实验效率和数据的精度。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪，包括飞秒激光器、光学分束片、阵列光电导天线、离轴抛物面镜、太赫兹起偏器、反射模块、电光晶体、机械延迟线、光学起偏器、四分之一波片和探测装置；所述飞秒激光器用于提供飞秒激光；光学分束片BS设置在飞秒激光光路上，将飞秒激光分为探测光和泵浦光；所述探测光进入机械延迟线，再经过光学起偏器和四分之一波片后，被调制为圆偏振态，入射到电光晶体上；所述泵浦光经过阵列光电导天线后辐射出太赫兹脉冲；所述太赫兹脉冲依次经过离轴抛物面镜PM1、太赫兹起偏器WG、离轴抛物面镜PM2、反射模块、离轴抛物面镜PM3和离轴抛物面镜PM4后，被汇聚到电光晶体上，和所述探测光重合后进入探测装置；所述探测装置由光学分束片NPB、两个二分之一波片、两个沃拉斯顿棱镜、平衡探测器DS和平衡探测器DP组成；所述光学分束片NPB设置于电光晶体后，将脉冲分为两束，第一束脉冲经二分之一波片、沃拉斯顿棱镜后输入DS探测器；第二束脉冲经二分之一波片、沃拉斯顿棱镜后输入DP探测器。优选地，所述光学分束片BS为1:9的光学分束片。优选地，所述光电导天线上加有调制频率为22kHz的方波偏置电压。优选地，所述离轴抛物面镜PM1焦距为3英寸；离轴抛物面镜PM2焦距为8英寸；离轴抛物面镜PM3焦距为8英寸；离轴抛物面镜PM4焦距为2英寸。优选地，离轴抛物面镜PM3和离轴抛物面镜PM4之间设置太赫兹起偏器WG1和太赫兹起偏器WG2。优选地，所述反射模块包括两个金属楔和一个样品架。优选地，所述电光晶体为(110)晶向的ZnTe。优选地，所述光学分束片NPB为5:5的无偏振选择性的光学分束片。优选地，DS探测器只响应S偏振，DP探测器只响应P偏振。本专利技术还包括一种测量物质光学常数的方法，包括如下步骤：步骤一：将样品固定在所述实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪的样品架上；步骤二：用太赫兹起偏器对所述实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪进行校准；步骤三：测量从样品表面反射的太赫兹时域脉冲；步骤四：对获得的时域脉冲进行傅里叶变化，利用金属铝镜标定并校准样品数据，获得样品的椭圆偏振参数；步骤五：利用椭圆偏振参数计算得到样品的光学常数。本专利技术将太赫兹时域椭偏仪和实时的偏振敏感探测结合起来，单次测量就可以同时获得太赫兹脉冲电场的P偏振和S偏振分量，通过对实时偏振敏感探测器的校准，利用P偏振和S偏振的复反射谱之比，可以获得准确的椭偏参数，从而得到了太赫兹波段“光学厚”材料的光学常数，同时有效的压制了系统抖动，提高了实验效率和数据的精度。附图说明图1为实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪的光路图；图2为偏振敏感探测端校准数据；图3为从样品硅表面反射的太赫兹时域波形图；图4从金属铝表面反射的太赫兹时域波形图；图5样品硅的椭偏参数；图6样品硅的椭偏参数tanΨ和P偏振反射幅度的相对误差(相对方差)；图7样品硅的折射率；图8样品硅的消光系数。具体实施方式下面结合实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。太赫兹脉冲实时偏振测量的理论方法如下：一般采用的自由空间电光采样(free-spaceEOS)配置为：1/2波片、电光晶体、1/4波片，P偏振的探测光依次通过这几个光学元件，并被太赫兹脉冲电场调制，其中1/4波片与光学入射面夹角为45°(构造等幅椭圆偏振光)。这里我们使用的电光晶体是ZnTe(110)，晶体的[001]方向在光学入射面内。则最后出射探测光的P偏振与S偏振的光强差的表达式为:其中L为电光晶体的长度，ω为探测光的角频率，c为真空光速，n为电光晶体在探测光波段的折射率，γ41为电光晶体的非零电光张量元，Stot为总探测光强，γ为1/2波片的快轴或慢轴与光学入射面的夹角，α为太赫兹脉冲电场与光学入射面的夹角，ETHz为太赫兹时域脉冲电场，Ex和Ey为ETHz的x和y分量。在这种配置下，通过旋转1/2波片的角度就可以测量不同的太赫兹偏振分量。为了得到实时的偏振分辨测量，我们将这三个光学元件的顺序颠倒：1/4波片、电光晶体、1/2波片。由于这三个光学元件的琼斯矩阵是对称矩阵，因此出射探测光的P偏振和S偏振的光强差的表达式不变。因此，在电光晶体后，用一块无偏振选择性的分束片将被调制的探测光5:5分为两束(探测光束A和探测光束B)。在探测光束A和B中分别放入夹角γ为0°和22.5°的1/2波片。此时探测光束A的P偏振和S偏振的光强差值就与太赫兹脉冲电场的S偏振分量成正比，探测光束B的P偏振和S偏振的光强差值就与太赫兹脉冲电场的P偏振分量的一半成正比。通过改变延迟线，就可以同时获得P偏振和S偏振的太赫兹脉冲电场信息。结合实施例1说明本专利技术实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪的搭建。实施例1：搭建的实验系统如图1。飞秒激光器为商用的钛宝石激光器(CoherentVitesse,800nm,100fs,80MHz)。其中，BS为1:9的光学分束片，PCA为阵列光电导天线(BatopOptoelectronicsiPCA21-05-1000-800-h)，PM1到PM4为离轴抛物面镜，焦距分别为3英寸、8英寸、8英寸、2英寸，WG、WG1和WG2为太赫兹起偏器(绿色虚线框表示这两个线栅仅仅在调节探测端响应时才会放入光路)，Reflectionmodule是反本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪，其特征在于，包括飞秒激光器、光学分束片、阵列光电导天线、离轴抛物面镜、太赫兹起偏器、反射模块、电光晶体、机械延迟线、光学起偏器、四分之一波片和探测装置；所述飞秒激光器用于提供飞秒激光；光学分束片BS设置在飞秒激光光路上，将飞秒激光分为探测光和泵浦光；所述探测光进入机械延迟线，再经过光学起偏器和四分之一波片后，被调制为圆偏振态，入射到电光晶体上；所述泵浦光经过阵列光电导天线后辐射出太赫兹脉冲；所述太赫兹脉冲依次经过离轴抛物面镜PM1、太赫兹起偏器WG、离轴抛物面镜PM2、反射模块、离轴抛物面镜PM3和离轴抛物面镜PM4后，被汇聚到电光晶体上，和所述探测光重合后进入探测装置；所述探测装置由光学分束片NPB、两个二分之一波片、两个沃拉斯顿棱镜、平衡探测器DS和平衡探测器DP组成；所述光学分束片NPB设置于电光晶体后，将脉冲分为两束，第一束脉冲经二分之一波片、沃拉斯顿棱镜后输入DS探测器；第二束脉冲经二分之一波片、沃拉斯顿棱镜后输入DP探测器。

【技术特征摘要】
1.一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪，其特征在于，包括飞秒激光器、光学分束片、阵列光电导天线、离轴抛物面镜、太赫兹起偏器、反射模块、电光晶体、机械延迟线、光学起偏器、四分之一波片和探测装置；所述飞秒激光器用于提供飞秒激光；光学分束片BS设置在飞秒激光光路上，将飞秒激光分为探测光和泵浦光；所述探测光进入机械延迟线，再经过光学起偏器和四分之一波片后，被调制为圆偏振态，入射到电光晶体上；所述泵浦光经过阵列光电导天线后辐射出太赫兹脉冲；所述太赫兹脉冲依次经过离轴抛物面镜PM1、太赫兹起偏器WG、离轴抛物面镜PM2、反射模块、离轴抛物面镜PM3和离轴抛物面镜PM4后，被汇聚到电光晶体上，和所述探测光重合后进入探测装置；所述探测装置由光学分束片NPB、两个二分之一波片、两个沃拉斯顿棱镜、平衡探测器DS和平衡探测器DP组成；所述光学分束片NPB设置于电光晶体后，将脉冲分为两束，第一束脉冲经二分之一波片、沃拉斯顿棱镜后输入DS探测器；第二束脉冲经二分之一波片、沃拉斯顿棱镜后输入DP探测器。2.如权利要求1所述实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪，其特征在于，所述光学分束片BS为1:9的光学分束片。3.如权利要求1所述实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪，其特征在于，所述光电导天线上加有调制频率为22kHz的方波偏置电压。4.如权利要求1所述实时偏振敏感的太赫兹...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭泉，张园，张栋文，吕治辉，赵增秀，袁建民，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：湖南,43