用于亚微孔基板非破坏性检查的剪切散斑术制造技术

用于亚微孔基板非破坏性检查的剪切散斑术。提供了用于进行动态剪切散斑术检查的方法和系统。该动态剪切散斑术方法允许非破坏性检查分层材料，尤其是包括多孔材料的那些分层材料。该方法使用负载分布图，其例如以锯齿方式增加和减小负载，而不将负载减小回到初始加载状态，通常为零加载。以这种方式使用负载分布图不断地刷新参照斑点图像以最小化背景噪声，并允许将缺陷与噪声区分开来。

【技术实现步骤摘要】
用于亚微孔基板非破坏性检查的剪切散斑术
本公开总体上涉及用于非破坏性检查的方法和系统。
技术介绍
剪切散斑术(Shearography)是被用于检测表面变形的非破坏性检查方法。其通过利用激光照射测试对象的表面来进行。捕获被照射表面的图像并进行剪切以生成干涉或“斑点”图案。然后，在使测试对象的表面经受例如因真空、振动，或热而造成的小负载的同时，捕获另一斑点图案。因为剪切散斑术检测平面外变形，所以对于检查层状材料表面下的缺陷(如剥离(delamination))是特别有用的。图1A描绘了由三层110、120，以及130形成的分层材料100。在层110与120之间存在剥离165。而且，在层120与130之间存在另一剥离175。当没有负载被施加至分层材料100的顶表面101时，很少或没有平面外变形。与此相反，图1B分别描绘了当分层材料100的顶表面101经受真空、热，或机械方法加载时，对应于剥离165和175的平面外变形185和195。如图1C中的剪切散斑图像199所示，该方法通过从处于加载状态的顶表面101的斑点图案减去处于未加载状态下的分层材料100的顶表面101的散斑图案，来检测因剥离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测缺陷的剪切散斑术检查方法，该方法包括以下步骤：利用相干光束(211)照射测试件(260)的顶表面(261)；捕获包括第一斑点图案的第一剪切散斑图像，其中，将零真空压力施加至所述顶表面；将第一真空压力施加至所述顶表面；在将所述第一真空压力施加至所述顶表面期间，捕获包括第二斑点图案的第二剪切散斑图像；利用所述第一斑点图案和所述第二斑点图案来确定是否存在缺陷；以及，减小所述顶表面处的真空压力并且向所述顶表面施加第二真空压力，其中，所述第二真空压力小于所述第一真空压力并且大于所述零真空压力。

【技术特征摘要】
2017.06.21 US 15/629,6381.一种用于检测缺陷的剪切散斑术检查方法，该方法包括以下步骤：利用相干光束(211)照射测试件(260)的顶表面(261)；捕获包括第一斑点图案的第一剪切散斑图像，其中，将零真空压力施加至所述顶表面；将第一真空压力施加至所述顶表面；在将所述第一真空压力施加至所述顶表面期间，捕获包括第二斑点图案的第二剪切散斑图像；利用所述第一斑点图案和所述第二斑点图案来确定是否存在缺陷；以及，减小所述顶表面处的真空压力并且向所述顶表面施加第二真空压力，其中，所述第二真空压力小于所述第一真空压力并且大于所述零真空压力。2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括以下步骤：在将所述第二真空压力施加至所述顶表面期间，捕获包括第三斑点图案的第三剪切散斑图像；增加所述顶表面处的真空压力并且向所述顶表面施加第三真空压力，其中，所述第三真空压力大于所述第一真空压力；在施加所述第三真空压力期间，捕获包括第四斑点图案的第四剪切散斑图像；以及利用所述第三斑点图案和所述第四斑点图案来确定所述测试件中是否存在缺陷。3.根据权利要求1所述的方法，其中，在捕获所述第一剪切散斑图像之后，在所述测试件(260)的所述顶表面(261)处，真空压力保持大于零，直到完成所述剪切散斑术检查为止。4.根据权利要求2所述的方法，所述方法还包括以下步骤：同步所述相干光束(211)的源，以在捕获所述第二剪切散斑图像和所述第四剪切散斑图像之后断开，而在将所述真空压力减小至所述第二真空压力之前接通。5.一种用于检测多层层压板中的缺陷的非破坏性方法，该方法包括以下步骤：利用相干光束(211)照射所述多层层压板的顶表面(261)(420)；获取所述多层层压板的所述顶表面的第一参照斑点图像(422)，其中，所述顶表面经受第一真空压力(424)，并且所述第一真空压力在获取所述第一参照斑点图像期间为0或更大；在捕获所述顶表面的第一测试斑点图像(426)的同时，向所述顶表面施加第二真空压力，其中，所述第二真空压力大于所述第一真空压力；将所述顶表面处的真空压力减小至第三真空压力，其中，所述第三真空压力小于所述第二真空压力并且大于所述第一真空压力(442)；在向所述顶表面施加所述第三真空压力的同时，获取所述顶表面的第二参照斑点图像(444)；将所述顶表面处的所述真空压力增加至第四真空压力(446)，其中，所述第四真空压力大于所述第二真空压力；在向所述顶表面施加所述第四真空压力的同时，获取所述顶表面的第二测试斑点图像(448)；以及利用所述第二参照斑点图像和所述第二测试斑点图像来确定所述多层层压板中是否存在缺陷(452)。6.根据权利要求5所述的方法，所述方法还包括以下步骤：将所述顶表面(261)处的真空压力减小至第五真空压力，其中，所述第五真空压力小于所述第四真空压力并且大于所述第三真空压力；在向所述顶表面施加所述第五真空压力的同时，获取所述顶表面的第三参照斑点图像(464)；将所述顶表面处的真空压力增加至第六真空压力(466)，其中，所述第六真空压力大于所述第四真空压力；在向所述顶表面施加所述第六真空压力的同时，获取所述顶表面的第三测试斑点图像(468)；以及利用所述第三参照斑点图像和所述第三测试...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·萨法伊，王晓熙，
申请(专利权)人：波音公司，
类型：发明
国别省市：美国,US