一种位置测量传感器和位置测量系统技术方案

本发明专利技术提供了一种位置测量传感器包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去；本发明专利技术还提供了一种基于上述位置测量传感器的位置测量系统，能够实现非接触、高精度实时测量。

【技术实现步骤摘要】
一种位置测量传感器和位置测量系统
本专利技术涉及利用光路进行位置测量的
，尤其涉及一种位置测量传感器和位置测量系统。
技术介绍
在高精度精密仪器设备制造领域，如大型航空航天相机、望远镜、大型高端联动设备等，对结构支撑部分有很高的稳定性要求，测量精度通常在微米量级。现有的测量方法为传统的接触式测量方法，而传统接触式测量方法通常对测量环境要求较高，且测量设备本身占用一定空间尺寸，往往对待测设备造成干扰，因而很难达到测量要求。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决上述技术问题之一，提供一种能够实现非接触、高精度实时测量的位置测量传感器和基于该位置测量传感器的位置测量系统。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：本专利技术提供了一种位置测量传感器，包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去。一些实施例中，所述第一框架为L本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种位置测量传感器，其特征在于，包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去。

【技术特征摘要】
1.一种位置测量传感器，其特征在于，包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去。2.根据权利要求1所述的位置测量传感器，其特征在于，所述第一框架为L型框架，所述第一PSD探测器设置在所述L型框架的一条边上，所述第一激光器设置在所述L型框架的另一条边上。3.根据权利要求1所述的位置测量传感器，其特征在于，所述第一PSD探测器由稳压电源供电，所述第一PSD探测器通过串口线与一单片机相连。4.根据权利要求1所述的位置测量传感器，其特征在于，所述第一PSD探测器表面设置有第一窄带滤波片。5.一种位置测量系统，其特征在于，包括第一基座和第二基座，所述第一基座上设置有权利要求1至4任意一项所述的位置测量传感器，所述第一框架安装在所述第一基座上，所述第二基座上安装有第二框架和第三框架，所述第二框架上...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛金来，聂婷，毕国玲，梁怀丹，张星祥，陈长征，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22