【技术实现步骤摘要】
一种N-甲基甲酰胺和二乙二醇单甲醚的工业分离方法
本专利技术涉及一种电子化学品废剥离液的精制提纯工艺,主要成分是N-甲基甲酰胺(NMF)和二乙二醇单甲醚(MDG)。
技术介绍
剥离液是用在液晶显示面板,半导体集成电路等工艺制造中除去微电路掩膜上的光刻胶,剥离液主要是有机胺与极性有机溶剂的混合物。本专利技术主要针对以NMF与MDG为主要成分的剥离液,剥离液在使用后因引入其他杂质而成为废剥离液,废剥离液经分离提纯后得到以NMF与MDG为主的混合物,需要对混合物进一步分离提纯,得到高纯度的NMF与MDG,高纯度的NMF与MDG按一定比例调配成剥离液才可以再生使用。NMF与MDG在常压下的沸点较高,常规蒸馏能耗大,且电子级剥离液对纯度的要求高,常规精馏难以达到高纯度要求。剥离液中的主要成分NMF与MDG的热稳定性差,闪点低,常规精馏在NMF与MDG的分离中存在一定安全风险,而且常规精馏利用分子的汽化热不同实现分离,首先将物料高温气化,然后低温冷凝,需要消耗大量能源,经济性差,不够绿色环保。分子精馏是在高真空条件下,蒸发面和冷凝面的间距小于或等于被分离物料的蒸汽分子平均自由程,蒸汽分子平均自由程大的分子可以飞射并凝聚在冷凝面上,实现了原料的分离,分子精馏具有安全、节能环保与分离效率高的特点。
技术实现思路
本专利技术克服了常规精馏方法分离NMF与MDG混合物能耗高的缺点,充分利用分子精馏的优势,运用新工艺流程,实现了废剥离液中NMF与MDG的高效提纯,产物中NMF与MDG的纯度达到了99.9%以上。该工艺除了回收产品的纯度高外,还具有流程简单、绿色环保及低能耗等优点。本 ...
【技术保护点】
1.一种NMF与MDG的工业分离方法,其特征在于该工艺包括以下具体步骤:(a)降压脱气工序:NMF与MDG的混合物以一定流速进入减压脱气塔,对物料进行脱气,液体物料中溶解大量空气,在压力骤降的情况下,溶解气体大量释放,导致雾沫飞溅,影响分子精馏的分离效果;(b)分子精馏工序:脱气后的液体物料进入分子精馏塔,利用不同成分的分子平均自由程不同,实现不同成分的分离,NMF的分子平均自由程更小,MDG的分子平均自由程更大,所以MDG可以在冷凝面上冷凝富集,而NMF在加热面富集。
【技术特征摘要】
1.一种NMF与MDG的工业分离方法,其特征在于该工艺包括以下具体步骤:(a)降压脱气工序:NMF与MDG的混合物以一定流速进入减压脱气塔,对物料进行脱气,液体物料中溶解大量空气,在压力骤降的情况下,溶解气体大量释放,导致雾沫飞溅,影响分子精馏的分离效果;(b)分子精馏工序:脱气后的液体物料进入分子精馏塔,利用不同成分的分子平均自由程不同,实现不同成分的分离,NMF的分子平均自由程更小,MDG的分子平均自由程更大,所以MDG可以在冷凝面上冷凝富集,而NMF在加热面富...
【专利技术属性】
技术研发人员:林秋玉,陈广鹏,陈盛保,
申请(专利权)人:福建钰融科技有限公司,林秋玉,陈广鹏,
类型:发明
国别省市:福建,35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。