振荡结构和光学设备制造技术

本申请涉及振荡结构和光学设备。振荡结构包括限定了旋转轴的第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件以及插入在第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件之间的移动元件。移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于第一平面中并且彼此不直接接触。耦合结构将移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件机械地耦合在一起。移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于不同于第一平面的第二平面中。移动元件的振荡由于第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件的扭曲而发生。由此提供具有减少的动态变形的振荡结构和包括该振荡结构的光学设备。

【技术实现步骤摘要】
振荡结构和光学设备
本技术涉及振荡结构和包括该振荡结构的光学设备。特别地，振荡结构被设计为减少属于所述振荡结构的移动(振荡)质量块的动态变形。在一个实施例中，移动质量块携带反射层并且振荡结构至少部分地形成微反射镜。
技术介绍
至少部分由半导体材料制成并使用微机电系统(MEMS)技术制造的微机械反射镜结构(或反射器)是已知的。MEMS反射器被设计为接收光束并且周期性或接近周期性地改变其传播方向。为此，MEMS反射器包括由承载反射元件的平面支撑件制成的移动元件，移动元件在空间中的位置使用合适的振荡控制信号被电控制。更具体地，在包括被设置有反射元件的相应平面支撑件的通用MEMS反射器中，控制反射元件的位置对于使得能够用落在反射镜上的光束来扫描一部分空间来说特别重要。特别地，控制反射元件的位置对于谐振MEMS反射器具有关键的重要性，其中平面支撑件在使用时基本上周期性地围绕空闲位置进行振荡。振荡频率尽可能接近平面支撑件的谐振频率，以便在每次振荡期间最大化被反射元件覆盖的角距离，从而最大化所扫描的空间部分的尺寸。高振荡频率致使平面支撑件的加速。由于平面支撑件通常是具有圆形或椭圆形状的薄层，其惯性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振荡结构，其特征在于，所述振荡结构包括：第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件，限定旋转轴，移动元件，插入在所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件之间，所述移动元件被配置为由于所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件的扭曲而绕所述旋转轴旋转，其中，所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件位于第一平面上并且彼此分离，以及耦合结构，位于与所述第一平面不同的第二平面上，其中，所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件通过所述耦合结构被机械地耦合在一起。

【技术特征摘要】
2017.04.20 IT 1020170000436161.一种振荡结构，其特征在于，所述振荡结构包括：第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件，限定旋转轴，移动元件，插入在所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件之间，所述移动元件被配置为由于所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件的扭曲而绕所述旋转轴旋转，其中，所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件位于第一平面上并且彼此分离，以及耦合结构，位于与所述第一平面不同的第二平面上，其中，所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件通过所述耦合结构被机械地耦合在一起。2.根据权利要求1所述的振荡结构，其特征在于，所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件专有地通过所述耦合结构被机械地耦合在一起。3.根据权利要求1所述的振荡结构，其特征在于，所述耦合结构的所述第二平面平行于所述第一平面并且在低于所述第一平面的高度处延伸。4.根据权利要求1所述的振荡结构，其特征在于，所述耦合结构包括环形部分，所述环形部分包含一个或多个通孔孔径。5.根据权利要求1所述的振荡结构，其特征在于，所述第一扭转弹性元件被机械地连接到所述耦合结构的第一耦合区域，其中所述第二扭转弹性元件被机械地连接到所述耦合结构的第二耦合区域，并且其中所述移动元件被机械地连接到所述耦合结构的第三耦合区域和第四耦合区域，所述第一耦合区域、所述第二耦合区域、所述第三耦合区域和所述第四耦合区域彼此间隔一定距离地延伸。6.根据权利要求5所述的振荡结构，其特征在于，所述第一耦合区域和所述第二耦合区域沿所述旋转轴延伸，并且其中所述第三耦合区域和所述第四耦合区域沿与所述旋转轴正交的相应轴延伸。7.根据权利要求5所述的振荡结构，其特征在于，所述第一耦合区域、所述第二耦合区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：R·卡尔米纳蒂，S·克斯坦蒂尼，M·卡米纳蒂，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：意大利,IT