热反射测量系统技术方案

本发明专利技术公开了一种热反射测量系统，通过光路调整测量装置产生的第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，通过近场探测装置可以突破远场衍射极限，大大提高分辨率，由于分辨率会受近场探测装置与待测样品之间的距离影响，因此，采用距离控制装置检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离可以较好的保证近场探测装置进行近场探测。因此，第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，并通过距离控制装置控制近场探测装置与待测样品之间的距离，可以较大幅度的提高热反射测量的空间分辨率。

【技术实现步骤摘要】
热反射测量系统
本专利技术涉及热导率测量
，具体涉及到一种热反射测量系统。
技术介绍
微电子/光电子等器件/系统工作时产生极高的热流密度，热堆积将直接影响到此类器件的效率和可靠性。另外，在超高速/高频运行过程中产生的过热点也会导致器件的损坏。随着集成度的提高和运行速度的增加，这些问题日益突出。热电转换装置在许多领域有着重要的应用，比如高精度仪器的正常工作需要即时的冷却保证核心部件的正常工作；温差发电需要尽量高的转换效率。热电转换材料的效率主要取决于电子和声子的输运性质：一方面需要提高电导率和塞贝克系数，另一方面却要降低热导率。然而由于电子同时作为电和热的载流子，使得提高电导率和降低热导率本身具有一定的矛盾性。目前热电材料的研究中都普遍采用维持电导率和塞贝克系数，增加声子散射以降低热导率的方法。热整流效应是指同样一块材料或界面当对其所加载的热流方向不同时，其热阻也会相应不同。宏观尺度材料的热整流效应虽早已被提出，但由于这种整流效应非常弱而未被重视。近几年来，随着对微纳尺度下热传输的非傅里叶效应逐渐认识，具有纳米尺度结构材料及特殊界面上的强热整流效应被越来越多的发现或预言。微纳尺度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热反射测量系统，包括：脉冲激光发生器，用于提供脉冲激光；光路调整测量装置，接收所述脉冲激光，用于将所述脉冲激光分为用于探测所述待测样品的第一激光束和用于加热待测样品的第二激光束，并对所述第一激光束和所述第二激光束进行调整，以使所述第一激光束和所述第二激光束间隔预设时长达到待测样品的同一区域，对当前区域的热物性进行测量；其特征在于，还包括：近场探测装置，设置在所述光路调整装置的输出光路上，用于将所述第一激光束和所述第二激光束传递至所述待测样品；距离控制装置，用于检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离。

【技术特征摘要】
1.一种热反射测量系统，包括：脉冲激光发生器，用于提供脉冲激光；光路调整测量装置，接收所述脉冲激光，用于将所述脉冲激光分为用于探测所述待测样品的第一激光束和用于加热待测样品的第二激光束，并对所述第一激光束和所述第二激光束进行调整，以使所述第一激光束和所述第二激光束间隔预设时长达到待测样品的同一区域，对当前区域的热物性进行测量；其特征在于，还包括：近场探测装置，设置在所述光路调整装置的输出光路上，用于将所述第一激光束和所述第二激光束传递至所述待测样品；距离控制装置，用于检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离。2.如权利要求1所述的热反射测量系统，其特征在于，所述近场探测装置包括：近场探针，具有用于所述第一激光束和所述第二激光束通过的光阑孔。3.如权利要求2所述的热反射测量系统，其特征在于，所述光阑孔的孔径为100纳米-1000纳米。4.如权利要求3所述的热反射测量系统，其特征在于，所述光阑孔的孔径为100纳米-250纳米。5.如权利要求2-4任意一项所述的热反射测量系统，其特征在于，所述近场探针由硅制成。6.如权利要求1-4任意一项所述的热反射测量系统，其特征在于，所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离小于20纳米。7.如权利要求6所述的热反射测量系统，其特征在于，所述距离控制装置包括：距离检测组件，用于发射距离检测信号至所述近场探测装置，并接受所述近场探测装置反射的所述距离检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘珠明，郑利兵，孙方远，殷伯华，韩立，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11