【技术实现步骤摘要】
微折叠悬臂梁刚度测试装置及测试方法
本专利技术属于精密测量
，具体涉及微折叠悬臂梁刚度测试装置及测试方法。
技术介绍
微折叠悬臂梁是一种非常重要的MEMS器件，是微传感器、微执行器和微陀螺仪等设备中的重要的组成部分。微悬臂梁不仅可以传递能量，还可以利用其变形实现机构的多自由度运动，因此微悬臂梁梁性能的好坏对微器件能否按照设计要求工作起着至关重要的作用，微悬臂梁的刚度特性测试是众多性能测试中至为重要的一个环节，其决定了微悬臂梁能否实现预期设计。传统的微悬臂梁的测试方法采用砝码加载，通过相关技术手段获得微悬臂梁的变形或位移，进而计算出微悬臂梁的刚度，这种方法需要加工很多微型砝码来逐渐标定微悬臂梁的刚度，方法简单，但是测试时间很长，测试效率很低，且该种方法只适合较大的悬臂梁，尺寸很小的微悬臂梁无法采用该种方法进行位移和力的测试。微悬臂梁刚度测试方法中，相关学者采用应变计进行悬臂梁变形分析，进而获得力和位移的关系来计算刚度，其中测试样件的对中直接影响测试的正确性，但是对于异性折叠悬臂梁来说，这种方法会引起测试精度不稳定，甚至测试失败、测试范围上均有相关限制，难以满足...
【技术保护点】
1.微折叠悬臂梁刚度测试装置，其特征在于，包括底板，所述底板一端顶部设置有X手动位移台，所述X手动位移台顶部设置有Y手动位移台，所述Y手动位移台顶部设置有X向电动微位移台，所述X向电动微位移台顶部设置有Y向电动微位移台，所述Y向电动微位移台顶部设置有第一安装座，所述第一安装座底部设置有连接杆，所述连接杆的侧壁底部设置有微悬臂梁装卡杆，所述Y向电动微位移台右端底座顶部设置有安装座，所述安装座顶板底部左端设置有X向激光位移传感器，所述安装座顶板底部右端设置有Y向激光位移传感器手动调整台，所述Y向激光位移传感器手动调整台底部设置有连接板，所述连接板后端设置有Y向激光位移传感器，所...
【技术特征摘要】
1.微折叠悬臂梁刚度测试装置，其特征在于，包括底板，所述底板一端顶部设置有X手动位移台，所述X手动位移台顶部设置有Y手动位移台，所述Y手动位移台顶部设置有X向电动微位移台，所述X向电动微位移台顶部设置有Y向电动微位移台，所述Y向电动微位移台顶部设置有第一安装座，所述第一安装座底部设置有连接杆，所述连接杆的侧壁底部设置有微悬臂梁装卡杆，所述Y向电动微位移台右端底座顶部设置有安装座，所述安装座顶板底部左端设置有X向激光位移传感器，所述安装座顶板底部右端设置有Y向激光位移传感器手动调整台，所述Y向激光位移传感器手动调整台底部设置有连接板，所述连接板后端设置有Y向激光位移传感器，所述安装座顶板顶部设置有安装架，所述安装架底端设置有双平行梁测力位移传感器，所述双平行梁测力位移传感器底端微悬臂梁装卡端与微悬臂梁装卡杆之间设置有微折叠悬臂梁，所述微折叠悬臂梁一端位于双平行梁测力位移传感器底端微悬臂梁装卡端卡槽内，且微折叠悬臂梁另一端位于微悬臂梁装卡杆卡槽内；所述CCD相机输出端与控制计算机输入端电连接，所述主控计算机输出端通过运动控制卡分别与X向电动微位移台和Y向电动微位移台步进电机驱动器输入端电连接，所述X向激光位移传感器和Y向激光位传感器通过A/D数据采集卡与主控机输入端电连接。2.根据权利要求1所述的微折叠悬臂梁刚度测试装置，其特征在于：所述底板左端设置有相机支架，所述相机支架水平部分末端设置有CCD相机，所述CCD相机中下部设置有环形光源。3.根据权利要求1所述的微折叠悬臂梁刚度测试装置，其特征在于：所述安装座包括顶板和支撑杆，所述顶板底部四角处设置有支撑杆，且支撑杆底部固定安装在底座顶部。4.根据权利要求1所述的微折叠悬臂梁刚度测试装置，其特征在于：所述顶板设置为L型顶板。5.微折叠悬臂梁刚度测试方法，其特征在于：采用权利要求1所述的微折叠悬臂梁刚度测试装置，包括以下步骤，步骤1，打开环形光源和CCD相机，先手动调整X手动移动台和Y手动移动台，将微折叠悬臂梁装卡杆与双平行梁测力位移传感器微悬臂梁装卡端调整...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。