【技术实现步骤摘要】
一种具有微小腔体的校准腔
本专利技术涉及气体采样设备
，尤其涉及一种具有微小腔体的校准腔。
技术介绍
电子信息技术与微纳米器件的持续发展及不断深化不仅带来了新的机遇与挑战，同时对电子元器件的长期可靠性提出了更高的要求，尤其是在航空航天、卫星通讯以及其他高可靠应用领域，不仅要求电子元器件具有高品质的质量，还要求具有长的贮存寿命和使用寿命。在构成航空航天等关键电子系统或设备的元器件中，因可靠性要求高，返修困难，使得密封封装(具有内部小腔体的封装形式)的电子元器件因在长期可靠性方面的明显优势而得以广泛应用，而密封封装元器件的可靠性，尤其是长期可靠性，在很大程度上是由其小腔体内部水汽含量决定的。密封封装元器件内部水汽含量过高，会使芯片及电连接系统发生各种物理化学反应，从而造成器件参数不稳定甚至失效，为了保证密封封装元器件的可靠性，需对密封封装元器件内部水汽含量进行有效的控制。内部水汽质谱分析仪，是一种用来分析检测电子元器件密封腔体内的水汽含量的高分辨率分析仪器，是目前对密封封装类电子元器件内部水汽检测唯一可用的高分辨率分析仪器。该类仪器是一种相对分析仪器，需要量值已...
【技术保护点】
1.一种具有微小腔体的校准腔，其特征在于，包括校准腔本体、活塞杆、活塞筒和摆棒，所述校准腔本体内设有校准空腔，所述校准腔本体的两侧分别设有均与所述校准空腔连通的采样孔和活塞孔，所述采样孔的上端面用于放置校准片，所述活塞筒安装于所述活塞孔的上端面，所述活塞杆套设于所述活塞孔和所述活塞筒内，所述活塞杆的活塞端位于所述活塞孔内，所述活塞杆的拉杆牵引端连接所述摆棒，所述摆棒用于拉动所述活塞杆沿所述活塞孔往复运动。
【技术特征摘要】
1.一种具有微小腔体的校准腔，其特征在于，包括校准腔本体、活塞杆、活塞筒和摆棒，所述校准腔本体内设有校准空腔，所述校准腔本体的两侧分别设有均与所述校准空腔连通的采样孔和活塞孔，所述采样孔的上端面用于放置校准片，所述活塞筒安装于所述活塞孔的上端面，所述活塞杆套设于所述活塞孔和所述活塞筒内，所述活塞杆的活塞端位于所述活塞孔内，所述活塞杆的拉杆牵引端连接所述摆棒，所述摆棒用于拉动所述活塞杆沿所述活塞孔往复运动。2.根据权利要求1所述的校准腔，其特征在于，所述活塞孔的直径大于所述校准空腔的直径。3.根据权利要求1或2所述的校准腔，其特征在于，所述活塞杆的活塞端设有活塞堵头，所述活塞堵头的内侧并排设有凹槽下卡位、凹槽上卡位，所述凹槽下卡位与所述凹槽上卡位之间形成第一密封凹槽，所述密封凹槽内设有第一密封圈。4.根据权利要求1-3中任一项所述的校准腔，其特征在于，所述活塞筒内并排设有同轴的活塞杆套孔和第二密封圈凹槽，所述第二密封凹槽与所述活塞孔轴向对齐，所述第二密封凹槽内...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓丽，
申请(专利权)人：广州赛宝计量检测中心服务有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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