一种红外光谱仪动镜的支撑装置及动镜扫描结构制造方法及图纸

技术编号:19883777 阅读:34 留言:0更新日期:2018-12-22 20:38
本发明专利技术公开一种红外光谱仪动镜的支撑装置及动镜扫描结构。动镜的支撑装置包括固定板、第一摆动板、第二摆动板、第三摆动板、第一弹片组和第二弹片组,第一摆动板与固定板相对设置,第一弹片组的一端连接固定板,另一端连接第一摆动板;第二摆动板和第三摆动板分别位于固定板的左右两侧,第二弹片组的一端连接第二摆动板,另一端连接第三摆动板。本发明专利技术的红外光谱仪动镜的支撑装置,利用多组弹片交叉形成摆动机构,具有无摩擦、稳定性好、精度高、抗震性好的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种红外光谱仪动镜的支撑装置及动镜扫描结构
本专利技术属于精密检测设备领域,尤其涉及一种新型的红外光谱仪动镜的支撑装置及动镜扫描结构。
技术介绍
傅立叶红外光谱仪是利用干涉仪中动镜系统不断往复扫描来获取光谱图的,其动镜扫描系统的行程、稳定性等会直接决定光谱图的分辨率、信噪比、重复性等参数。经典的干涉仪系统采用了气垫导轨的方式来实现动镜机构的驱动。最早的民用型傅立叶变换红外光谱仪FTS-14,采用高精度气垫导轨的动镜扫描机构,动镜的运动几乎是无摩擦的,能够保证仪器具有极高的稳定性,但气垫导轨的价格昂贵,而且使用不便,易于出现故障,并使仪器复杂化。已有的动镜机构,采用滚珠/滚柱直线导轨或采用玻璃套筒与石墨构成的导轨,配合音圈电机,来产生动镜的直线扫描。尤其是玻璃套筒加石墨构成的导轨,由于具有非常好的自润滑特性,有着广泛的应用。但采用导轨式的动镜机构,会存在摩擦分布不均匀,抗震性差等缺点。现在越来越多的动镜机构采用由弹簧片构成的机构,这种机构虽然行程会受到弹簧片的限制,使光谱仪的分辨率较低,但由于弹簧片构成的动镜机构不会有摩擦,而且在运动过程中始终有弹簧力的限制,使动镜机构更加稳定,不容易受到震动的影响。在小型的傅里叶红外光谱仪中,本身对光谱分辨率的要求较低,较短的行程也能满足需求。如图1为现有的动镜扫描装置的等效结构图。平行四边形的四个边为刚性连接杆,四个顶点A、B、C、D为柔性节。受到一定作用力F时,柔性节发生形变使整个机构产生一个角位移,使四边形在两个方向产生导向位移S与耦合位移d。现有的动镜扫描装置类似臂梁的结构,产生的弹力都是一维的,所以在抗震性、稳定性方面会存在缺陷。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术提出一种新型的红外光谱仪动镜的支撑装置及动镜扫描结构。利用多组弹片,组成交叉的摆动结构,稳定性好、精度高、抗震性好。本专利技术的目的之一是提供一种红外光谱仪动镜的支撑装置,其特征在于,包括固定板、第一摆动板、第二摆动板、第三摆动板、第一弹片组和第二弹片组,所述第一摆动板与所述固定板相对设置,所述第一弹片组的一端连接所述固定板,另一端连接所述第一摆动板;所述第二摆动板和第三摆动板分别位于所述固定板的左右两侧,所述第二弹片组的一端连接所述第二摆动板,另一端连接所述第三摆动板;所述第一弹片组包括左弹片和右弹片,所述左弹片的中部固定连接所述第二摆动板,所述右弹片的中部固定连接所述第三摆动板;所述第二弹片组包括前弹片和后弹片,所述前弹片的中部固定连接所述第一摆动板,所述后弹片的中部固定连接所述固定板。作为本专利技术可选的方案,所述固定板和第一摆动板的侧壁分别通过多个第一压板固定连接所述第一弹片组。作为本专利技术可选的方案,所述第二摆动板和第三摆动板的侧壁分别通过多个第二压板固定连接所述第二弹片组。作为本专利技术可选的方案,所述固定板的上端和下端分别设有第一连接部,上端和下端的第一连接部分别固定连接一个所述后弹片,所述后弹片的中部通过第三压板固定连接所述第一连接部。作为本专利技术可选的方案,所述第一摆动板的上端和下端分别设有第二连接部,上端和下端的第二连接部分别固定连接一个前弹片,所述前弹片的中部通过第四压板固定连接所述第二连接部。作为本专利技术可选的方案,所述第二摆动板的中部设有第三连接部,所述第三连接部通过第五压板固定连接两个所述左弹片的中部。作为本专利技术可选的方案,所述第三摆动板的中部设有第四连接部,所述第四连接部通过第六压板固定连接两个所述右弹片的中部。作为本专利技术可选的方案,所述第一弹片组和第二弹片组互相垂直。上述红外光谱仪动镜的支撑装置,还包括音圈电机,所述音圈电机的定子固定连接所述固定板,所述音圈电机的动子固定连接所述第一摆动板;或,所述音圈电机的动子固定连接所述第二摆动板;或,所述音圈电机的动子固定连接所述第三摆动板。本专利技术的另一目的是提供一种红外光谱仪的动镜扫描结构,包括空心角镜和动镜的支撑装置,所述动镜的支撑装置为上述的红外光谱仪动镜的支撑装置,所述空心角镜安装在所述第一摆动板上;或,所述空心角镜安装在所述第二摆动板上;或,所述空心角镜安装在所述第三摆动板上。本专利技术的动镜的支撑装置及动镜扫描结构,通过多组弹片的交叉设置,对动镜的支撑装置的自由度进行全方位的限制,每一个方向都有力的限制,使支撑装置更稳定;固定板、三个摆动板与弹片形成交叉式柔性弹片枢轴,各个部件被有机的、同步的联合在一起,转动是相互限制、相互配合的,而不是简单的串联在一起,使支撑装置精度更高;能够用在有振动的环境中,实现稳定、抗干扰的扫描,具有无摩擦、稳定性好、精度高、抗震性好、成本低等优点。附图说明图1是本专利技术现有技术的动镜扫描装置的等效结构图。图2是本专利技术实施例的动镜的支撑装置的立体图。图3是本专利技术实施例的动镜的支撑装置的内部结构图。图4是本专利技术实施例的动镜的支撑装置的原理图一。图5是本专利技术实施例的动镜的支撑装置的原理图二。图6是本专利技术实施例的固定板与弹片的连接示意图。图7是本专利技术实施例的第二摆动板与弹片的连接示意图。图8是本专利技术实施例的第三摆动板、第四摆动板与弹片连接的示意图。图9是本专利技术实施例的音圈电机示意图。图10是本专利技术实施例的动镜扫描结构的示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例,对本专利技术的具体实施方式进行更加详细的说明,以便能够更好地理解本专利技术的方案及其各个方面的优点。然而,以下描述的具体实施方式和实施例仅是说明的目的,而不是对本专利技术的限制。本专利技术中所述的“连接”,除非另有明确的规定或限定,应作广义理解,可以是直接相连,也可以是通过中间媒介相连。在本专利技术的描述中,需要理解的是,“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶端”、“底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。如图2和3所示,本实施例提供一种红外光谱仪动镜的支撑装置,支撑装置包括固定板1、第一摆动板2、第二摆动板3、第三摆动板4、第一弹片组5和第二弹片组6。固定板1、第一摆动板2、第二摆动板3、第三摆动板4通过多个弹片连接,形成一个稳定的支撑装置,精度高、抗震性能好。其中,固定板1上设有通孔12,螺钉可穿过通孔12,将固定板1固定在红外光谱仪所需的位置。第一摆动板2与固定板1相对设置,如图2所示,第一摆动板2位于固定板1的前方。第一弹片组5的一端连接固定板1,另一端连接第一摆动板2。第一弹片组5包括多个弹片,第一弹片组5的多个弹片互相平行。第二摆动板3位于固定板1的左侧,第三摆动板4位于固定板1的右侧。第二弹片组6的一端连接第二摆动板3,另一端连接第三摆动板4。第二弹片组6包括多个弹片,第二弹片组6的多个弹片互相平行。第一弹片组5的弹片与第二弹片组6的弹片交叉设置。第一摆动板2、第二摆动板3、第三摆动板4与固定板1的高度相等,四块板围成一个不封闭的空腔,第一弹片组5和第二弹片组6均位于此空腔中。第一弹片组5包括左弹片51和右弹片52,本实施例中,左弹片51包括两个弹片,右弹片52包括两个弹片。左弹片51位于固定板1的左侧,左弹片51的中部固定连接第二摆动板3。右弹片52位于固定板1的右侧,右弹片52的中部固本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种红外光谱仪动镜的支撑装置,其特征在于,包括固定板(1)、第一摆动板(2)、第二摆动板(3)、第三摆动板(4)、第一弹片组(5)和第二弹片组(6),所述第一摆动板(2)与所述固定板(1)相对设置,所述第一弹片组(5)的一端连接所述固定板(1),另一端连接所述第一摆动板(2);所述第二摆动板(3)和第三摆动板(4)分别位于所述固定板(1)的左右两侧,所述第二弹片组(6)的一端连接所述第二摆动板(3),另一端连接所述第三摆动板(4);所述第一弹片组(5)包括左弹片(51)和右弹片(52),所述左弹片(51)的中部固定连接所述第二摆动板(3),所述右弹片(52)的中部固定连接所述第三摆动板(4);所述第二弹片组(6)包括前弹片(61)和后弹片(62),所述前弹片(61)的中部固定连接所述第一摆动板(2),所述后弹片(62)的中部固定连接所述固定板(1)。

【技术特征摘要】
1.一种红外光谱仪动镜的支撑装置,其特征在于,包括固定板(1)、第一摆动板(2)、第二摆动板(3)、第三摆动板(4)、第一弹片组(5)和第二弹片组(6),所述第一摆动板(2)与所述固定板(1)相对设置,所述第一弹片组(5)的一端连接所述固定板(1),另一端连接所述第一摆动板(2);所述第二摆动板(3)和第三摆动板(4)分别位于所述固定板(1)的左右两侧,所述第二弹片组(6)的一端连接所述第二摆动板(3),另一端连接所述第三摆动板(4);所述第一弹片组(5)包括左弹片(51)和右弹片(52),所述左弹片(51)的中部固定连接所述第二摆动板(3),所述右弹片(52)的中部固定连接所述第三摆动板(4);所述第二弹片组(6)包括前弹片(61)和后弹片(62),所述前弹片(61)的中部固定连接所述第一摆动板(2),所述后弹片(62)的中部固定连接所述固定板(1)。2.根据权利要求1所述红外光谱仪动镜的支撑装置,其特征在于,所述固定板(1)和第一摆动板(2)的侧壁分别通过多个第一压板(71)固定连接所述第一弹片组(5)。3.根据权利要求1所述红外光谱仪动镜的支撑装置,其特征在于,所述第二摆动板(3)和第三摆动板(4)的侧壁分别通过多个第二压板(72)固定连接所述第二弹片组(6)。4.根据权利要求1所述红外光谱仪动镜的支撑装置,其特征在于,所述固定板(1)的上端和下端分别设有第一连接部(11),上端和下端的第一连接部(11)分别固定连接一个所述后弹片(62),所述后弹片(62)的中部通过第三压板(73)固定连接所述第一连接部(11)。...

【专利技术属性】
技术研发人员:敖小强石磊
申请(专利权)人:北京雪迪龙科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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