用于激光器碟片的冲击冷却设备和对应的激光器碟片模块制造技术

技术编号:19880384 阅读:79 留言:0更新日期:2018-12-22 18:44
在一种用于激光器碟片(2)的冲击冷却设备(1)的情况下,所述冲击冷却设备尤其具有盘形承载板(3)、支承结构(4)和冲击冷却装置(14),在所述承载板的前侧(3a)上能够固定所述激光器碟片(2),在所述支承结构的前侧处固定所述承载板(3)的后侧(3b),所述冲击冷却装置用于借助冷却液(13)冷却所述承载板(3),其中,所述支承结构(4)具有多个冷却液输入管道(11)和多个冷却液回流管道(12),所述冷却液(13)从所述输入管道在所述承载板(3)的后侧(3b)的方向上排出、尤其与所述承载板(3)的后侧(3b)垂直地排出,根据本发明专利技术设置如下:所述输入管道和回流管道(11、12)在所述支承结构(4)的纵向上彼此平行地延伸,并且所述支承结构(4)在所述支承结构的邻接所述承载板(3)的后侧(3b)的区域内具有多个槽(8)或所述承载板(3)的后侧(3b)具有多个朝向所述支承结构(4)敞开的槽(8'),其中,所述冷却液输入管道(11)通向多个槽(8;8')并且所述冷却液回流管道(12)从多个槽(8;8')出发。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于激光器碟片的冲击冷却设备和对应的激光器碟片模块
本专利技术涉及一种用于激光器碟片的冲击冷却设备,该冲击冷却设备尤其具有盘形承载板、支承结构和冲击冷却装置,激光器碟片可以固定在该承载板的前侧上,承载板的后侧固定在该支承结构的前侧上,所述冲击冷却装置用于借助冷却液冷却承载板,其中,支承结构具有多个冷却液输入管道和多个冷却液回流管道,冷却液从所述冷却液输入管道朝承载板的后侧的方向、尤其与承载板的后侧垂直地排出,以及本专利技术也涉及一种具有这种冲击冷却设备的激光器碟片模块。
技术介绍
由US2014/0190665A1例如已知这种冲击冷却设备。通常,激光器碟片被粘接到由CVD金刚石构成的盘形散热器(圆盘载体)上,该盘形载体在后侧通过冲击流冷却。圆盘载体的热机械特性基本上确定激光器碟片的热透镜效应。这导致对圆盘载体的导热性和刚度的高要求,该圆盘载体因此由CVD金刚石实施,并且在激光功率更高的情况下导致更厚的金刚石圆盘,这与高生产成本相关。换言之,在热阻几乎相同的情况下通过更厚的金刚石圆盘实现更高的刚度。由开头提及的US2014/0190665A1已知的冲击冷却设备具有邻接到承载板的后侧上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于激光器碟片(2)的冲击冷却设备(1),所述冲击冷却设备具有:尤其呈盘形的承载板(3),所述激光器碟片(2)能够固定在该承载板的前侧(3a)上,支承结构(4),所述承载板(3)的后侧(3b)固定在该支承结构的前侧上,和冲击冷却装置(14),该冲击冷却装置用于借助冷却液(13)冷却所述承载板(3),其中,所述支承结构(4)具有多个冷却液输入管道(11)和多个冷却液回流管道(12),所述冷却液(13)从所述冷却液输入管道朝着所述承载板(3)的后侧(3b)的方向、尤其与所述承载板(3)的后侧(3b)垂直地排出,其特征在于,所述输入管道和回流管道(11、12)沿所述支承结构(4)的纵向方向彼此平...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.05 DE 102016205638.71.用于激光器碟片(2)的冲击冷却设备(1),所述冲击冷却设备具有:尤其呈盘形的承载板(3),所述激光器碟片(2)能够固定在该承载板的前侧(3a)上,支承结构(4),所述承载板(3)的后侧(3b)固定在该支承结构的前侧上,和冲击冷却装置(14),该冲击冷却装置用于借助冷却液(13)冷却所述承载板(3),其中,所述支承结构(4)具有多个冷却液输入管道(11)和多个冷却液回流管道(12),所述冷却液(13)从所述冷却液输入管道朝着所述承载板(3)的后侧(3b)的方向、尤其与所述承载板(3)的后侧(3b)垂直地排出,其特征在于,所述输入管道和回流管道(11、12)沿所述支承结构(4)的纵向方向彼此平行地延伸,并且所述支承结构(4)在它邻接所述承载板(3)的后侧(3b)的区域中具有多个槽(8)或者所述承载板(3)的后侧(3b)具有多个朝向所述支承结构(4)敞开的槽(8'),其中,所述冷却液输入管道(11)通到所述多个槽(8;8')中并且所述冷却液回流管道(12)从所述多个槽(8;8')出发。2.根据权利要求1所述的冲击冷却设备,其特征在于,所述支承结构(4)的槽(8)朝向所述承载板(3)的后侧(3b)敞开。3.根据权利要求1所述的冲击冷却设备,其特征在于,所述支承结构(4)的槽(8)朝向所述承载板(3)的后侧(3b)闭合。4.根据以上权利要求中任一项所述的冲击冷却设备,其特征在于,所述承载板(3)由金刚石材料构成并且尤其具有最高5mm、优选最高3mm、特别优选最高2mm的厚度。5.根据以上权利要求中任一项所述的冲击冷却设备,其特征在于,所述承载板(3)的后侧(3b)固定在分配器板(5)的前侧(5a)上,该分配器板具有槽(8),并且所述分配器板(5)的后侧(5b)固定在所述支承体(7)上,该支承体具有所述输入管道和回流管道(11、12)。6.根据权利要求5所述的冲击冷却设备,其特征在于,所述分配器板(5)的槽(8)朝向所述承载板(3)的后侧(3b)敞开,所述槽尤其作为通道开口从所述分配器板(5)的前侧(5a)延伸至后侧(5b),并且所述冷却液(13)冲击所述承载板(3)的后侧(3b)。7.根据权利要求5所述的冲击冷却设备,其特征在于,所述分配器板(5)的槽(8)朝向所述承载板(3)的后侧(3b)通过所述分配器板(5)的底部(17)闭合并且所述冷却液(13)冲击所述分配器板(5)的底部(17)。8.根据权利要求5至7中任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员:A·基利V·库恩
申请(专利权)人:通快激光有限责任公司
类型:发明
国别省市:德国,DE

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