臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置制造方法及图纸

提供一种臭氧气体的浓缩方法以及实现该浓缩方法的臭氧气体的浓缩装置(1)。臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：使第一吸附容器(20A)内的吸附剂吸附臭氧气体；将浓缩容器(30)的内部在不与第一吸附容器(20A)连通的状态下进行减压；排出第一吸附容器(20A)内的一部分气体；通过使第一吸附容器(20A)内的臭氧气体脱附并输送到浓缩容器(30)内，从而向浓缩容器(30)内导入第一浓缩混合气体；使第二吸附容器(20B)内的吸附剂吸附臭氧气体；切换为连通导入有第一浓缩混合气体的浓缩容器(30)与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的第二吸附容器(20B)的状态，向浓缩容器(30)内导入第二浓缩混合气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置
本专利技术涉及臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置。
技术介绍
臭氧气体具有较强的氧化力，除臭力、除菌力优异。并且，分解之后不残留毒性。因此，广泛应用于除臭剂、杀菌剂、半导体的氧化处理等。臭氧气体例如能够通过在包含氧气的环境气体中进行放电来生成。然而，这样生成的臭氧气体的浓度较低，因此为了实际使用而需要浓缩臭氧气体而提高臭氧气体的浓度。作为这样的臭氧气体的浓缩方法的一个例子，提出了如下方法：在使臭氧气体吸附于吸附塔内的吸附剂之后，利用与吸附塔连接的真空泵对吸附塔进行减压，由此使臭氧气体从吸附剂脱附，对臭氧气体进行浓缩精制(例如，参照专利文献1)。另外，提出了如下方法：通过利用与吸附塔连接的真空泵对吸附塔内进行减压，由此使吸附于吸附塔内的吸附剂的臭氧气体脱附，向配置于真空泵的下游侧的缓冲罐供给臭氧气体(例如，参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-56810号公报专利文献2：国际公开第2008/062534号
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在现有的臭氧气体的浓缩方法存在几项课题。例如，在专利文献1以及专利文本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，所述臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：向保持吸附剂的第一吸附容器内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使所述第一吸附容器内的吸附剂吸附臭氧气体；将第一浓缩容器的内部在不与所述第一吸附容器连通的状态下进行减压；通过对保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器内进行排气而排出所述第一吸附容器内的一部分气体；将内部被减压的所述第一浓缩容器与排出内部一部分气体的所述第一吸附容器切换为连通的状态，并利用所述第一浓缩容器内与所述第一吸附容器内的压力差使所述第一吸附容器内的吸附剂所吸附的臭氧气体脱附并输送到所述第一浓缩容器内，由此向所述第一浓缩容器内导入臭氧气体的浓度比所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.28 JP 2016-0918881.一种臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，所述臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：向保持吸附剂的第一吸附容器内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使所述第一吸附容器内的吸附剂吸附臭氧气体；将第一浓缩容器的内部在不与所述第一吸附容器连通的状态下进行减压；通过对保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器内进行排气而排出所述第一吸附容器内的一部分气体；将内部被减压的所述第一浓缩容器与排出内部一部分气体的所述第一吸附容器切换为连通的状态，并利用所述第一浓缩容器内与所述第一吸附容器内的压力差使所述第一吸附容器内的吸附剂所吸附的臭氧气体脱附并输送到所述第一浓缩容器内，由此向所述第一浓缩容器内导入臭氧气体的浓度比所述原料混合气体高的第一浓缩混合气体；向保持吸附剂的第二吸附容器内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使所述第二吸附容器内的吸附剂吸附臭氧气体，其中所述第二吸附容器与所述第一吸附容器不同；以及将导入有所述第一浓缩混合气体的所述第一浓缩容器与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第二吸附容器切换为连通的状态，并利用所述第一浓缩容器内与所述第二吸附容器内的压力差使所述第二吸附容器内的吸附剂所吸附的臭氧气体脱附并输送到所述第一浓缩容器内，由此向所述第一浓缩容器内导入第二浓缩混合气体，所述第二浓缩混合气体中臭氧气体的浓度比所述第一浓缩混合气体低且比所述原料混合气体高。2.根据权利要求1所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：使所述第一吸附容器内的气体到达所述第一浓缩容器之前进行排气的工序。3.根据权利要求2所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：通过将保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器连通到大气而排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序。4.根据权利要求2所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器内的一部分气体到达所述第一浓缩容器之前对所述第一吸附容器内的一部分气体进行排气，从而使所述第一吸附容器内的压力成为-80kPa·G以下的工序。5.根据权利要求1至4中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，还包括：将与所述第一浓缩容器不同的第二浓缩容器的内部在不与所述第一吸附容器及所述第二吸附容器中任一方连通的状态下进行减压的工序，排出所述第一吸附容器内的一部分气体的工序包括：将内部被减压的所述第二浓缩容器与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的所述第一吸附容器切换为连通的状态，并利用所述第二浓缩容器内与所述第一吸附容器内的压力差使所述第一吸附容器内的吸附剂所吸附的臭氧气体脱附并输送到所述第二浓缩容器内，由此向所述第二浓缩容器内导入所述第一吸附容器内的一部分气体的工序。6.根据权利要求1至5中任一项所述的臭氧气体的浓缩方法，其特征在于，向所述第一浓缩容器内导入所述第一浓缩混合气体的工序以及向所述第一浓缩容器内导入所述第二浓缩混合气体的工序不加热所述第一吸附容器...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村贞纪，泉浩一，牧平尚久，
申请(专利权)人：岩谷产业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP