气体纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种气体纯化装置，其包括若干纯化器和一冷凝器，所述若干纯化器之间通过气管依次连通，所述纯化器与冷凝器之间也通过气管连通，每一纯化器包括一主体和包覆于主体侧周的一加热器，在主体上开设有一进气口、一出气口、一废气出口，所述主体内装有吸附剂，所述冷凝器上开设有一收集口、一进液口和一出液口。本气体提纯装置可以将纯度3‑4N的硒化氢气体提纯至5N及以上，可以达到半导体用电子特种气体的使用要求，大大拓宽了硒化氢产品的使用范围，提高了产品的附加值，能够取得良好的经济效益。

【技术实现步骤摘要】
气体纯化装置
本技术涉及电子特种气体制备领域，尤其涉及一种适用于硒化氢提纯的气体纯化装置。
技术介绍
硒化氢是一种极为重要的电子特种气体，是制造硒化锌的必要原料之一。硒化锌是重要的Ⅱ-Ⅵ族半导体透光材料，是红外装置上的光学窗口、滤光片、红外透镜、棱镜等元件的重要材料，也是一种常用的优质镀膜材料。在半导体行业中，硒化氢作为生产半导体的原材料和还原气主要用于生产半导体器件时形成P-N结、保护层和隔离层，是国防尖端、航空航天急需的高纯气体。硒化氢还是LED和集成电路制造过程中的掺杂气体。在制造新型光伏太阳能电池的生产过程中，硒化氢是生产CIGS的重要基础原料。以上行业中，对硒化氢气体的品质要求也较高，现有的硒化氢制备技术很难直接生产出符合高品质要求的硒化氢气体，常常需要经过提纯来获得更高纯度的硒化氢气体。
技术实现思路
本技术提出一种适用于硒化氢的气体提纯装置，将硒化氢粗品通过一系列吸附剂吸附除去其中杂质，得到更高纯度的硒化氢产品，收集充装到气瓶中，利用本装置提纯后的硒化氢气体，品质大大提高，可以满足半导体行业对高纯硒化氢气体的使用需求。为实现前述目的，本技术采用如下技术方案：一种气体纯化装置，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体纯化装置，其特征在于：其包括若干纯化器和一冷凝器，所述若干纯化器之间通过气管依次连通，所述纯化器与冷凝器之间也通过气管连通，每一纯化器包括一主体和包覆于主体侧周的一加热器，在主体上开设有一进气口、一出气口、一废气出口以及一吹扫气进口，所述主体内装有吸附剂，所述冷凝器上开设有一收集口，所述冷凝器侧周包覆一冷却夹套，所述冷却夹套上开设一进液口和一出液口。

【技术特征摘要】
1.一种气体纯化装置，其特征在于：其包括若干纯化器和一冷凝器，所述若干纯化器之间通过气管依次连通，所述纯化器与冷凝器之间也通过气管连通，每一纯化器包括一主体和包覆于主体侧周的一加热器，在主体上开设有一进气口、一出气口、一废气出口以及一吹扫气进口，所述主体内装有吸附剂，所述冷凝器上开设有一收集口，所述冷凝器侧周包覆一冷却夹套，所述冷却夹套上开设一进液口和一...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建，朱刘，蔡云雷，
申请(专利权)人：清远先导材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44