基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法制造方法及图纸

提供一种可解决在基板交接时产生的基板的弯曲的基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。

【技术实现步骤摘要】
基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法本申请是申请号为201080049093.7的名称为“基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法”的专利技术专利申请的分案申请，原申请的申请日是2010年10月28日。
本专利技术是关于一种基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。
技术介绍
在平板显示器等的电子元件的工艺中，使用曝光装置或检查装置等大型基板的处理装置。在使用此等处理装置的曝光步骤、检查步骤，使用将大型基板(例如玻璃基板)搬送至处理装置的下述专利文献所揭示的搬送装置。专利文献1：日本特开2001－100169号公报。
技术实现思路
然而，在上述的大型基板的搬送装置，在将搬出入部所保持的基板交接至基板支持装置时，基板与基板支持装置分别受到支持。因此，依基板的支持方法会有使基板因本身重量而向下方弯曲的情形。若将因本身重量而呈弯曲状态的基板交接至基板支持装置，则基板的向下方弯曲的部分会与基板支持装置接触，由于接触部分的摩擦，在基板支持装置上基板会维持弯曲状态。例如在曝光装置，若将呈如上述变形状态的基板交接至曝光用的基板保持具，则会产生无法在基板上的适当位置进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板搬送装置，是将载置于基板支持构件的基板与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部。

【技术特征摘要】
2009.10.28 US 61/272,7451.一种基板搬送装置，是将载置于基板支持构件的基板与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部。2.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述加振部包含设于前述基板支持构件并基于供给电力使前述基板支持构件产生振动的至少1个振动产生部。3.如权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述加振部包含对前述振动产生部进行电力供给的供电部，该供电部的至少一部分设于前述搬送部。4.如权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于其中，具备：支持载置有前述基板的前述基板支持构件的出入口部；前述加振部包含对前述振动产生部进行电力供给的供电部，该供电部的至少一部分设于前述出入口部；前述搬送部保持支持于前述出入口部的前述基板支持构件并移动。5.如权利要求4所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述出入口部具有分别支持前述基板支持构件的不同位置的多个支持部；前述多个支持部配置于不与该多个支持部支持的前述基板支持构件上的前述振动产生部在俯视重叠的位置。6.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述加振部包含基于供给电力使前述搬送部之中保持前述基板支持构件的部分产生振动的至少1个振动产生部。7.如权利要求6所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部具备保持前述基板支持构件的搬送手、使前述搬送手移动的致动器；前述振动产生部具有控制前述致动器使前述搬送手振动的控制部。8.如权利要求6所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部具备保持前述基板支持构件的搬送手；前述振动产生部具有设于前述搬送手且使前述搬送手振动的至少1个振动致动器。9.如权利要求8所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述搬送部进一步具备支持前述基板支持构件的多个抵接部；前述振动致动器配置于前述抵接部的附近。10.如权利要求7至9中任一权利要求所述的基板搬送装置，其特征在于其中，前述致动器设为可将前述搬送手在沿前述基板支持构件的基板支持面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：河江国博，柳川卓也，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP