一种基于垂直读写操作的多态非易失性固态存储单元制造技术

技术编号:19781261 阅读:37 留言:0更新日期:2018-12-15 12:10
本发明专利技术公开了一种基于垂直读写操作的多态非易失性固态存储单元,固态存储单元包括底电极层、形成在底电极层之上的铁电性压电层、位于其上的中间电极层、紧邻中间电极层的pn结层以及位于其上的顶电极层。铁电性压电层作为信息的写入层,pn结层用做信息存储层;在垂直方向电场作用下铁电性压电层具有多个应变态,并使得其上pn结层具有多个非易失性电阻态,进而实现信息的写入和擦除;沿着垂直方向施加读出电流或电压于pn结层上,使得存储层的信息被垂直读出。信息的垂直写入和读出以及多态性特征有利于大幅提高存储密度;本发明专利技术利用电场实现信息写入和擦除亦有利于降低信息存取功耗。

【技术实现步骤摘要】
一种基于垂直读写操作的多态非易失性固态存储单元
本专利技术属于信息存储
,具体涉及多态、非易失性固态存储器件,特别是多态、非易失性固态存储元器件的电场垂直写入、电阻垂直读出的操作以及相应的信息写入和读出方法。
技术介绍
IT技术突飞猛进的发展离不开信息存储技术的进步,信息存储技术成为现代电子工业发展中的重要环节。同时实现高密度、低功耗、非易失性以及高速存储是人们梦寐以求的目标。为此,人们发展了多种存储器件,主要包括:利用光读写的光存储介质,如CD和DVD等;利用磁场读写的磁性介质存储器件,如硬盘;利用磁写电读的磁阻存储器件,如磁阻随机存储器件(Magnetoresistiverandomaccessmemmory,MRAM);运用电写电读技术的电存储器,如动态随机存储存取器(DRAM)、铁电随机存储器(FeRAM)、自旋转移力矩-磁阻存储器(Spintransfertorque-MRAM,STT-MRAM)、闪存(FlashMemory)、固态存储器(SolidStateDriver,SSD);利用热效应实现信息存储的相变存储器(phase-changememory,P-RAM本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于垂直读写操作的多态非易失性固态存储单元,其特征在于,所述固态存储单元包括铁电性压电层(5)和pn结层;所述铁电性压电层(5)在外加电场作用下能产生非易失性应变,且具有多个剩余应变态,每个剩余应变态分别对应一个信息位;所述pn结层的结电阻随着所述铁电性压电层(5)的应变而变化,从而具有对应于所述铁电性压电层(5)的多个非易失性剩余应变态的多个电阻态,通过测量所述pn结层的结电阻能够读取所述信息位;所述固态存储单元还包括底电极层(6)、中间公用电极层(4)以及顶电极层(1),以此形成与半导体工艺兼容的类似于场效应晶体管的三端电子器件,并且所述底电极层(6)、铁电性压电层(5)、中间公用...

【技术特征摘要】
1.一种基于垂直读写操作的多态非易失性固态存储单元,其特征在于,所述固态存储单元包括铁电性压电层(5)和pn结层;所述铁电性压电层(5)在外加电场作用下能产生非易失性应变,且具有多个剩余应变态,每个剩余应变态分别对应一个信息位;所述pn结层的结电阻随着所述铁电性压电层(5)的应变而变化,从而具有对应于所述铁电性压电层(5)的多个非易失性剩余应变态的多个电阻态,通过测量所述pn结层的结电阻能够读取所述信息位;所述固态存储单元还包括底电极层(6)、中间公用电极层(4)以及顶电极层(1),以此形成与半导体工艺兼容的类似于场效应晶体管的三端电子器件,并且所述底电极层(6)、铁电性压电层(5)、中间公用电极层(4)、pn结层和顶电极层(1)依次叠置形成叠层;所述底电极层(6)和中间公用电极层(4)用于在垂直方向上施加外加写入电场;所述中间公用电极层(4)和顶电极层(1)用于在垂直方向上读取所述pn结层的结电阻。2.根据权利要求1所述的固态存储单元,其特征在于,所述铁电性压电层(5)是由钛酸铋钠、锆钛酸铅、钛酸铅、钛酸钡和铌镁酸铅—钛酸铅中的任意一种物质形成的铁电固溶体单晶、陶瓷或铁电压电性薄膜。3.根据权利要求2所述的固态存储单元,其特征在于,所述铁电性压电层(5)是厚度为几百微米的铁电固溶体单晶或陶瓷,或是厚度为几百纳米至几十微米的铁电压电性薄膜。4.根据权利要求1所述的固态存储单元,其特征在于,所述pn结层是由n型半导体材料(2)和p型半导体材料(3)所形成,所述n型半导体材料(2)和p型半导体材料(3)的层顺序没有上下之分。5.根据权利要求4所述的固态存储单元,其特征在于:所述pn结层是由n型和p型的SrTiO3、La2CuO4、SnO2、Bi2O3、ZnO或Cu2O构成的氧化物半导体薄膜;所述pn结层或是由n型和p型的(BxA1-x)MnO3构成的氧化物半导体薄膜,其中:B是稀土元素:La、Ce、Pr、Nd或Sm,A是碱金属元素:Ca、Sr或Ba;所述pn结层或是由n型和p型的Si、Ge、Se或Te的单元系半导体材料而形成;所述pn结层或是由n型和p型的GaAs、ZnS、AlAs、PbSe、InP、GaSb或TiO2的二元系合金半导体材料而形成;所述pn结层或是由n型和p型的CuInSe2、PbSnTe、Tl2GeTe5、InxGa1-xAs、InxGa1-xP或AlxGa1-xAs的三元系合金半导体材料而形成;所述pn结层或是由n型和p型的InGaAsP、InAsSbP、AlGaAsN或...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨远俊
申请(专利权)人:合肥工业大学
类型:发明
国别省市:安徽,34

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