光罩托架制造技术

本实用新型专利技术实施例提供一种光罩托架，包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。本实用新型专利技术实施例只需采用同一光桌，通过将不同尺寸的托架单体依次嵌套连接，即可检验不同尺寸的光罩，降低设备成本，托架单体的边框上固定有遮光片，有效避免两个相邻嵌套连接的托架单体之间的间隙产生漏光，提升检验效率和准确度。

【技术实现步骤摘要】
光罩托架
本技术实施例涉及光罩检验设备
，尤其涉及一种光罩托架。
技术介绍
集成电路制程中会大量应用到光罩，光罩的产生及对此类光罩的后续光学检验已成为半导体集成电路生产中的标准步骤。目前，对光罩进行检验的措施主要是将光罩放置在用于检验的光桌上，位于光桌下方的光源发出的光线透过光桌照射于光罩上，以对光罩进行相应的检验处理。现有技术中，针对不同尺寸的光罩均配备有对应尺寸的光桌，这导致设备成本过高，经济效率低下；而若要采用同一光桌检验不同尺寸的光罩，则只能将光桌尺寸设计得足够大，但是，大尺寸的光桌在用于检验小尺寸的光罩时，会导致光桌漏光严重，影响光罩的检验效果。
技术实现思路
本技术实施例要解决的技术问题在于，提供一种光罩托架，能方便地适用于检验不同尺寸的光罩。为解决上述技术问题，本技术实施例采用的技术方案是：一种光罩托架，包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光罩托架，其特征在于，所述光罩托架包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。

【技术特征摘要】
1.一种光罩托架，其特征在于，所述光罩托架包括多个依次嵌套连接的托架单体，每一个托架单体包括呈环状的边框和连接于边框上并自边框的外边缘伸出的遮光片，每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均分别与一种对应规格的光罩的外围形状和尺寸相匹配，除位于最内一圈的托架单体之外的每一个托架单体的边框的内环面所围成的区域的形状和尺寸均与内侧相邻嵌套连接的托架单体的外围轮廓的形状和尺寸相匹配。2.如权利要求1所述的光罩托架，其特征在于：所述托架单体的边框设置有朝内环面所围成的区域内延伸形成的凸出，所述托架单...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵子翔，庄奎乾，熊波，崔兴永，
申请(专利权)人：深圳市科利德光电材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44