一种硒化氢生产系统技术方案

一种硒化氢生产系统，包括吹扫管、氢气瓶、反应釜、吸附器、冷阱、吸收瓶、尾气处理装置和排空管；吹扫管用于吹扫生产系统；氢气瓶的输出端连接于反应釜的输入端；反应釜的输出端连接于连接吸附器的输入端；吸附器的输出端连接于吸收瓶的输入端；吸收瓶设置于冷阱内；排空管包括第一排空管、第二排空管和第三排空管；第一排空管的一端连接至吸附器的输出端，第一排空管的另一端连接至尾气处理装置；第二排空管的一端和第三排空管的一端分别连接至冷阱的输出端，第二排空管的另一端和第三排空管的另一端分别连接至尾气处理装置。本实用新型专利技术根据上述内容提出一种硒化氢生产系统，能够制备高纯度的硒化氢。

【技术实现步骤摘要】
一种硒化氢生产系统
本技术涉及硒化氢制备
，尤其涉及一种硒化氢生产系统。
技术介绍
硒化氢，分子结构：Se原子以sp3杂化轨道成键、分子为V形的极性分子。英文名称Hydrogenselenide，分子式H2Se外观与性状无色有恶臭的气体；分子量80.98蒸汽压53.32kPa/-53.6℃闪点：<-50℃；熔点-66.1℃沸点：-41.1℃溶解性溶于水、二硫化碳；密度相对密度(水＝1)2.12(-42℃)稳定性稳定；危险标记6,32(有毒气体)主要用途：用以制取金属硒化物和含硒的有机化合物及半导体材料。现有的硒化氢生产系统所生产的硒化氢纯度不高。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种硒化氢生产系统，能够制备高纯度的硒化氢。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种硒化氢生产系统，包括吹扫管、氢气瓶、反应釜、吸附器、冷阱、吸收瓶、尾气处理装置和排空管；所述吹扫管用于吹扫所述生产系统；所述氢气瓶的输出端连接于所述反应釜的输入端；所述反应釜的输出端连接于连接所述吸附器的输入端；所述吸附器的输出端连接于所述吸收瓶的输入端；所述吸收瓶设置于所述冷阱内；所述排空管包括第一排空管、第二排空管和第三排空管；所述第一排空管的一端连接至所述吸附器的输出端，所述第一排空管的另一端连接至所述尾气处理装置；所述第二排空管的一端和第三排空管的一端分别连接至所述冷阱的输出端，所述第二排空管的另一端和第三排空管的另一端分别连接至所述尾气处理装置。进一步，还包括多个粗过滤器和多个细过滤器；至少有一个所述粗过滤器分别设于所述反应釜的输入端、反应釜的输出端、冷阱的输入端和冷阱的输出端；至少有一个所述细过滤器分别设于所述冷阱的输入端和冷阱的输出端。进一步，所述吸收瓶至少分为串联连接的一级吸收瓶和二级吸收瓶；冷阱至少分为一级冷阱和二级冷井；所述一级冷阱中的冷媒为干冰和D-柠烯；所述二级冷井中的冷媒为液氮。进一步，所述尾气处理装置包括三级串联连接的喷淋塔，所述喷淋塔设置有循环喷淋管和储液池；所述循环喷淋管的一端连接于所述储液池，所述循环喷淋管的另一端设于所述喷淋塔内。进一步，所述喷淋塔内填充有拉西环。进一步，还包括保温加热炉，其设于所述反应釜。进一步，还包括多个仪表和多个阀门；所述仪表设置于所述硒化氢生产系统的管路；所述阀门设置于所述硒化氢生产系统的管路。进一步，所述吸附器内填充的吸附材料为硅胶。生产硒化氢时，将定量的硒料(95％的Se)加入所述反应釜3，密闭反应通料前，从所述吹扫管1通入氦气对本系统进行置换吹扫，以排清系统内相关管路的杂质，提高后续产出的硒化氢的纯度。然后到反应阶段，一边通氦气一边升温加热(450-570℃)熔融，将所述反应釜3内的温度控制在400-600℃，把所述氢气瓶2内的氢气通入至所述反应釜3进行反应，反应方程式如下：Se+H2＝H2Se；反应产生的H2Se粗产品首先通过所述吸附器4除杂，提高硒化氢的纯度，然后进入所述吸收瓶6用冷冻法收集，所述吸收瓶6直接作为硒化氢产品收集瓶使用，更加方便，反应完毕后关闭瓶阀，抽真空后卸下钢瓶，检验合格后出厂，整个工艺温度在-196～570℃范围，压力在0～5Mpa范围。不凝余气通过所述排空管进入所述尾气处理装置7，通过所述尾气处理装置7处理，用30％的碱液对尾气进行洗涤后，除去其中夹带的少量硒化氢等有害气体，尾气处理合格后安全放空。反应结束后，用氦气对本系统进行置换吹扫。生产工艺的控制：反应温度在400-600℃，最高不超过600℃，设置超温自动切断连锁装置，硒化氢合成属于吸热反应，反应过程中要保证反应温度，采用保温加热炉，使温度恒定在500-550℃之间。硒化氢合成工艺反应压力在0～5Mpa范围内，反应压力通过控制进料流量和尾气排放量控制。吸附器压力与反应器相同，采用硅胶做吸附材料，温度保持在常温。所有生产及充装设备设置在密封且均在通风橱中进行，采用气动阀控制。此外，环境及系统排放尾气全部经过三级串联连接的喷淋塔71吸附，高空排放。确保排放尾气对环境无影响。附图说明图1是本专利技术其中一个实施例的结构原理图；图2是图1的A部分放大图；图3是图1的B部分放大图；图4是图1的C部分放大图。其中：吹扫管1、氢气瓶2、反应釜3、吸附器4、冷阱5、一级冷阱51、二级冷井52、吸收瓶6、一级吸收瓶61、二级吸收瓶62、尾气处理装置7、喷淋塔71、循环喷淋管711、储液池712、拉西环713、第一排空管81、第二排空管82、第三排空管83、粗过滤器91、细过滤器92、仪表101、阀门102。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1至图4所示，一种硒化氢生产系统，包括吹扫管1、氢气瓶2、反应釜3、吸附器4、冷阱5、吸收瓶6、尾气处理装置7和排空管；所述吹扫管1用于吹扫所述生产系统；所述氢气瓶2的输出端连接于所述反应釜3的输入端；所述反应釜3的输出端连接于连接所述吸附器4的输入端；所述吸附器4的输出端连接于所述吸收瓶6的输入端；所述吸收瓶6设置于所述冷阱5内；所述排空管包括第一排空管81、第二排空管82和第三排空管83；所述第一排空管81的一端连接至所述吸附器4的输出端，所述第一排空管81的另一端连接至所述尾气处理装置7；所述第二排空管82的一端和第三排空管83的一端分别连接至所述冷阱5的输出端，所述第二排空管82的另一端和第三排空管83的另一端分别连接至所述尾气处理装置7。生产硒化氢时，将定量的硒料(95％的Se)加入所述反应釜3，密闭反应通料前，从所述吹扫管1通入氦气对本系统进行置换吹扫，以排清系统内相关管路的杂质，提高后续产出的硒化氢的纯度。然后到反应阶段，一边通氦气一边升温加热(450-570℃)熔融，将所述反应釜3内的温度控制在400-600℃，把所述氢气瓶2内的氢气通入至所述反应釜3进行反应，反应方程式如下：Se+H2＝H2Se；反应产生的H2Se粗产品首先通过所述吸附器4除杂，提高硒化氢的纯度，然后进入所述吸收瓶6用冷冻法收集，所述吸收瓶6直接作为硒化氢产品收集瓶使用，更加方便，反应完毕后关闭瓶阀，抽真空后卸下钢瓶，检验合格后出厂，整个工艺温度在-196～570℃范围，压力在0～5Mpa范围。不凝余气通过所述排空管进入所述尾气处理装置7，通过所述尾气处理装置7处理，用30％的碱液对尾气进行洗涤后，除去其中夹带的少量硒化氢等有害气体，尾气处理合格后安全放空。反应结束后，用氦气对本系统进行置换吹扫。生产工艺的控制：反应温度在400-600℃，最高不超过600℃，设置超温自动切断连锁装置，硒化氢合成属于吸热反应，反应过程中要保证反应温度，采用保温加热炉，使温度恒定在500-550℃之间。硒化氢合成工艺反应压力在0～5Mpa范围内，反应压力通过控制进料流量和尾气排放量控制。吸附器压力与反应器相同，采用硅胶做吸附材料，温度保持在常温。所有生产及充装设备设置在密封且均在通风橱中进行，采用气动阀控制。此外，环境及系统排放尾气全部经过三级串联连接的喷淋塔71吸附，高空排放。确保排放尾气对环境无影响。进一步，还包括多个粗过滤器91和多个细过滤器92；至少有一个所述粗过滤器91分别设于所述反应釜3的输入端、反应釜3的输出端、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硒化氢生产系统，其特征在于：包括吹扫管、氢气瓶、反应釜、吸附器、冷阱、吸收瓶、尾气处理装置和排空管；所述吹扫管用于吹扫所述生产系统；所述氢气瓶的输出端连接于所述反应釜的输入端；所述反应釜的输出端连接于连接所述吸附器的输入端；所述吸附器的输出端连接于所述吸收瓶的输入端；所述吸收瓶设置于所述冷阱内；所述排空管包括第一排空管、第二排空管和第三排空管；所述第一排空管的一端连接至所述吸附器的输出端，所述第一排空管的另一端连接至所述尾气处理装置；所述第二排空管的一端和第三排空管的一端分别连接至所述冷阱的输出端，所述第二排空管的另一端和第三排空管的另一端分别连接至所述尾气处理装置。

【技术特征摘要】
1.一种硒化氢生产系统，其特征在于：包括吹扫管、氢气瓶、反应釜、吸附器、冷阱、吸收瓶、尾气处理装置和排空管；所述吹扫管用于吹扫所述生产系统；所述氢气瓶的输出端连接于所述反应釜的输入端；所述反应釜的输出端连接于连接所述吸附器的输入端；所述吸附器的输出端连接于所述吸收瓶的输入端；所述吸收瓶设置于所述冷阱内；所述排空管包括第一排空管、第二排空管和第三排空管；所述第一排空管的一端连接至所述吸附器的输出端，所述第一排空管的另一端连接至所述尾气处理装置；所述第二排空管的一端和第三排空管的一端分别连接至所述冷阱的输出端，所述第二排空管的另一端和第三排空管的另一端分别连接至所述尾气处理装置。2.根据权利要求1所述的一种硒化氢生产系统，其特征在于：还包括多个粗过滤器和多个细过滤器；至少有一个所述粗过滤器分别设于所述反应釜的输入端、反应釜的输出端、冷阱的输入端和冷阱的输出端；至少有一个所述细过滤器分别设于所述冷阱的输入端和冷阱的输出端。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴友宏，吴祥虎，吴杰，
申请(专利权)人：江西华特电子化学品有限公司，郴州湘能半导体气体有限公司，广东华特气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36