一种La0.7Sr0.3MnO3铁磁薄膜的制备方法技术

技术编号:19644166 阅读:33 留言:0更新日期:2018-12-05 19:21
采用激光脉冲沉积法在Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑PbTiO3(PMN‑PT)单晶表面制备La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)薄膜,表面光滑、致密,表面粗糙度低于3.2nm,膜厚均匀一致,高纯度且薄膜间致密。随着测试温度的变化,观察到薄膜表现出了明显的铁磁‑顺磁性能变化。通过电压调控磁性能的变化测试,异质结薄膜展示了明显的逆磁电效应,在磁电存储器件、微波器件等方面具有较好的应用前景。

Preparation of La0.7Sr0.3MnO 3 Ferromagnetic Thin Films

La0.7Sr0.3MnO 3 (LSMO) thin films were prepared on the surface of Pb (Mg1/3Nb2/3) O 3 Pb Ti 3 (PMN PT) single crystal by laser pulse deposition. The surface of the films was smooth and compact, the surface roughness was less than 3.2nm, the thickness of the films was uniform, the purity was high and the density of the films was high. With the change of test temperature, it was observed that the films exhibited obvious changes in ferromagnetic and paramagnetic properties. The results show that the heterojunction films exhibit obvious inverse magnetoelectronic effect and have good application prospects in magnetoelectronic memory devices, microwave devices and so on.

【技术实现步骤摘要】
一种La0.7Sr0.3MnO3铁磁薄膜的制备方法
本专利技术涉及一种La0.7Sr0.3MnO3铁磁薄膜材料的制备方法。
技术介绍
锰氧化物的载流子自旋极化率极高,且在居里温度附近表现出巨磁电阻效应和磁卡效应,这些特点极大地拓展了稀土锰氧化物LaAEMnO3(AE为掺杂元素,如Ca,Sr等)磁性材料的应用范围,这种材料在新型磁电存储器件、微波器件和逻辑电路等方面具有潜在的应用前景,因此受到国内外科研单位的广泛关注。同时,随着现代电子信息技术的迅速发展,小型化和微型化成为新型光、机、磁、电器件的发展趋势,使稀土锰氧化物铁磁薄膜的制备与应用的研究具有重要的科学意义与重大应用前景。磁性薄膜的研究和应用开发依赖于薄膜的制备技术。高质量薄膜的获得是薄膜器件应用的保证。至今已有多种制备磁性薄膜的技术方法。如蒸发、离子束溅射、磁控溅射、分子束外延、化学气相沉积、溶胶-凝胶法等这些方法各有特点,也在某些领域得到应用,但也各有其局限性。尤其对于像La0.7Sr0.3MnO3这样的多组元复杂组分的化合物的制备是相当困难的,成分的配比很难精确控制。相比较以上制备方法,脉冲激光沉积法具有以下优点:(1)烧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种La0.7Sr0.3MnO3铁磁薄膜的制备方法,包括如下步骤:一、采用脉冲激光对La0.7Sr0.3MnO3靶材进行8‑12min清靶:激光能量为200‑300mJ,激光脉冲频率为5‑15Hz,转速为3‑7r/min,焦距为35‑40mm,激光窗口孔直径为1.5cm;二、将大小为4×5mm2的Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑PbTiO3(PMN‑PT)单晶用导电银浆粘在10×10mm2的镍块上,放在120℃加热板上加热3~5min;三、将黏住Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑PbTiO3(PMN‑PT)单晶的镍块放在托盘上送进真空室,真空度控制在1×10‑6Torr;四、将真空室以2...

【技术特征摘要】
1.一种La0.7Sr0.3MnO3铁磁薄膜的制备方法,包括如下步骤:一、采用脉冲激光对La0.7Sr0.3MnO3靶材进行8-12min清靶:激光能量为200-300mJ,激光脉冲频率为5-15Hz,转速为3-7r/min,焦距为35-40mm,激光窗口孔直径为1.5cm;二、将大小为4×5mm2的Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMN-PT)单晶用导电银浆粘在10×10mm2的镍块上,放在120℃加热板上加热3~5min;三、将黏住Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMN-PT)单晶的镍块放在托盘上送进真空室,真空度控制在1×10-6Torr;四、将真空室以25℃/min的升温速率升至690℃后,采用脉冲激光在PMN-PT单晶表面溅射LSMO薄膜,激光能量为200-300mJ,激光脉冲频率为5-15Hz,转速为3-7r/min,焦距为35-40mm,激光窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯明李海波徐航赵雪刘梅
申请(专利权)人:吉林师范大学
类型:发明
国别省市:吉林,22

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