The invention discloses a preparation method of a solar PERC battery, which comprises the following steps: 1) cleaning and wool making; 2) diffusion bonding; 3) edge and back etching and knotting; 4) back polishing; 5) front PSG removal; 6) passivation coating; 7) laser grooving; 8) screen printing; 9) sintering; and 3) mixing. The mixed acid etching solution includes at least two kinds of HNO 3, HF and H2SO 4; step 4) alkaline solution is used to wash and polish the edge and back of silicon wafer. The preparation method of the solar energy PERC battery of the invention adopts a low concentration mixed acid etching solution to etch at low temperature in the etching process stage, the etching effect is good, and the problem of front overetching caused by high concentration of acid will not be produced; the back polishing effect of the alkaline solution is good, and the back etching depth can be lower. It achieves better polishing effect on the back, and is highly matched with the existing production line, so it is easy to popularize and use.
【技术实现步骤摘要】
一种太阳能PERC电池的制备方法
本专利技术涉及太阳能电池
,具体涉及一种太阳能PERC电池的制备方法。
技术介绍
太阳能发电技术是基于半导体“光生伏特效应”将光转化为电的一种新能源技术,且由于其清洁、可再生、应用范围广等特点受到了大家的青睐,而太阳能电池片是整个发电系统的核心部件。发展至今,常规电池片受其工艺限制,效率无法再有大幅度提升,在此基础上,各种高效太阳能电池开始出现。PERC电池(钝化发射极及背表面电池)是其中一种应用较为广泛的高效太阳能电池,常规Al2O3为钝化层的PERC电池的工艺流程一般包括制绒→扩散→刻蚀→镀Al2O3→镀背面SiNx→镀正面SiNx→激光开槽或开孔→丝网印刷→烧结→测试,而在刻蚀工艺阶段,通常需要对硅片背面进行抛光处理,使硅片背面更加平整,来提高钝化层的均匀性。现有技术中在刻蚀工序阶段通过高浓度硝酸和氢氟酸的混合液腐蚀背面,来增加刻蚀量从而达到背面抛光的目的。但是这种方式存在化学品成本高、废水废气处理成本高、对环境造成污染等缺陷,且高浓度的酸极易造成正面过刻,对设备要求较高,工艺窗口较小。
技术实现思路
有鉴于此,为了克服现有技术的缺陷,本专利技术的目的是提供一种太阳能PERC电池的制备方法,该制备方法刻蚀效果好,能够降低化学用品损耗,减少环境污染。为了达到上述目的,本专利技术采用以下的技术方案:一种太阳能PERC电池的制备方法,具体包括以下步骤:1)清洗制绒:利用酸性或碱性腐蚀液在硅片表面形成绒面;2)扩散制结:在扩散炉内导入POCl3气源,与硅片反应形成P原子,并向硅片内部扩散,形成形成了N型半导体和P型半导体的 ...
【技术保护点】
1.一种太阳能PERC电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)清洗制绒;2)扩散制结;3)边缘及背面刻蚀去结;4)背面抛光;5)正面去PSG;6)镀钝化膜层;7)激光开槽;8)丝网印刷;9)烧结;其中,步骤3)中的采用混合酸刻蚀液对硅片边缘及背面进行刻蚀,所述混合酸刻蚀液包括HNO3、HF、H2SO4中的至少两种;步骤4)中采用碱性溶液进行碱洗抛光。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能PERC电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)清洗制绒;2)扩散制结;3)边缘及背面刻蚀去结;4)背面抛光;5)正面去PSG;6)镀钝化膜层;7)激光开槽;8)丝网印刷;9)烧结;其中,步骤3)中的采用混合酸刻蚀液对硅片边缘及背面进行刻蚀,所述混合酸刻蚀液包括HNO3、HF、H2SO4中的至少两种;步骤4)中采用碱性溶液进行碱洗抛光。2.根据权利要求1所述的一种太阳能PERC电池的制备方法,其特征在于,步骤3)边缘及背面刻蚀去结包括以下步骤:a)第一次酸洗:采用所述混合酸刻蚀液对硅片边缘及背面进行刻蚀,除去硅片边缘及背面的PN结;b)第一次漂洗:采用纯水对第一次酸洗后的硅片进行漂洗;c)第一次碱洗:采用浓度为1%-3%的KOH溶液,在常温下去除硅片表面的酸残留;d)第二次漂洗:采用纯水对第一次碱洗后的硅片进行第二次漂洗。3.根据权利要求2所述的一种太阳能PERC电池的制备方法,其特征在于,步骤a)中第一次酸洗时的工艺温度为5℃-15℃,所述混合酸刻蚀液的体积百分浓度为43%-60%。4.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁金燕,丁建明,黄金金,陈磊,
申请(专利权)人:韩华新能源启东有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。