准直器及制备方法技术

本发明专利技术是关于一种准直器及制备方法。该准直器包括基体，呈平板状，所述基体具有相互平行的上表面和下表面，在该基体设有至少一个通孔，所述通孔贯穿所述的上表面和下表面，所述通孔的孔径为1‑100微米，所述基体的材质为玻璃。本发明专利技术采用玻璃棒管嵌套拉制法来制得玻璃坯板，进行光学冷加工，再经化学酸蚀，得到准直器。本发明专利技术确定准直器的玻璃后，设计与之匹配的芯玻璃，并经酸蚀除去芯玻璃。在制备过程中芯玻璃主要作为微孔的填充材料，以确保微孔的圆整度。本发明专利技术有效提高粒子的准直效率和粒子运动的稳定性，降低粒子的散射角，为原子钟、射线照相机等精密器件的高稳定性、高可靠性和小型化创造条件。

Collimator and preparation method

The invention relates to a collimator and a preparation method thereof. The collimator consists of a substrate in a flat shape with parallel upper and lower surfaces. At least one through-hole is arranged on the substrate. The through-hole penetrates the upper and lower surfaces. The through-hole diameter is 1 100 micron, and the material of the matrix is glass. The invention adopts glass rod and tube nested drawing method to prepare glass slab, carries out optical cold processing, and then gets collimator through chemical etching. After determining the glass of the collimator, the core glass matched with the design is designed, and the core glass is removed by acid etching. Core glass is mainly used as filling material to ensure the roundness of micro-holes in the preparation process. The invention effectively improves the collimation efficiency of particles and the stability of particle motion, reduces the scattering angle of particles, and creates conditions for high stability, high reliability and miniaturization of precision devices such as atomic clocks, radiocameras, etc.

【技术实现步骤摘要】
准直器及制备方法
本专利技术属于无机非金属材料制备
，特别是涉及一种准直器及制备方法。
技术介绍
在一些精密仪器、医疗器件和电子器件中，原子、电子、离子、分子等粒子的准直化运动已显著影响了器件的稳定性、可靠性，以及使用寿命。准直化的粒子运动可以形成散射角很小的粒子束，有利于形成稳定而持久的气流或液流，从而给相关器件提供高稳定的信号源或气、液粒子束流。因此，粒子的准直化率在一定程度上可以决定器件的使用性能。准直器作为粒子准直运动系统的核心元件，承担着粒子准直射出的关键作用，其材料和结构直接决定了粒子运动的散射角和粒子的速度。然而，目前采用的单孔的准直器，体积大，粒子散射角难以精确控制，且粒子在孔内的运动速度不易控制，导致粒子准直化率低，最终导致粒子的利用率极低。此外，受限于打孔的制备方法，单孔准直器的通孔直径不能做到微米级及以下尺度，从而影响粒子的准直化效率和利用率。在报道中也有采用金属质的多孔准直器作为粒子准直系统的元件，但是使用材料的可靠性差，特别是通孔尺寸的精度低，结构均匀性差，难以提供稳定的粒子束流，且准直效果差，导致器件的使用寿命短、准直率低下。专利
技术实现思路
本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种准直器，其特征在于，包括:基体，呈平板状，所述基体具有相互平行的上表面和下表面，在该基体设有至少一个通孔，所述通孔贯穿所述的上表面和下表面，所述通孔的孔径为1‑100微米，所述基体的材质为玻璃。

【技术特征摘要】
1.一种准直器，其特征在于，包括:基体，呈平板状，所述基体具有相互平行的上表面和下表面，在该基体设有至少一个通孔，所述通孔贯穿所述的上表面和下表面，所述通孔的孔径为1-100微米，所述基体的材质为玻璃。2.根据权利要求1所述的准直器，其特征在于，所述玻璃，以质量百分含量计，包括：其中，R2O由Li2O和Na2O组成；所述玻璃的膨胀系数为(40-60)×10-7/℃。3.根据权利要求1所述的准直器，其特征在于，所述玻璃，以质量百分含量计，包括：其中，XO由BaO、CaO和MgO组成；Y2O由Na2O和K2O组成；所述玻璃的膨胀系数为(80-100)×10-7/℃。4.根据权利要求1所述的准直器，其特征在于，所述通孔的形状为圆形或方形，所述通孔大小均匀，且彼此沿轴向平行排列，所述通孔的数量为1-100000个。5.一种准直器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：对皮玻璃预制管和芯玻璃预制棒进行嵌套，形成管棒复合体，将所述管棒复合体进行拉制，形成第一单丝；对所述的第一单丝进行排列，捆绑，并拉制，形成第一复合丝；对皮玻璃预制棒进行拉制，形成第二单丝；将所述第二单丝排列在所述第一复合丝周围，并经热熔压，得到玻璃坯板；对所述的玻璃坯板进行光学冷加工，再进行化学酸蚀...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永刚，贾金升，王久旺，周游，王云，付杨，张洋，薄铁柱，
申请(专利权)人：中国建筑材料科学研究总院有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11