一种湿式设备及其传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于湿式设备的传感装置，包括：壳体；分别装设在壳体中的发射器和接收器；装设在壳体中分别与发射器和接收器相连的，用以调节发射器发出光线、接收器接收光线的角度或发射器和接收器相对位置的微调组件，其中，通过微调组件改变发射器发出光线、接收器接收光线的角度或发射器和接收器相对位置，使发射器发射出的光线经反射后由接收器接收。本发明专利技术还公开了一种湿式设备。实施本发明专利技术的湿式设备及其传感装置，可不与基板直接接触，能够在湿段制程环境下稳定运行；提高搬运装置的感应精度和使用寿命，降低感应误检率。

A Wet Equipment and Its Sensing Device

The invention discloses a sensing device for wet equipment, which includes: a shell; transmitters and receivers installed in the shell respectively; transmitters and receivers installed in the shell are connected with transmitters and receivers respectively to adjust the angle of emitters and receivers or the relative position of transmitters and receivers. The adjusting component changes the angle of light emitted by the transmitter, the angle of light received by the receiver, or the relative position of the transmitter and the receiver by the fine-tuning component, so that the light emitted by the transmitter is reflected and received by the receiver. The invention also discloses a wet equipment. The wet type equipment and its sensing device can operate stably in the wet section process environment without direct contact with the substrate, improve the induction accuracy and service life of the handling device, and reduce the induction error detection rate.

【技术实现步骤摘要】
一种湿式设备及其传感装置
本专利技术涉及面板制作领域，尤其涉及一种湿式设备及其传感装置。
技术介绍
现有技术中，湿式设备，例如清洗机、显影机等设备因需在一定的喷淋环境下运转，湿式设备上的传感装置容易受液体的影响，例如：当玻璃基板行进至传感装置的上方时，通过同轴反射、透射、漫反射产生的光电信号易受到液体或水汽的影响，而光信号的瞬时变化也会使传感装置对基板位置的判定出现偏差。此外，现有用于湿式设备湿段的磁电感应式机械传感装置，虽磁电感应不易受液体水汽的影响，但在机械结构在使用中也存在如下缺陷：1、机械结构在长时间使用后，会存在磨损卡顿现象，导致sensor下压后无法抬起复原。更严重会导致玻璃基板撞击造成破片。2、与基板存在硬件接触，长时间使用后roller部分会造成基板背面轮印或刮伤。3、活动的机械部件，也容易受喷淋水压影响而误触发。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种湿式设备及其传感装置，可不与基板直接接触，能够在湿段制程环境下稳定运行；提高搬运装置的感应精度和使用寿命，降低感应误检率。为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种用于湿式设备的传感装置，包括：壳体；分别本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于湿式设备的传感装置，其特征在于，包括：壳体；分别装设在所述壳体中的发射器和接收器；装设在所述壳体中分别与所述发射器和所述接收器相连的，用以调节所述发射器发出光线、所述接收器接收光线的角度或所述发射器和所述接收器相对位置的微调组件，其中，通过所述微调组件改变所述发射器发出光线、所述接收器接收光线的角度或所述发射器和所述接收器相对位置，使所述发射器发射出的光线经反射后由所述接收器接收。

【技术特征摘要】
1.一种用于湿式设备的传感装置，其特征在于，包括：壳体；分别装设在所述壳体中的发射器和接收器；装设在所述壳体中分别与所述发射器和所述接收器相连的，用以调节所述发射器发出光线、所述接收器接收光线的角度或所述发射器和所述接收器相对位置的微调组件，其中，通过所述微调组件改变所述发射器发出光线、所述接收器接收光线的角度或所述发射器和所述接收器相对位置，使所述发射器发射出的光线经反射后由所述接收器接收。2.如权利要求1所述的用于湿式设备的传感装置，其特征在于，所述发射器和接收器分别具有装设在所述壳体上的旋转支点，所述发射器和接收器以所述旋转支点为轴进行转动。3.如权利要求1或2所述的用于湿式设备的传感装置，其特征在于，所述微调组件包括：装设在所述发射器和所述接收器之间的所述壳体的内部的转子；及分别连接在所述转子相对两端侧的连杆，所述连杆的另一端连接在所述发射器或所述接收器上，其中:旋转改变所述转子的角度以通过所述连杆带动所述发射器和所述接收器一并转动。4.如权利要求3所述的用于湿式设备的传感装置，其特征在于，还包括：装设在所述壳体的外部且与所述转子相连的旋钮和设在所述壳体上角...

【专利技术属性】
技术研发人员：施杰，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42