【技术实现步骤摘要】
一种光学元件体散射缺陷探测装置
本申请涉及光学检测领域，尤其涉及一种光学元件体散射缺陷探测装置。
技术介绍
许多光学材料如晶体、熔炼石英等，体内或多或少的含有各种结构缺陷，结构缺陷的存在会对光学元件的光传输及损伤性能造成很大影响，因此，在元件上架使用之前对元件体缺陷的检测就显得至关重要。元件中的结构缺陷会对入射光形成散射，利用这一点可以对其进行探测，根据散射探测结果可以确定元件内结构缺陷的尺度、密度及分布情况。散射缺陷表征结果对于评价材料质量，光学元件选材等都具有重要参考价值。结构缺陷的形状不是规则的，其边界一般是由不同大小、取向的表面组成，每个结构缺陷对入射光的散射其实是结构缺陷各个表面对入射光反射的和。由于材料内部结构缺陷大小不一、形状各异，每个缺陷都可能包括多个不同取向、不同面积大小的反射面，因此结构缺陷的散射是存在优势方向的，这就存在从某个角度照明“看不到”某些缺陷的可能，大量的实验结果证明，这种情况是普遍存在的，也就是说单一照明方向会导致很多缺陷漏检，有必要从多角度照明，以实现对体散射缺陷较为全面的探测。
技术实现思路
鉴于上述情况，本申请提出一种光学元件体散射...
【技术保护点】
1.一种光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件为长方体结构，包括多个光束照射面；所述光学元件体散射缺陷探测装置包括：三维平移台，用于承载和平移所述光学元件；光源，用于发出光束L0；分光单元，用于将所述光束L0分为两束光束；照明系统，用于将所述两束光束分为多束光束后垂直入射所述多个光束照射面，以形成多光束交叠照明区域；以及成像系统，用于对所述多光束交叠照明区域进行成像。
【技术特征摘要】
1.一种光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件为长方体结构，包括多个光束照射面；所述光学元件体散射缺陷探测装置包括：三维平移台，用于承载和平移所述光学元件；光源，用于发出光束L0；分光单元，用于将所述光束L0分为两束光束；照明系统，用于将所述两束光束分为多束光束后垂直入射所述多个光束照射面，以形成多光束交叠照明区域；以及成像系统，用于对所述多光束交叠照明区域进行成像。2.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述照明系统包括多个反射镜，所述多个反射镜对应所述多个光束照射面设置。3.如权利要求2所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述多个反射镜包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜，其中，所述第一反射镜的中心和所述第二反射镜的中心的连线垂直穿过所述光学元件，所述第三反射镜的中心和所述第四反射镜的中心的连线垂直穿过所述光学元件。4.如权利要求1所述的光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件体散射缺陷探测装...
【专利技术属性】
技术研发人员：王凤蕊，周晓燕，林宏奂，刘红婕，邓青华，石兆华，卓瑾，吴之清，邵婷，蒋晓东，黄进，叶鑫，李青芝，孙来喜，夏汉定，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川,51
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