薄膜表面的缺陷检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术是检测测量物表面的缺陷的检测装置，涉及一种薄膜表面的缺陷检测装，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，所述照明部的中心轴与所述图案获取部的中心轴一致。

Defect Detection Device for Thin Film Surface

The invention is a detection device for detecting defects on the surface of a measuring object, which relates to a defect detection device for a thin film surface. By generating light and incident the generated light to the surface of the measuring object, the illumination part and the pattern acquisition part of the pattern generated by the incident light analyze the acquired pattern and detect the thin film. Defects on the surface, and the central axis of the illumination section is consistent with the central axis of the pattern acquisition section.

【技术实现步骤摘要】
薄膜表面的缺陷检测装置
本专利技术涉及薄膜表面的缺陷检测装置，尤其，涉及一种向检测对象的测量物照射倾斜照明，以便检测在所述测量物的表面生成的缺陷的薄膜表面的缺陷检测装置。
技术介绍
一般而言，在要测量的物体的薄膜表面发生的缺陷的种类有突出、凹陷、刮痕等，以往为了确认上述的缺陷使用了各种缺陷检测系统。上述的检测系统为了检测缺陷，在检测装置安装环形照明，从各种角度向物体的表面照射光，以测量缺陷。但，上述的所述缺陷检测可适用于尺寸较大的测量物的，而尺寸较小的测量物，无法安装所述环形照明，而无法使用所述环形照明。并且，对于表面形成较低的倾斜角度，由垂直方向入射光线的通常的同轴光学系技术无法检测所述缺陷。先行技术文献专利文献(专利文献1)韩国公开专利公报公开号第10-2007-0024393号专利技术的内容专利技术要解决的技术问题为了解决上述的问题，本专利技术提供一种替代用于测量较大尺寸的测量物的薄膜表面的缺陷的环形照明，而具有与所述环形照明相同的效果的照明。从而，本专利技术提供一种检测测量物表面的缺陷的检测装置，其通过生成光并将所述生成的光向测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光生成的图案的图案获取部而分析获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述照明部与所述测量物之间，安装将由所述照明部生成的光进行分离的光分离部，以使由所述照明部生成的光向所述测量物表面入射时能够倾斜地入射，由此，使得从各种角度入射倾斜光，而能够看清所述测量物的缺陷。但，本专利技术的目的并非局限于上述涉及的目的，本专利技术的
的技术人员应当理解未涉及的其他目的。解决问题的技术方案为了实现上述目的，本专利技术作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述测量物的上部形成有物镜。此时，通过所述图案获取部的中心及所述物镜的中心的垂直中心轴与通过所述照明部的中心的水平中心轴在所述图案获取部与所述物镜之间相遇，还形成有通过所述水平中心轴与所述垂直中心轴相遇的地点而使得反射面倾斜45°地配置的分束器，由所述照明部生成的光通过所述分束器反射，向所述测量物的表面入射，从所述测量物反射的光透过所述分束器向所述图案获取部入射。并且，在所述照明部与所述测量物之间形成有光分离部，其将由所述照明部生成的光进行分离，使得由所述照明部生成的光向所述测量物表面入射时能够倾斜地入射。此时，所述光分离部由圆形狭缝片形成，所述圆形狭缝片的中心轴与所述照明部的中心轴一致。并且，在所述圆形狭缝片形成有使得所述照明部的光通过的光通过部，并且，所述光通过部形成于以所述圆形狭缝片的中心轴为基准形成的外周面与内周面之间，所述内周面的内侧和所述外周面的外侧形成堵塞的结构。并且，通过所述光通过部的光的波前形成具有内周面和外周面的甜甜圈形状，所述甜甜圈形状的光通过物镜向所述测量物的表面入射时，具有所述甜甜圈形状的光的内周面和外周面的直径逐渐变小入射，而使得所述甜甜圈形状的光的成像倾斜地向测量物的表面入射。并且，在所述测量物与所述图案获取部之间配置有光圈，所述光圈能够调整使得光通过的光圈口径。并且，所述照明部由光源和照明透镜形成，所述图案获取部由摄像头和成像透镜形成。本专利技术的特征及益处将通过如下参照附图的详细说明而更加明确。并且，在本说明书及权利要去书中使用的术语和词语不能以词典性的意义解释，要立足于专利技术者为了以最优选的方法说明其自身的专利技术而可以适当地定义术语的概念的原则，以符合本专利技术的技术性思想的意义和概念进行解释。专利技术的效果根据如上述的本专利技术，具有如下效果：在检测形成于测量物的表面的缺陷时，使得从照明部生成的光倾斜地入射，而能够检测形成于所述测量物的表面的缺陷。并且，能够自由地调整从所述照明部生成的光倾斜地向所述测量物入射的光分离部的长度，从而，能够以各种角度入射光。并且，还形成有根据大小使得焦深发生变换的光圈，而能够调整物体模糊或清晰，调整光圈和倾斜角的大小及角度，而能够更清楚细密地检测形成于所述测量物的表面的缺陷。附图说明图1为示出以往的薄膜表面的缺陷检测装置的附图；图2为示出本专利技术的实施例的检测装置的附图；图3为示出本专利技术的实施例的检测装置的附图；图4为示出形成于本专利技术的实施例的检测装置的圆形狭缝片的附图；图5为示出形成于本专利技术的实施例的检测装置的光圈的附图。符号说明110:图案获取部111:摄像头112:成像透镜120:物镜130:分束器140:光圈200:照明部210:光源220:照明透镜230:圆形狭缝片231:光分离部300:测量物具体实施方式以下，参照附图说明本专利技术的优选实施例。该过程中在附图中图示的线的厚度或构成要素的大小等可夸张地示出，以便明确便利地说明。并且，后述的术语是根据本专利技术中的功能而定义的术语，其可根据运用者的意图或惯例而不同。因此，对于上述的术语要基于整篇说明的内容而下定义。从而，下述的实施例并非限定本专利技术的权利范围，其只是在本专利技术的权利要求中提出的构成要素的示例性的事项，包含于在本专利技术的整篇说明书的技术思想，并包含可置换权利要求书的构成要素的均等物的构成要素的实施例，均属于本专利技术的权利范围。以下参照附图详细说明本专利技术的优选实施例的薄膜表面的缺陷检测装置，但，本专利技术并非限定于如下实施例。图1为示出以往的薄膜表面的缺陷检测装置的附图；图2为示出本专利技术的实施例的检测装置的附图；图3为示出本专利技术的实施例的检测装置的附图；图4为示出形成于本专利技术的实施例的检测装置的圆形狭缝片的附图；图5为示出形成于本专利技术的实施例的检测装置的光圈的附图。参照图1，以往使用的表面的缺陷检测装置，由摄像头11、成像透镜12、分束器30、照明透镜41、发生光源的照明40及位于物体的上部的物镜20形成，观测物体10的表面的缺陷。但，以往使用的检测装置的光源只由垂直方向入射，因此，不宜适合检测具有较低角度的缺陷。为了解决上述的问题，本专利技术的薄膜表面的缺陷检测装置如下形成。参照图2及图3，作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部200和获取通过所述入射的光生成的图案的图案获取部110分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述测量物的上部形成有物镜。此时，所述薄膜表面是形成于要检测的测量物300的表面的薄膜，所述照明部200由光源210和照明透镜220构成，所述图案获取部110由摄像头111和成像透镜112构成。并且，通过所述图案获取部110的中心及所述物镜120的中心的垂直中心轴CA1与通过所述照明部200的中心的水平中心轴CA2在所述图案获取部110与所述物镜120之间相遇。并且，还形成有分束器130，其通过所述水平中心轴CA2与所述垂直中心轴CA1相遇的地点，并使得反射面倾斜45°，由所述照明部200生成的光从所述分束器130反射，向所述测量物300的表面入射，从所述测量物300反射的光透过所述分束器130，向所述图案获取部110入射。此时，在所述照明部200与所述测量物300之间形成有光分离部231，其将由所述照明部200生成的光进行分离，以使由所述照明部200生成的光向所述测量物300的表面射入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜表面的缺陷检测装置，作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，其特征在于，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述测量物的上部形成有物镜。

【技术特征摘要】
2017.05.11 KR 10-2017-00589051.一种薄膜表面的缺陷检测装置，作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，其特征在于，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述测量物的上部形成有物镜。2.根据权利要求1所述的薄膜表面的缺陷检测装置，其特征在于，通过所述图案获取部的中心及所述物镜的中心的垂直中心轴与通过所述照明部的中心的水平中心轴在所述图案获取部与所述物镜之间相遇，还形成有通过所述水平中心轴与所述垂直中心轴相遇的地点而使得反射面倾斜45°地配置的分束器，由所述照明部生成的光通过所述分束器反射，向所述测量物的表面入射，从所述测量物反射的光透过所述分束器向所述图案获取部入射。3.根据权利要求1所述的薄膜表面的缺陷检测装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：金润赫，
申请(专利权)人：HB技术有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR