一种硅片倒角装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片倒角装置，属于倒角设备技术领域，其目的在于提供一种可针对硅片任意边缘部位范围进行倒角的倒角装置。本发明专利技术包括安装架，安装架上设置有砂轮，砂轮的侧下方设有固定台，安装架上还设置有转轴，转轴与固定台相连，转轴上还套设有齿轮；安装架上还通过第一电机连接有转动杆，转动杆外套设有横移杆，横移杆两侧还设置有限位块，限位块固定在安装架上，横移杆内部开设有空腔，转动杆在所述空腔内转动并可带动横移杆沿一定直线方向往复移动；横移杆对应所述齿轮处还设置有齿，横移杆的齿与齿轮的齿啮合设置。通过往复移动的横移杆带动转轴变向往复转动，实现了对硅片某一位置范围的单独倒角作用，整体结构新颖且实用。

A silicon wafer chamfering device

The invention discloses a silicon wafer chamfering device, which belongs to the technical field of chamfering equipment. The purpose of the invention is to provide a chamfering device which can chamfer any edge area of the silicon wafer. The invention comprises an installation frame, which is provided with grinding wheel, a fixed platform under the side of the grinding wheel, a rotating shaft connected with the fixed platform, and a gear sleeve on the rotating shaft; a rotating rod is connected through the first motor on the installation frame, a transverse rod is arranged on the outer sleeve of the rotating rod, and a transverse rod is arranged on both sides of the transverse rod. Limiting block, which is fixed on the mounting frame, is provided with a cavity inside the transverse bar. The rotating bar rotates in the cavity and can drive the transverse bar to move back and forth along a certain straight line direction. The transverse bar is also provided with teeth at the corresponding position of the gear, and the teeth of the transverse bar mesh with the teeth of the gear. Through the reciprocating movement of the transverse bar to drive the rotating shaft to change the direction of reciprocating rotation, the single chamfering effect on a certain position range of silicon wafer is realized. The overall structure is novel and practical.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片倒角装置
本专利技术属于倒角设备
，具体涉及一种硅片倒角装置。
技术介绍
硅片是电子信息技术中非常重要的物质基础，随着社会的不断发展，人们对于硅片的数量需求逐渐加大，对于硅片的形状要求也更加多样化。而在硅片的生产加工过程中，倒角是其中一个非常重要的步骤，现有技术中对于硅片倒角一般只能将硅片的每个角打磨一致，而不能针对具体的某一个角进行打磨，这样便难以满足人们对于硅片的多样化需求。申请号为CN201620669480.5的专利公开了一种新型高效硅片倒角机。当前，企业在对硅片进行倒角时采用的倒角机均不能一次同时加工两块硅片，当企业需要大批量生产时，这种倒角机效率明显偏低，难以满足企业自身生产需要，存在不足。本专利技术涉及一种新型高效硅片倒角机，其中：第三电机与第二蜗杆同轴连接，第二蜗杆与第二蜗轮啮合连接，第二蜗轮通过第二转轴与第二固定块固定连接，机体与第一电机固定连接，第一电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮通过传动轴与砂轮固定连接。本装置采用一次同时加工两块硅片的方式，比传统的效率提高一倍，能够满足企业自身生产需要，有利于提高企业经济效益。该专利技术在进行倒角过程中，硅片持续转动并与砂轮接触进行打磨，硅片持续进行绕圈旋转使得硅片每一个角都与砂轮接触，因此该专利难以针对硅片某一个具体的位置范围进行单独的打磨，当需要对硅片某一处进行单独倒角时，该倒角机难以适用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于：解决现有技术中难以对硅片某一处范围进行单独倒角的问题，提供一种可针对硅片任意边缘部位进行倒角的倒角装置。本专利技术采用的技术方案如下：一种硅片倒角装置，包括安装架，安装架上设置有第二电机，第二电机的第二输出轴连接有砂轮，砂轮的侧下方设置有固定台，还设置有转轴，转轴一端与固定台相连，转轴另一端通过轴承安装在安装架上，转轴上还套设有齿轮；安装架上还设置有置放台、第一电机，第一电机的第一输出轴的输出端连接有转动杆，转动杆外套设有横移杆，横移杆放置在置放台上并可任意滑动，横移杆两侧还设置有限位块，限位块固定在置放台上，横移杆内部开设有空腔，转动杆在所述空腔内转动并可带动横移杆沿一定直线方向往复移动；横移杆对应所述齿轮处还设置有齿，横移杆的齿与齿轮的齿啮合设置。其中，横移杆包括依次连接的第一连杆、连接块，第二连杆，第一连杆对应齿轮位置一侧设置有齿，连接块中部开设有空腔；限位块设置有四个，两个限位块设置在第一连杆的两侧，另外两个限位块设置在第二连杆两侧，四个限位块呈长方形分布。其中，限位块为中心固定在置放台上的滑轮。其中，横移杆的空腔为长方形空腔，空腔的中心与第一输出轴的轴心重合，转动杆远离第一输出轴轴心的端部直径长度与长方形空腔的宽边长度相等。综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术中，第一电机带动转动杆转动，转动杆在横移杆的空腔中转动的过程中带动横移杆运动，由于横移杆受到限位块的限制，使得横移杆在同一直线上沿远离或者靠近转轴的方向运动。又因为横移杆的齿与套设在转轴上齿轮的齿啮合设置，因此转轴便做转动方向变化的往复旋转，转轴往复旋转时所覆盖的角度范围即是固定台上所固定的硅片所进行倒角的范围。本装置很好的实现了砂轮对于硅片某一固定位置范围的倒角作用，整体结构简单新颖，具有很好的实用意义。2、本专利技术中，通过设置四个呈长方形分布的限位块，使得横移杆的运动更加平稳，加强了整体结构的稳定性；另外限位块设置为中心固定的滑轮，滑轮可绕固定点转动，这样横移杆在滑轮间移动过程中摩擦为滚动摩擦，运行更加顺畅。3、本专利技术中，横移杆空腔中心与第一输出轴轴心重合，使整体稳定性更高，另外转动杆的端部直径与长方形空腔宽边长度相等，这样在转动杆转动过程中能够持续带动横移杆横向移动，即使得转轴持续转动，更加方便对于硅片的倒角。附图说明图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术A-A剖视结构示意图；图3是本专利技术中横移杆的结构示意图；图中标记：1-安装架、2-置放台、3-第一电机、4-第一输出轴、5-转动杆、6-横移杆、61-第一连杆、62-连接块、63-第二连杆、7-限位块、8-转轴、9-固定台、10-砂轮、11-第二输出轴、12-第二电机。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。一种硅片倒角装置，包括安装架1，安装架1的上方固定设置有第二电机12，第二电机12的第二输出轴11连接有砂轮10，砂轮10的侧下方设置有固定台9，固定台9上放置所需倒角的硅片，硅片与砂轮10接触设置；另外安装架1上通过轴承固定设置有转轴8，转轴8的自由端与固定台9相连，转轴8在转动过程中带动固定台9转动，放置在固定台9上的硅片旋转与转动的砂轮10发生摩擦进而进行倒角作用；转轴8上还套设有齿轮，安装架1上还设置有置放台2、第一电机3，第一电机3的第一输出轴4穿出置放台2，第一输出轴4的输出端连接有转动杆5，转动杆5垂直于第一输出轴4设置，转动杆5外套设有横移杆6，横移杆6放置在置放台2上并可任意滑动，横移杆6两侧还设置有限位块7，限位块7固定在置放台2上，横移杆6内部开设有空腔，转动杆5在所述空腔内转动并可带动横移杆6沿一定直线方向往复移动；横移杆6对应所述齿轮处还设置有齿，横移杆6的齿与齿轮的齿啮合设置。作为优选的，横移杆6包括依次连接的第一连杆61、连接块62，第二连杆63，第一连杆61对应齿轮位置一侧设置有齿，连接块62中部开设有空腔；限位块7设置有四个，两个限位块7设置在第一连杆61的两侧，另外两个限位块7设置在第二连杆63两侧，四个限位块7呈长方形分布。作为优选的，限位块7为中心固定在置放台2上的滑轮。作为优选的，横移杆6的空腔为长方形空腔，空腔的中心与第一输出轴4的轴心重合，转动杆5远离第一输出轴4轴心的端部直径长度与长方形空腔的宽边长度相等，转动杆5远离第一输出轴4的一端与第一输出轴4的轴心之间的距离小于或者等于长方形空腔的长边长度的一半。具体的工作原理为：启动第一电机3，第一电机3带动转动杆5转动，转动杆5在横移杆6的空腔中转动的过程中带动横移杆6运动，由于横移杆6受到限位块7的限制，使得横移杆6在同一直线上沿远离或者靠近转轴8的方向运动；而此时横移杆6的齿与套设在转轴8上齿轮的齿啮合设置，因此转轴8便做转动方向变化的往复旋转，转轴8上的固定台9放置的硅片也做同样的运动；启动第二电机12，第二电机12驱动砂轮10转动，此时砂轮10与硅片接触进行倒角作用，而由于硅片在转动时范围有限，因此所打磨的范围有限，本专利技术很好地实现了对硅片某一固定范围的倒角作用，整体结构简单新颖，具有很好的实用意义。实施例1一种硅片倒角装置，包括安装架1，安装架1上设置有第二电机12，第二电机12的第二输出轴11连接有砂轮10，砂轮10的侧下方设置有固定台9，还设置有转轴8，转轴8一端与固定台9相连，转轴8另一端通过轴承安装在安装架1上，转轴8上还套设有齿轮；安装架1上还设置有置放台2、第一电机3，第一电机3的第一输出轴4的输出端连接有转动杆5，转动杆5外套设有横移杆6，横移杆6放置在置放台2上并可任意滑动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片倒角装置，包括安装架(1)，安装架(1)上设置有第二电机(12)，第二电机(12)的第二输出轴(11)连接有砂轮(10)，砂轮(10)的侧下方设置有固定台(9)，其特征在于：还设置有转轴(8)，转轴(8)一端与固定台(9)相连，转轴(8)另一端通过轴承安装在安装架(1)上，转轴(8)上还套设有齿轮；安装架(1)上还设置有置放台(2)、第一电机(3)，第一电机(3)的第一输出轴(4)的输出端连接有转动杆(5)，转动杆(5)外套设有横移杆(6)，横移杆(6)放置在置放台(2)上并可任意滑动，横移杆(6)两侧还设置有限位块(7)，限位块(7)固定在置放台(2)上，横移杆(6)内部开设有空腔，转动杆(5)在所述空腔内转动并可带动横移杆(6)沿一定直线方向往复移动；横移杆(6)对应所述齿轮处还设置有齿，横移杆(6)的齿与齿轮的齿啮合设置。

【技术特征摘要】
1.一种硅片倒角装置，包括安装架(1)，安装架(1)上设置有第二电机(12)，第二电机(12)的第二输出轴(11)连接有砂轮(10)，砂轮(10)的侧下方设置有固定台(9)，其特征在于：还设置有转轴(8)，转轴(8)一端与固定台(9)相连，转轴(8)另一端通过轴承安装在安装架(1)上，转轴(8)上还套设有齿轮；安装架(1)上还设置有置放台(2)、第一电机(3)，第一电机(3)的第一输出轴(4)的输出端连接有转动杆(5)，转动杆(5)外套设有横移杆(6)，横移杆(6)放置在置放台(2)上并可任意滑动，横移杆(6)两侧还设置有限位块(7)，限位块(7)固定在置放台(2)上，横移杆(6)内部开设有空腔，转动杆(5)在所述空腔内转动并可带动横移杆(6)沿一定直线方向往复移动；横移杆(6)对应所述齿轮处还设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新卫，郭小波，
申请(专利权)人：郑州极致科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河南,41