单边上片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单边上片机，其包括载具、载具传输机构、取片机构、硅片传输机构和检测机构，所述载具内呈平行的设置有若干第一插槽，承载有硅片的载具藉由所述载具传输机构传输至升降台上，所述取片机构与所述升降台对接，所述取片机构具有可伸缩的第一传送件，藉由所述升降台的升降使得所述第一传送件伸入所述载具内取出硅片，所述硅片传输机构与所述取片机构对接，硅片藉由所述第一传送件传输至所述硅片传输机构，所述硅片传输机构将硅片传输至下一工位，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构传输硅片于所述检测机构。综上，本实用新型专利技术的单边上片机能够为工作人员提供调试空间并实现硅片的上片和检测全自动，且提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
单边上片机
本技术涉及光伏制造领域，尤其涉及一种单边上片机。
技术介绍
在光伏产业链中，太阳能电池制造是核心环节，目前太阳能电池主要采用硅太阳能电池，制造硅太阳能电池的一般方法是首先将表面干净的P型或者N型硅片首先经过制绒工序形成绒面结构；其次在硅片表面扩散制结，形成N+或者P+的发射极，经过湿法刻蚀去掉硅片侧面和背面的扩散层；然后在其正表面再形成一层具有减反射功能的SiN薄膜；最后在硅片正背面分别制作金属电极，经过烧结过程形成晶硅太阳能电池。其中，扩散制结时产生杂质磷或硼，磷或硼会不可避免的扩散至硅片侧面和背面，最终导致短路。因此，必须对太阳能电池硅片侧面和背面的掺杂硅进行刻蚀，以去除硅片侧面和背面的扩散层。同时扩散制结还会在扩散层表面形成磷硅或硼硅玻璃，影响电池效率，因此也需要去除。生产中常用的湿法刻蚀工艺进行硅片的清洗，湿法刻蚀一般采用氢氟酸、硝酸和硫酸的混合液去除硅片各个表面的磷硅或硼硅玻璃并且去除电池侧面和背面的扩散层，因此硅片在湿法刻蚀工艺前后的重量存在差异。然而传统的生产工艺中，硅片在双边上片机的传输下直接进入湿法工艺池进行刻蚀，刻蚀结束后直接从双边下片机直接运走，这种上片机不仅没有设置称重单元进行抽样检查，也无法为称重单元提供检测空间。另外，由于双边上片机的在两边设置上片的传输机构，从而无法为工作人员提供足够的查看和调整的空间，如果称重单元发现硅片不符合标准，工作人员也无法对机器进行近距离查看并立刻进行调试，因此，这样的结构不仅无法实现上片、称重等全自动且高效率的运输，还大大降低了硅片的合格率，从而导致电池漏电等一系列不良现象，无法满足现有的生产需求。因此，急需要一种能够为工作人员提供调试空间，并实现上片和检测全自动且高效的单边上片机来克服上述的缺陷。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种能够为工作人员提供调试空间，并实现上片和检测全自动且高效的单边上片机。为了实现上述目的，本技术公开了一种单边上片机，适用于对载具中的硅片进行传输和抽样检测，其包括载具、载具传输机构、取片机构、硅片传输机构和检测机构。所述载具内呈平行的设置有若干供硅片插入的第一插槽，承载有硅片的载具藉由所述载具传输机构传输至一升降台上，所述取片机构与所述升降台对接，所述取片机构具有可伸缩的第一传送件，藉由所述升降台的升降使得所述第一传送件伸入所述升降台上的载具内逐一取出硅片，所述硅片传输机构与所述取片机构对接，硅片藉由所述第一传送件传输至所述硅片传输机构，所述硅片传输机构将硅片传输至下一工位，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中。较佳的，所述检测机构包括吸附件及检测单元，所述吸附件选择性的从所述第一传送件上吸附硅片并传输至所述检测单元上进行检测。较佳的，所述检测单元为测量硅片重量的称重仪。较佳的，所述检测机构还包括用于称重时将外界与硅片隔开的罩子。较佳的，所述检测机构还包括第一控制器和用于提醒检测人员进行调试的报警装置，所述第一控制器分别与所述检测单元和报警装置电性连接。较佳的，所述载具传输机构包括至少两相互平行且依次呈叠加状设置的第二传送件，所述升降台可升降于最上的第二传送件与最下的第二传送件之间，承载有硅片的所述载具藉由所述第二传送件传输至所述升降台上。较佳的，所述载具传输机构还包括用于调节所述第二传送件张紧程度的传动结构，所述传动结构包括支架、主动轮及从动轮，所述主动轮枢接于所述支架上，所述从动轮卡合于所述支架，调节所述主动轮和从动轮之间的距离从而调节所述第二传送件的张紧程度。较佳的，所述从动轮包括轮体和转轴，所述轮体枢接于所述转轴上，所述转轴的端部具有朝轴心凹陷形成的切削面，两所述切削面共面，所述转轴的端部呈可拆卸的卡合于所述支架上，藉由改变所述切削面于所述支架上的卡合位置可调节所述主动轮与所述从动轮之间的距离。较佳的，单边上片机还包括导向机构，所述导向机构对称地设置于所述第一传送件的两侧以校正硅片的位置。较佳的，单边上片机还包括可升降的缓存机构，所述缓存机构内呈平行的设置有若干供硅片插入的第二插槽，所述缓存机构设置于所述导向机构与所述硅片传输机构之间，所述第一传送件将硅片逐一插入所述第二插槽内，所述硅片传输机构逐一将所述第二插槽内的硅片传输至下一工位。较佳的，所述硅片传输机构包括呈矩阵设置的第三传送件，位于第一排的所述第三传送件呈横向传输设置并位于所述第一传送件与所述检测机构之间，其余排的所述第三传送件呈纵向传输设置。较佳的，所述硅片传输机构还包括顶升结构，所述顶升结构与位于第一排的所述第三传送件连接，并控制驱动位于第一排的所述第三传送件升降。较佳的，所述硅片传输机构还包括用于调节所述第三传送件张紧程度的自适应预紧力结构，所述自适应预紧力结构包括张紧轮、固定件、调节件、弹性件以及限位件，所述张紧轮设置于所述调节件上，所述限位件呈滑动的穿过所述固定件后与所述调节件固定连接，所述弹性件呈压缩状设置于所述固定件与所述调节件之间，所述弹性件恒将所述调节件朝远离所述固定件方向偏压，所述张紧轮受力的变化将使得所述固定件与所述调节件之间的间隙进行自适应调节。较佳的，所述固定件相对两侧均开设有供所述调节件插入的导向槽，所述调节件凸设有导向部，所述导向部插入至所述导向槽中，所述导向部沿所述限位件的轴向在所述导向槽内滑动以调节第三传送件的张紧程度。较佳的，所述呈纵向传输设置并位于同一排的所述第三传送件由同一电机驱动。与现有技术相比，本技术的单边上片机由于将载具传输机构、取片机构、硅片传输机构和检测机构等多个机构结合在一起，硅片在载具传输机构、取片机构和硅片传输机构等运输下进入检测机构，并在检测机构检测后将硅片运输至下一工位，从而实现湿法刻蚀工艺前的硅片传输和检测一体化，调试人员能够根据硅片的检测数据判断硅片质量是否符合标准并及时对机器进行调整，从而提高硅片的质量和合格率；进一步地，由于载具传输机构、取片机构、硅片传输机构和检测机构依次呈单边的流水线式布置，不仅能够为检测机构提供足够的设置空间，克服传统上片机无空间设置检测机构的缺点，而且还为工作人员提供近距离查看和调整的空间，从而及时进行修整，从整体上提高硅片的生产效率、质量和合格率等，满足市场的需要。与此同时，可根据需要将检测机构设置成各种硅片检测装置，灵活性高，适用性强。综上，本技术的单边上片机能够为工作人员提供调试空间并实现硅片的上片和检测全自动，且提高工作效率。附图说明图1为本技术单边上片机的结构示意图。图2为图1的A的局部放大图。图3为本技术单边上片机的俯视图。图4为本技术单边上片机的载具传输机构的结构示意图。图5为本技术单边上片机的载具传输机构的从动轮结构示意图。图6为本技术单边上片机的载具传输机构的的从动轮的切削面于支架上的两不同卡合位置的转轴与主动轴之间的距离变化的结构示意图。图7是本技术单边上片机的自适应预紧力结构的结构示意图。图8是本技术单边上片机的自适应预紧力结构的自然状态下的剖视图。图9是本技术单边上片机的自适应预紧力结构的工作状态下的剖视图。图10是本技术单边上片机的自适应预紧力结构的侧视图。具体实施方式为详细说明本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单边上片机，适用于对载具中的硅片进行传输和抽样检测，其特征在于，所述单边上片机包括：载具，所述载具内呈平行的设置有若干供硅片插入的第一插槽；载具传输机构，承载有硅片的载具藉由所述载具传输机构传输至一升降台上；取片机构，所述取片机构与所述升降台对接，所述取片机构具有可伸缩的第一传送件，藉由所述升降台的升降使得所述第一传送件伸入所述升降台上的载具内逐一取出硅片；硅片传输机构，所述硅片传输机构与所述取片机构对接，硅片藉由所述第一传送件传输至所述硅片传输机构，所述硅片传输机构将硅片传输至下一工位；检测机构，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中。

【技术特征摘要】
1.一种单边上片机，适用于对载具中的硅片进行传输和抽样检测，其特征在于，所述单边上片机包括：载具，所述载具内呈平行的设置有若干供硅片插入的第一插槽；载具传输机构，承载有硅片的载具藉由所述载具传输机构传输至一升降台上；取片机构，所述取片机构与所述升降台对接，所述取片机构具有可伸缩的第一传送件，藉由所述升降台的升降使得所述第一传送件伸入所述升降台上的载具内逐一取出硅片；硅片传输机构，所述硅片传输机构与所述取片机构对接，硅片藉由所述第一传送件传输至所述硅片传输机构，所述硅片传输机构将硅片传输至下一工位；检测机构，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中。2.如权利要求1所述的单边上片机，其特征在于：所述检测机构包括吸附件及检测单元，所述吸附件选择性的从所述第一传送件上吸附硅片并传输至所述检测单元上进行检测。3.如权利要求2所述的单边上片机，其特征在于：所述检测单元为测量硅片重量的称重仪。4.如权利要求3所述的单边上片机，其特征在于：所述检测机构还包括用于称重时将外界与硅片隔开的罩子。5.如权利要求2所述的单边上片机，其特征在于：所述检测机构还包括第一控制器和用于提醒检测人员进行调试的报警装置，所述第一控制器分别与所述检测单元和报警装置电性连接。6.如权利要求1所述的单边上片机，其特征在于：所述载具传输机构包括至少两相互平行且依次呈叠加状设置的第二传送件，所述升降台可升降于最上的第二传送件与最下的第二传送件之间，承载有硅片的所述载具藉由所述第二传送件传输至所述升降台上。7.如权利要求6所述的单边上片机，其特征在于：所述载具传输机构还包括用于调节所述第二传送件张紧程度的传动结构，所述传动结构包括支架、主动轮及从动轮，所述主动轮枢接于所述支架上，所述从动轮卡合于所述支架，调节所述主动轮和从动轮之间的距离从而调节所述第二传送件的张紧程度。8.如权利要求7所述的单边上片机，其特征在于：所述从动轮包括轮体和转轴，所述轮体枢接于所述转轴上，所述转轴的端部具有朝轴心凹陷形成的...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢威武，董华强，韩艺畴，邓小明，夏德洪，
申请(专利权)人：东莞晟能自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44