四极杆质谱仪及其灵敏度下降的判断方法技术

本发明专利技术提供一种可尽快判断离子源灵敏度下降的低成本四极杆质谱仪及其灵敏度下降的判断方法。分析受检体内气体成分的四极杆质谱仪具有：离子源；四极杆部，其由在周方向上以规定间隔配置的四个柱状电极构成；第一离子收集器，其捕捉通过了四极杆部的规定质量数的气体离子；以及第二离子收集器，其捕捉离子源生成的气体离子；根据第一离子收集器中流通的第一离子电流值测量受检体内规定质量数的气体分压，根据第二离子收集器中流通的第二离子电流值测量受检体内总压；还具有判断装置，以不影响气体分析的规定范围内的灵敏度为基准灵敏度，基于基准灵敏度设置判断值，当第一离子电流值与第二离子电流值的比小于等于判断值时，判断为灵敏度下降。

【技术实现步骤摘要】
四极杆质谱仪及其灵敏度下降的判断方法
本专利技术涉及一种分析受检体内的气体成分的四极杆质谱仪及用于判断其灵敏度下降的判断方法。
技术介绍
在通过溅射或蒸镀进行成膜处理等的真空处理装置内所进行的真空处理中，除处理时的压力外，真空室(受检体)内残留的气体成分(残留气体成分)有时也对薄膜质量等造成很大影响。一直以来使用四极杆质谱仪来分析这样的残留气体成分。这种四极杆质谱仪例如在专利文献1中已知。所述四极杆质谱仪具有：离子源，其具有灯丝和栅网，将气体离子化；四极杆部，其由在周方向上以规定间隔配置的四个柱状电极构成；以及第一离子收集器，其捕捉通过了四极杆部的规定质量数的气体离子；所述四极杆质谱仪可根据第一离子收集器中流通的第一离子电流值测量受检体内的规定质量数的气体分压。再有，在所述四极杆质谱仪中，还具有第二离子收集器，其捕捉离子源所生成的气体离子，也可根据流通第二离子收集器的第二离子电流值来测量受检体内的总压。此处，已知在使用上述四极杆质谱仪分析受检体内残留的气体成分时，受检体内的分子或原子附着在栅网上造成栅网污染，该污染导致灵敏度降低，这使得待测量的规定质量数的气体分压指示值逐渐减小。像这本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种四极杆质谱仪，用于分析受检体内的气体成分，所述四极杆质谱仪的特征在于，具有：离子源，其具有灯丝和栅网，并将气体离子化；四极杆部，其由在周方向上以规定间隔配置的四个柱状电极构成；第一离子收集器，其捕捉通过了四极杆部的规定质量数的气体离子；以及第二离子收集器，其捕捉离子源所生成的气体离子；所述四极杆质谱仪根据第一离子收集器中流通的第一离子电流值测量受检体内规定质量数的气体分压，并且根据第二离子收集器中流通的第二离子电流值来测量受检体内的总压；所述四极杆质谱仪还具有判断装置，该判断装置以不影响气体成分分析的规定范围内的灵敏度为基准灵敏度，基于基准灵敏度设置判断值，当第一离子电流值与第二离子电...

【技术特征摘要】
2017.08.07 JP 2017-1522491.一种四极杆质谱仪，用于分析受检体内的气体成分，所述四极杆质谱仪的特征在于，具有：离子源，其具有灯丝和栅网，并将气体离子化；四极杆部，其由在周方向上以规定间隔配置的四个柱状电极构成；第一离子收集器，其捕捉通过了四极杆部的规定质量数的气体离子；以及第二离子收集器，其捕捉离子源所生成的气体离子；所述四极杆质谱仪根据第一离子收集器中流通的第一离子电流值测量受检体内规定质量数的气体分压，并且根据第二离子收集器中流通的第二离子电流值来测量受检体内的总压；所述四极杆质谱仪还具有判断装置，该判断装置以不影响气体成分分析的规定范围内的灵敏度为基准灵敏度，基于基准灵敏度设置判断值，当第一离子电流值与第二离子电流值的比小于等于所述判断值时，判断为灵敏度下降。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛丰昭，田中领太，黑川裕次郎，松崎纯，猿渡治郎，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP