一种UV-LED光源曝光模拟平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种UV‑LED光源曝光模拟平台，包括实验室，实验室的正面固定连接有竖板，竖板的一侧设置有固定连接在实验室内底壁的支架，支架的顶部固定连接有顶板，顶板的下表面固定连接有固定板，固定板的正面固定连接有调节板，调节板的正面开设有水平滑槽，水平滑槽的内壁活动连接有转轴，转轴的一端固定螺纹连接有螺母。本实用新型专利技术通过设置固定板、调节板、水平滑槽、转轴、螺母、短支、转杆、转把、第二合页和单门，解决了没有专门的UV‑LED光源的光路系统曝光模拟实验平台，并减少紫外线及强光对人眼的伤害，曲面镜和平面镜角度不可调节，不便于检测曝光光源光学性能的问题。

An exposure simulation platform for UV-LED light source

The utility model discloses an exposure simulation platform for UV LED light source, which comprises a laboratory. The front of the laboratory is fixed with a vertical plate, one side of the vertical plate is provided with a bracket fixed to the bottom wall of the laboratory, the top of the bracket is fixed with a roof, the lower surface of the roof is fixed with a fixed plate, and the front of the fixed plate is fixed. The fixed connection has a regulating plate, the front face of the regulating plate is provided with a horizontal sliding groove, the inner wall of the horizontal sliding groove is movably connected with a rotating shaft, and one end of the rotating shaft is fixed with a thread connected with a nut. The utility model solves the exposure simulation experiment platform of the optical system without a special UV-LED light source by setting a fixed plate, a regulating plate, a horizontal sliding chute, a rotating shaft, a nut, a short branch, a rotating rod, a turnhandle, a second hinge and a single door, and reduces the damage to the eyes caused by ultraviolet rays and strong light, and the angle of the curved surface mirror and the plane mirror can not be adjusted. It is not easy to detect the optical performance of exposure light source.

【技术实现步骤摘要】
一种UV-LED光源曝光模拟平台
本技术涉及曝光机
，具体为一种UV-LED光源曝光模拟平台。
技术介绍
应用于PCB线路板制造、半导体生产以及高精密线路曝光的传统曝光机能耗大，维护成本高。近年来，随着半导体技术的快速发展，新一代绿色环保UV-LED平行光光源凭借其省电节能，成本低，使用寿命长，稳定性高等优势占领市场前沿。使用UV-LED平行光光源替代传统的汞灯光源面临着曝光系统光路结构的改变。但目前并没有专门针对UV-LED光源光路系统曝光模拟的实验平台，如果直接在现有曝光机里面进行改造实验的话，成本高，而且不方便进行光路的调整实验。
技术实现思路
（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种UV-LED光源曝光模拟平台，解决了没有专门的UV-LED光源的光路系统曝光模拟实验平台，并减少紫外线及强光对人眼的伤害，曲面镜和平面镜角度不可调节，不便于检测曝光光源光学性能的问题。（二）技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种UV-LED光源曝光模拟平台，包括实验室，所述实验室的正面固定连接有竖板，所述竖板的一侧设置有固定连接在实验室内底壁的支架，所述支架的顶部固定连接有顶板，所述顶板的下表面固定连接有固定板，所述固定板的正面固定连接有调节板，所述调节板的正面开设有水平滑槽，所述水平滑槽的内壁活动连接有转轴，所述转轴的一端固定螺纹连接有螺母，所述转轴的外表面套接有曲面镜，所述支架的一侧固定连接有横杆，所述横杆的外表面滑动连接有滑动套，所述滑动套的顶部固定连接有检测台，所述实验室一侧的内壁活动连接有第一合页，所述实验室通过第一合页活动连接有对开门，所述对开门的一侧固定连接有把手，所述对开门的表面固定连接有亚克力板，所述竖板的另一侧设置有固定连接在实验室内底壁的支杆，所述支杆的顶部设置有光源箱，所述支杆的一侧固定连接有短支，所述短支的正面转动连接有转杆，所述转杆的底部焊接有转把，所述转杆的外表面套接有平面镜，所述实验室另一侧的内壁活动连接有第二合页，所述实验室通过第二合页转动连接有单门。优选的，所述滑动套的数量为两个，且两个滑动套以检测台的中线为对称轴对称设置在检测台底部的正面和背面。优选的，所述横杆的底部设置有固定连接在支架一侧的稳固杆。优选的，所述亚克力板的数量为两个，且两个亚克力板通过门梁固定连接。优选的，所述转杆的一端贯穿并延伸至短支的背面。（三）有益效果本技术提供了一种UV-LED光源曝光模拟平台，具备以下有益效果：（1）本技术通过设置固定板、调节板、水平滑槽、转轴和螺母可以在曲面镜使用的时候调节曲面镜的角度，从而使曲面镜将光源箱发射出的紫外光转换为平行光的效果更好，而且将螺母拧松还可以调节转轴的水平位置，从而来调节曲面镜的水平距离，使得曲面镜的稳定性更好，通过设置第一合页、对开门、把手、亚克力板和门梁，可以在光源检测之前方便曲面镜角度的调节，亚克力板的设置可以在光源检测时方便对检测台的观测。（2）本技术通过设置第二合页和单门可以在光源检测之前方便平面镜角度的调节，在实验开始时将单门关上可以防止光源箱发出的光产生漏光，减小光源检测的误差，通过设置短支、转杆和转把可以根据需要方便调节反光镜的角度，使得平行光的均匀度更好，转把可以方便转杆的转动，从而使光源检测效率更高。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术A处结构放大图；图3为本技术对开门结构示意图。图中：1实验室、2竖板、3支架、4顶板、5固定板、6调节板、7水平滑槽、8转轴、9螺母、10曲面镜、11横杆、12滑动套、13检测台、14稳固杆、15第一合页、16第二合页、17对开门、18把手、19门梁、20亚克力板、21支杆、22光源箱、23短支、24转杆、25转把、26平面镜、27单门。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-3所示，本技术提供一种UV-LED光源曝光模拟平台技术方案：一种UV-LED光源曝光模拟平台，包括实验室1，实验室1的正面固定连接有竖板2，竖板2的一侧设置有固定连接在实验室1内底壁的支架3，支架3的顶部固定连接有顶板4，顶板1的下表面固定连接有固定板5，固定板5的正面固定连接有调节板6，调节板6的正面开设有水平滑槽7，水平滑槽7的内壁活动连接有转轴8，转轴8的一端固定螺纹连接有螺母9，转轴8的外表面套接有曲面镜10，通过设置固定板5、调节板6、水平滑槽7、转轴8和螺母9可以在曲面镜10使用的时候调节曲面镜10的角度，从而使曲面镜10将光源箱22发射出的紫外光转换为平行光的效果更好，而且将螺母9拧松还可以调节转轴8的水平位置，从而来调节曲面镜10的水平距离，使得曲面镜10的稳定性更好，支架3的一侧固定连接有横杆11，横杆11的外表面滑动连接有滑动套12，滑动套12的顶部固定连接有检测台13，滑动套12的数量为两个，且两个滑动套12以检测台13的中线为对称轴对称设置在检测台13底部的正面和背面，横杆11的底部设置有固定连接在支架3一侧的稳固杆14，实验室1一侧的内壁活动连接有第一合页15，实验室1通过第一合页15活动连接有对开门17，对开门11的一侧固定连接有把手18，对开门17的表面固定连接有亚克力板20，亚克力板20的数量为两个，且两个亚克力板20通过门梁19固定连接，通过设置第一合页15、对开门17、把手18、亚克力板20和门梁19，可以在光源检测之前方便曲面镜10角度的调节，亚克力板20的设置可以在光源检测时方便对检测台13的观测，竖板2的另一侧设置有固定连接在实验室1内底壁的支杆21，支杆21的顶部设置有光源箱22，支杆21的一侧固定连接有短支23，短支23的正面转动连接有转杆24，转杆24的一端贯穿并延伸至短支23的背面，转杆24的底部焊接有转把25，转杆24的外表面套接有平面镜26，通过设置短支23、转杆24和转把25可以根据需要方便调节反光镜26的角度，使得平行光的均匀度更好，转把25可以方便转杆24的转动，从而使光源检测效率更高，实验室1另一侧的内壁活动连接有第二合页16，实验室1通过第二合页16转动连接有单门27，通过设置第二合页16和单门27可以在光源检测之前方便平面镜26角度的调节，在实验开始时将单门27关上可以防止光源箱22发出的光产生漏光，减小光源检测的误差。使用时，在光源检测之前，分别通过转动转轴8和转杆24来调节曲面镜10和平面镜26的角度，使得光源箱22发出的光正好可以射到检测台13上，在角度调整好以后，关上对开门17和单门27，打开光源箱22，平面镜26将光源箱22发出的紫外光反射给曲面镜10，曲面镜10再将平面镜26反射来的紫外光转换为平行光，并且反射至检测台13上。综上可得，本技术通过设置固定板6、调节板6、水平滑槽7、转轴8、螺母9、短支23、转杆24、转把25、第二合页16和单门27，解决了没有专门的UV-LED光源的光路系统曝光模拟实验平台本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种UV‑LED光源曝光模拟平台，包括实验室（1），其特征在于：所述实验室（1）的正面固定连接有竖板（2），所述竖板（2）的一侧设置有固定连接在实验室（1）内底壁的支架（3），所述支架（3）的顶部固定连接有顶板（4），所述顶板（4）的下表面固定连接有固定板（5），所述固定板（5）的正面固定连接有调节板（6），所述调节板（6）的正面开设有水平滑槽（7），所述水平滑槽（7）的内壁活动连接有转轴（8），所述转轴（8）的一端固定螺纹连接有螺母（9），所述转轴（8）的外表面套接有曲面镜（10），所述支架（3）的一侧固定连接有横杆（11），所述横杆（11）的外表面滑动连接有滑动套（12），所述滑动套（12）的顶部固定连接有检测台（13），所述实验室（1）一侧的内壁活动连接有第一合页（15），所述实验室（1）通过第一合页（15）活动连接有对开门（17），所述对开门（17）的一侧固定连接有把手（18），所述对开门（17）的表面固定连接有亚克力板（20），所述竖板（2）的另一侧设置有固定连接在实验室（1）内底壁的支杆（21），所述支杆（21）的顶部设置有光源箱（22），所述支杆（21）的一侧固定连接有短支（23），所述短支（23）的正面转动连接有转杆（24），所述转杆（24）的底部焊接有转把（25），所述转杆（24）的外表面套接有平面镜（26），所述实验室（1）另一侧的内壁活动连接有第二合页（16），所述实验室（1）通过第二合页（16）转动连接有单门（27）。...

【技术特征摘要】
1.一种UV-LED光源曝光模拟平台，包括实验室（1），其特征在于：所述实验室（1）的正面固定连接有竖板（2），所述竖板（2）的一侧设置有固定连接在实验室（1）内底壁的支架（3），所述支架（3）的顶部固定连接有顶板（4），所述顶板（4）的下表面固定连接有固定板（5），所述固定板（5）的正面固定连接有调节板（6），所述调节板（6）的正面开设有水平滑槽（7），所述水平滑槽（7）的内壁活动连接有转轴（8），所述转轴（8）的一端固定螺纹连接有螺母（9），所述转轴（8）的外表面套接有曲面镜（10），所述支架（3）的一侧固定连接有横杆（11），所述横杆（11）的外表面滑动连接有滑动套（12），所述滑动套（12）的顶部固定连接有检测台（13），所述实验室（1）一侧的内壁活动连接有第一合页（15），所述实验室（1）通过第一合页（15）活动连接有对开门（17），所述对开门（17）的一侧固定连接有把手（18），所述对开门（17）的表面固定连接有亚克力板（20），所述竖板（2）的另一侧设置有固定连接在实验室（1）内底壁的支杆（21），所述支杆（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张博，李康，奈吉儿·库帕儿，刘琴，许厚吉，
申请(专利权)人：河南百合特种光学研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41