光刻光源传输光路系统的辅助调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的后端设有能够与反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口，第二辅助架的前端设有反射元件，第二辅助架的后端设有能够与反射镜装置相配合连接的第二接口，激光光源发出的光线能够穿过所述标记部在反射镜装置的表面成像形成第一光斑，并且该第一光斑能够经第二辅助架的反射元件反射后返回至第一辅助架。本实用新型专利技术利用标记辅助架和反射辅助架配合调整，能实现长距离传输光路中光斑位置及形状的快速、准确调整。

【技术实现步骤摘要】
光刻光源传输光路系统的辅助调整装置
本技术涉及投影光刻、光源性能参数检测
，特别是涉及一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置。
技术介绍
得益于集成电路的迅速发展,信息化已经广泛渗透到现代社会的各个领域，与国家经济、国防建设、人民生活息息相关。从最初的单个晶体管到今天的高集成度芯片，集成电路的不断微型化、集成化主要归功于光刻技术的不断发展与进步。光源与投影物镜、照明系统并列为光刻机的三大核心部件。光源波长的缩短是提升光刻分辨率的关键参数之一，因此光刻光源的发展是逐渐向短波长发展，g线(365nm)、i线(248nm)、193nm、13.5nm…。目前，业界内应用最广泛的光刻设备是光学投影光刻机，其主流光源是ArF准分子激光器(193nm)。由于光源体积较大，独自成系统，通常是与光刻机主机独立开的，经由一定路径的传输光路系统，将光源出射的激光导入到光刻机主机。传输光路系统基于反射镜的反射原理，将光束进行传播方向的改变，实现光束传输。传输光路系统一般由反射镜和管道组成，反射镜以及其与管道连接处均为加密封元件的封闭装置，避免在激光传输过程中与空气发生反应产生废气，同时，通入氮气，在封闭装置内保持微正压，迫使空气无法进入装置，减少空气进入。由于传输光路的距离较远，通常为5～20米，针对不同的传输距离，会设计不同个数的反射镜，工程师通常依靠经验进行光路调整，调整时间较长；并且随着传输距离的增加，反射镜的增多，容易出现调整到靠近光刻主机的位置，光斑形状变差、光斑位置偏离光轴，无法调整进主机的情况，导致前功尽弃，需要重新调整的情况。
技术实现思路
本技术的目的是至少解决上述缺陷与不足之一，该目的是通过以下技术方案实现的。本技术提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，用于调整传输光路系统中的光斑，所述传输光路系统包括多个反射镜装置，所述辅助调整装置包括第一辅助架和第二辅助架，所述第一辅助架和所述第二辅助架能够分别安装在不同的所述反射镜装置上，所述第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，所述标记部位于所述第一辅助架的中心，所述第一辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口，所述第二辅助架的前端设有反射元件，所述第二辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置相配合连接的第二接口，所述激光光源发出的光线能够穿过所述第一辅助架的所述标记部在所述反射镜装置的表面成像形成第一光斑，并且所述第一光斑能够经所述第二辅助架的所述反射元件反射后返回至所述第一辅助架。进一步地，所述第一辅助架和所述第二辅助架的中心连线竖直或水平。进一步地，所述标记部的形状为狭长的十字型或米字型。进一步地，所述反射元件为平面镜或曲面镜。进一步地，所述反射元件的表面镀有金属反射膜。进一步地，所述反射元件可拆卸地安装在所述第二辅助架的边框内，所述边框不透光。进一步地，所述第一辅助架和所述第二辅助架的形状相同。进一步地，所述第一辅助架和第二辅助架为铝辅助架、不锈钢辅助架或陶瓷辅助架。本技术的优点如下：(1)本技术采用具有标记功能的第一辅助架和具有反射功能的第二辅助架配合，对光路传输系统中的反射镜装置进行调整，能够实现光刻光源长距离传输光路系统中光斑位置及形状的快速、准确调整，解决现有传输光路系统随着传输距离增长、反射镜增多，出现的传输光斑形状变差、光斑位置偏离光轴、调整过程中光斑位置及形状反复等问题。(2)本技术能够大大缩短调整时间，并且无需反复调整。(3)本技术无需更换或拆卸零件，无需光路重组，且成本低廉，易于行业应用。附图说明通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。图1为本技术实施例提供的光刻光源传输光路系统的辅助调整装置的第一辅助架的结构示意图；图2为本技术实施例提供的光刻光源传输光路系统的辅助调整装置的第一辅助架的另一结构示意图；图3为本技术实施例提供的光刻光源传输光路系统的辅助调整装置的第二辅助架的结构示意图；图4为本技术实施例提供的光刻光源传输光路系统的辅助调整装置的工作示意图；图5为本技术实施例提供的光刻光源传输光路系统的辅助调整装置的另一工作示意图；图中附图标记如下：1-第一辅助架2-第二辅助架11-标记部11’-标记部12-第一接口21-反射镜22-边框23-第二接口100-第一反射镜装置101-第一反射镜200-第二反射镜装置201-第二反射镜300-第三反射镜装置301-第三反射镜10-光源的出光口20-照明系统底部模块的进光口具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。光刻光源的传输光路系统由多个反射镜装置组成，多个反射镜装置的结构可以相同或不同，用于将光源出射的激光导入到光刻机主机。由于随着传输光路距离的增加、反射镜装置的增多，容易出现调整到靠近光刻主机的位置，光斑形状变差、光斑位置偏离光轴，无法调整进主机的情况，采用本技术提供的光刻光源传输光路系统的辅助调整装置能够对每一反射镜装置的反射镜进行调整，将激光导入光刻机主机。图1至图3示出了根据本技术的实施方式提供的光刻光源传输光路系统的辅助调整装置的示意图。如图1至图3所示,该光刻光源传输光路系统的辅助调整装置用于调整传输光路系统中的不同反射镜装置上的光斑，该光刻光源传输光路系统的辅助调整装置包括第一辅助架1和第二辅助架2，调整时第一辅助架1和第二辅助架2分别装配在相邻的不同的反射镜装置上，第一辅助架1和第二辅助架2相配合能够依次调整传输光路系统中不同反射镜装置上的光斑。如图1和图2所示，第一辅助架1的前端表面设有透光的标记部11，标记部11位于第一辅助架1的中心，标记部11设置为狭长的十字型标记(如图1所示)或米字型标记(如图2中11’所示)，并且除标记部11外，第一辅助架1的前端表面其他部位均不透光，使得光线穿过标记部11后能够形成形状规则的光斑。第一辅助架1的后端设有与反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口12，第一接口12的形状、尺寸大小与传输光路系统中的反射镜装置中相应的接口相匹配，使得第一辅助架1能够快速安装在不同的反射镜装置上，实现辅助调整装置在不同反射镜装置上的快速更换，节约调整时间。将第一辅助架1通过第一接口12安装在反射镜装置上后，根据光的传输原理，光线能够穿过标记部11在反射镜装置的反射镜上成像。第一接口12的形状、尺寸大小也与激光光源上相应的接口相匹配，使得对第一反射镜装置100进行调整时，第一辅助架1能够快速安装在激光光源的出光口10处。如图3所示，第二辅助架2的前端设有反射镜21，反射镜21装夹在第二辅助架2的边框22内，反射镜21的表面镀有金属反射膜，光线照射到反射镜上会形成反射；边框22不透光，使得光线在第二辅助架2上仅能发生反射。具体实施中，反射镜21为平面镜或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，用于调整传输光路系统中的光斑，所述传输光路系统包括多个反射镜装置，其特征在于，所述辅助调整装置包括第一辅助架和第二辅助架，所述第一辅助架和所述第二辅助架能够分别安装在不同的所述反射镜装置上，所述第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，所述标记部位于所述第一辅助架的中心，所述第一辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口，所述第二辅助架的前端设有反射元件，所述第二辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置相配合连接的第二接口，所述激光光源发出的光线能够穿过所述第一辅助架的所述标记部在所述反射镜装置的表面成像形成第一光斑，并且所述第一光斑能够经所述第二辅助架的所述反射元件反射后返回至所述第一辅助架。

【技术特征摘要】
1.一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，用于调整传输光路系统中的光斑，所述传输光路系统包括多个反射镜装置，其特征在于，所述辅助调整装置包括第一辅助架和第二辅助架，所述第一辅助架和所述第二辅助架能够分别安装在不同的所述反射镜装置上，所述第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，所述标记部位于所述第一辅助架的中心，所述第一辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置或激光光源相配合连接的第一接口，所述第二辅助架的前端设有反射元件，所述第二辅助架的后端设有能够与所述反射镜装置相配合连接的第二接口，所述激光光源发出的光线能够穿过所述第一辅助架的所述标记部在所述反射镜装置的表面成像形成第一光斑，并且所述第一光斑能够经所述第二辅助架的所述反射元件反射后返回至所述第一辅助架。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏佳妮，齐月静，王宇，卢增雄，杨光华，齐威，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：新型
国别省市：北京,11